Peralatan pengolahan air limbah elektro-kimia, digunakan untuk pengolahan air limbah semikonduktor.

I. Gambaran Produk

Air limbah semikonduktor berasal dari proses seperti pembuatan chip (pembuatan wafer, kemasan dan pengujian), panel kristal cair (TFT-LCD, OLED), sel fotovoltaik,dan produksi komponen elektronikIni adalah salah satu jenis air limbah dengan persyaratan kualitas air yang paling tinggi dan kesulitan terbesar dalam pengolahan dalam industri elektronik.Proses pembuatan semikonduktor rumit dan melibatkan banyak langkah, yang mengakibatkan perbedaan yang signifikan dalam kualitas air limbah di berbagai proses.Terutama berasal dari pengembangan solusi, larutan striping, dan larutan pembersih, dengan konsentrasi nitrogen amonia biasanya berkisar dari 100 sampai 1000 mg/L.Kuarter- Apa?polutan amoniumair limbah dapat mencapai ribuan mg/L. Air limbah organik berasal dari photoresist, larutan striping, pengembang, agen pembersih, dll.,dan mengandung berbagai pelarut organik dan polimer yang keras kepalaAir limbah asam dan alkali berasal dari proses pembersihan dan mengikis dan mengandung H2SO4, HCl, HNO3, H3PO4, NaOH, dll.Air limbah polishing mekanik kimia mengandung partikel abrasif berukuran nanoPengolahan air limbah semikonduktor memiliki persyaratan khusus industri yang berbeda: pembuatan chip menuntut kemurnian air yang sangat tinggi;residu kimia dapat mempengaruhi penggunaan kembali air limbah dan pembuangan; air limbah mengandung berbagai polutan khas yang menghambat atau meracuni mikroorganisme, sehingga mempersulit pengolahan langsung dengan sistem biologis konvensional;Standar pembuangan sangat ketat; dan perusahaan umumnya menghadapi kekurangan air dan target penggunaan kembali air limbah yang ketat.

Sistem ini menggunakan teknologi oksidasi elektrokimia yang dapat diterapkan secara fleksibel pada berbagai skenario pengolahan air limbah semikonduktor:Kuarter- Apa?polutan amonium/nitrogen amonia yang tinggi ≈ secara efisien mengoksidasi dan terurai secara elektrokimiaKuarter- Apa?polutan amonium((CH3) 4NOH) menjadi bahan perantara beracun rendah sepertikecil-molekul amine oleh- Apa?produk, akhirnya mengubahnya menjadi N2, CO2, dan H2O. Tingkat penghapusan nitrogen total dapat mencapai lebih dari 90%, dan nitrogen amonia yang keluar dapat dikurangi menjadi 5-10 mg/L,menyelesaikan masalah-masalahKuarter- Apa?polutan amoniumBiodegradability dan biotoxicity yang buruk.

Untuk air limbah organik (solusi fotoresist/stripping/developer solution, dll.) mengoksidasi dan mendekomposisi langsung resin fotoresist, polimer, dan pelarut organik,cincin pembuka dan pemutus rantaiTingkat penghapusan COD adalah 70%-90%, dan limbah dapat masuk dengan aman ke sistem pengolahan biologis berikutnya atau secara langsung memenuhi standar pembuangan.

Untuk pengolahan air limbah secara mendalam dan penggunaan kembali yang komprehensif, dengan menghilangkan COD residual, nitrogen amonia, dan TOC, dengan COD limbah ≤30~50 mg/L dan nitrogen amonia ≤5 mg/L,memenuhi persyaratan untuk pra-pengolahan air ultra-murni atau penggunaan kembali langsung dalam proses pembersihan.

Seluruh proses hanya mengkonsumsi listrik, tanpa menambahkan agen kimia (Kuarter- Apa?polutan amoniumPengolahan tidak memerlukan sumber karbon eksternal atau penyesuaian asam/alkali), dan tidak menghasilkan sejumlah besar lumpur kimia (lumpur yang mengandung fluorida dikurangi 50% ~ 80%).Elektrod masih dapat beroperasi secara efisien di air limbah dengan konduktivitas rendah, bekerja pada suhu dan tekanan normal, memastikan keamanan dan stabilitas.Ini adalah pilihan teknologi yang ideal untuk meningkatkan pengolahan air limbah industri semikonduktor dari "penyelesaian standar pelepasan" ke "penggunaan kembali sumber daya".

II. Kesulitan dalam pengolahan air limbah semikonduktor dan solusi dengan peralatan ini

III. Prinsip Kerja

Tergantung pada kualitas air dan tujuan pengolahan, air limbah semikonduktor mengalami reaksi pemurnian berikut di reaktor elektrokimia:

(1) Degradasi oksidatif efisiensi tinggi dariKuarter- Apa?polutan amonium(tetramethylammonium hydroxide) (fungsi inti yang unik untuk semikonduktor)

Kuarter- Apa?polutan amonium((CH3) 4NOH) adalah polutan organik yang paling representatif yang mengandung nitrogen dalam industri semikonduktor, memiliki biotoksisitas dan sulit terurai secara biologis.

Kuarter- Apa?polutan amoniumlangsung teroksidasi dengan kehilangan elektron pada permukaan anode, ion tetramethylammonium (ion ammonium kuater) secara bertahap dimetilasi.

Tingkat penghapusan nitrogen total ≥ 90%, dan nitrogen total dalam limbah dapat dikurangi menjadi 10 ~ 20. (2) Degradasi oksidatif air limbah organik (solusi fotoresist / striping / developer, dll.)) Air limbah organik semikonduktor mengandung resin fotoresist, larutan striping, surfaktan dalam pengembang, dll: polimer makromolekul teroksidasi dan dipecah di permukaan anoda,dan rantai karbon panjang dan cincin aromatik secara bertahap terurai menjadi asam organik molekul kecil. pelarut organik (IPA, PGMEA, NMP, dll) langsung teroksidasi menjadi CO2 dan H2O di anoda.memastikan penghapusan COD secara menyeluruh. ion klorida alami (disebutkan selama pembersihan semikonduktor) menghasilkan klorin aktif,yang melengkapi oksidasi zat organik dalam larutan yang tidak dapat langsung bersentuhan dengan anoda.

(3) Penghapusan nitrogen amonia dan nitrogen total

Selain ituKuarter- Apa?polutan amonium, air limbah semikonduktor juga mengandung bentuk nitrogen amonia lainnya (pengembang, larutan pembersih, dll.):

Ion klorida dielektrolisis di anoda untuk menghasilkan klorin aktif (Cl2, HOCl, OCl−).

Klorin aktif dengan cepat mengoksidasi nitrogen amonia menjadi gas nitrogen, dan nitrogen organik (NH4+ dalamKuarter- Apa?polutan amoniumpenguraian) juga diubah menjadi N2.

Total nitrogen dalam limbah dapat dikurangi menjadi kurang dari 10 ~ 20 mg/L.

IV. Keuntungan Utama (Menggarap Air Limbah Semikonduktor)

V. Parameter teknis (bisa disesuaikan)

VI. Lokasi Proses

Opsi 1: Pengolahan Air Limbah Khusus

Kuarter- Apa?polutan amonium/Developer Wastewater → Tangki Pengumpulan dan Equalization → Peralatan Pengolahan Elektrochemical → Efluen (B/C ≥ 0.30) → Masuk Tangki Pengimbangan Air Limbah Terintegrasi → Sistem Biologi Konvensional → Pelepasan Memenuhi Standar/Penggunaan Kembali

Opsi 2: Pengolahan Efluen Biologis Lanjutan

Integrated Wastewater → Pretreatment → Biological System → Secondary Sedimentation Tank → Advanced Electrochemical Treatment Equipment (Removal of Residual COD/TOC/Ammonia Nitrogen/Total Nitrogen) → Effluent → Reuse/Discharge Meets Standards

Opsi 3: Pengurangan air limbah konsentrasi tinggi (alternatif untuk transportasi limbah berbahaya)

Air limbah organik dengan konsentrasi tinggi (air limbah deterjen, air limbah pemurnian, air limbah pengembang, dll.)) → Tangki Pengumpulan → Peralatan Pengolahan Elektrokimia → Air Limbah yang Diobati (COD yang berkurang secara signifikan) → Pengolahan Biologis Terusan