Thiết bị xử lý nước thải điện hóa học, được sử dụng để xử lý nước thải bán dẫn.

I. Tổng quan về sản phẩm

Nước thải bán dẫn có nguồn gốc từ các quy trình như sản xuất chip (sản xuất wafer, đóng gói và thử nghiệm), bảng tinh thể lỏng (TFT-LCD, OLED), pin quang điện,và sản xuất linh kiện điện tửNó là một trong những loại nước thải có yêu cầu chất lượng nước cao nhất và khó xử lý nhất trong ngành công nghiệp điện tử.Các quy trình sản xuất chất bán dẫn rất phức tạp và liên quan đến nhiều bước, dẫn đến sự khác biệt đáng kể về chất lượng nước thải trong các quy trình khác nhau.chủ yếu bắt nguồn từ việc phát triển các giải pháp, dung dịch tẩy và dung dịch làm sạch, với nồng độ nitơ amoniac thường dao động từ 100 đến 1000 mg/l.Bốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniacnước thải có thể đạt đến hàng ngàn mg/l. Nước thải hữu cơ có nguồn gốc từ chất chống quang, dung dịch tẩy, chất phát triển, chất tẩy rửa, v.v.và chứa nhiều dung môi hữu cơ và polyme cứng nhắc khác nhauNước thải axit và kiềm có nguồn gốc từ quá trình làm sạch và khắc và chứa H2SO4, HCl, HNO3, H3PO4, NaOH, v.v.Nước thải đánh bóng cơ học hóa học chứa các hạt mài có kích thước nanoĐiều trị nước thải bán dẫn có các yêu cầu riêng biệt của ngành: sản xuất chip đòi hỏi độ tinh khiết nước cực kỳ cao;bất kỳ dư lượng hóa học nào có thể ảnh hưởng đến việc tái sử dụng và thải nước thải; nước thải chứa nhiều chất ô nhiễm đặc trưng khác nhau ức chế hoặc gây độc cho vi sinh vật, khiến việc xử lý trực tiếp bằng các hệ thống sinh học thông thường trở nên khó khăn;Tiêu chuẩn xả rất nghiêm ngặt; và các công ty thường phải đối mặt với sự khan hiếm nước và các mục tiêu tái sử dụng nước thải nghiêm ngặt.

Hệ thống này sử dụng công nghệ oxy hóa điện hóa có thể được áp dụng linh hoạt cho các kịch bản xử lý nước thải bán dẫn khác nhau:Bốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniac/ cao amoniac nitơ nó hiệu quả oxy hóa và phân hủy điện hóa họcBốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniac((CH3) 4NOH) thành các chất trung gian độc tính thấp nhưnhỏ-phân tử amine bởi- Không.sản phẩm, cuối cùng chuyển đổi chúng thành N2, CO2 và H2O. Tỷ lệ loại bỏ nitơ tổng thể có thể đạt hơn 90% và nitơ amoniac thải ra có thể giảm xuống 5-10 mg / L,hoàn toàn giải quyết các vấn đề củaBốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniaclà khả năng phân hủy sinh học kém và độc hại sinh học.

Đối với nước thải hữu cơ (dược liệu quang kháng/dược liệu tách/dược liệu phát triển, v.v.)  nó trực tiếp oxy hóa và phân hủy nhựa quang kháng, polyme và dung môi hữu cơ,Nhẫn mở và ngắt dây xíchTỷ lệ loại bỏ COD là 70% -90% và nước thải có thể an toàn đi vào các hệ thống xử lý sinh học tiếp theo hoặc trực tiếp đáp ứng các tiêu chuẩn thải.

Đối với xử lý sâu nước thải toàn diện và tái sử dụng, loại bỏ sâu COD dư, nitơ amoniac và TOC, với COD thải ≤30 ~ 50 mg/L và nitơ amoniac ≤ 5 mg/L,đáp ứng các yêu cầu về xử lý trước nước siêu tinh khiết hoặc tái sử dụng trực tiếp trong các quy trình làm sạch.

Toàn bộ quy trình chỉ tiêu thụ điện, không thêm các chất hóa học (Bốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniacxử lý không yêu cầu nguồn carbon bên ngoài hoặc điều chỉnh axit / kiềm) và không tạo ra một lượng lớn bùn hóa học (bùn chứa florua được giảm 50% ~ 80%).Các điện cực vẫn có thể hoạt động hiệu quả trong nước thải với độ dẫn thấp, hoạt động ở nhiệt độ và áp suất bình thường, đảm bảo an toàn và ổn định.Nó là một lựa chọn công nghệ lý tưởng để nâng cấp xử lý nước thải của ngành công nghiệp bán dẫn từ "đáp ứng các tiêu chuẩn xả" sang "sử dụng lại tài nguyên".

II. Khó khăn trong xử lý nước thải bán dẫn và các giải pháp với thiết bị này

III. Nguyên tắc hoạt động

Tùy thuộc vào các mục tiêu về chất lượng nước và xử lý, nước thải bán dẫn sẽ trải qua các phản ứng lọc sau đây trong lò phản ứng điện hóa:

(1) Phân hủy oxy hóa hiệu quả cao củaBốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniac(tetramethylammonium hydroxide) (một chức năng cốt lõi duy nhất cho các chất bán dẫn)

Bốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniac((CH3) 4NOH) là chất ô nhiễm hữu cơ chứa nitơ đại diện nhất trong ngành công nghiệp bán dẫn, có độc tính sinh học và khó phân hủy sinh học.

Bốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniacđược oxy hóa trực tiếp bằng cách mất electron trên bề mặt anode, các ion tetramethylammonium (ion ammonium tứ phần) dần dần bị loại bỏ.

Tỷ lệ loại bỏ nitơ tổng cộng ≥ 90% và tổng nitơ trong nước thải có thể được giảm xuống còn 10 ~ 20.) Nước thải hữu cơ bán dẫn có chứa nhựa kháng quang, dung dịch tẩy, chất hoạt bề mặt trong nhà phát triển, v.v.: Các polyme macromolecular được oxy hóa và phá vỡ trên bề mặt anode,và chuỗi carbon dài và vòng hoa thơm dần phân hủy thành các axit hữu cơ phân tử nhỏCác dung môi hữu cơ (IPA, PGMEA, NMP, v.v.) được oxy hóa trực tiếp thành CO2 và H2O tại cực cực.đảm bảo loại bỏ hoàn toàn CODCác ion clorua có trong tự nhiên (được đưa vào trong quá trình làm sạch bán dẫn) tạo ra clo hoạt động,bổ sung cho sự oxy hóa của chất hữu cơ trong dung dịch không thể tiếp xúc trực tiếp với anode.

(3) Loại bỏ amoniac nitơ và tổng nitơ

Ngoài raBốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniac, nước thải bán dẫn cũng chứa các hình thức khác của nitơ amoniac (nhiên cứu, dung dịch làm sạch, v.v.):

Các ion clorua được phân giải điện tại cực cực để tạo ra clo hoạt tính (Cl2, HOCl, OCl−).

Chlor hoạt động nhanh chóng oxy hóa nitơ amoniac thành khí nitơ và nitơ hữu cơ (NH4 + trongBốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniacchất trung gian phân hủy) cũng được chuyển thành N2.

Tổng nitơ trong nước thải có thể giảm xuống dưới 10 ~ 20 mg / L.

IV. Ưu điểm chính (Mục tiêu nước thải bán dẫn)

V. Các thông số kỹ thuật (có thể tùy chỉnh)

VI. Địa điểm quá trình

Tùy chọn 1: Chế độ xử lý nước thải chuyên biệt

Bốn phần- Không.chất gây ô nhiễm amoniac/ Nước thải nhà phát triển → Bể thu gom và cân bằng → Thiết bị xử lý điện hóa học → Dòng nước thải (B / C ≥ 0.30) → Nhập bể bình đẳng nước thải tích hợp → Hệ thống sinh học thông thường → Xả đáp ứng các tiêu chuẩn / tái sử dụng

Tùy chọn 2: Điều trị chất thải sinh học tiên tiến

Integrated Wastewater → Pretreatment → Biological System → Secondary Sedimentation Tank → Advanced Electrochemical Treatment Equipment (Removal of Residual COD/TOC/Ammonia Nitrogen/Total Nitrogen) → Effluent → Reuse/Discharge Meets Standards

Tùy chọn 3: Giảm nước thải nồng độ cao (thay thế cho vận chuyển chất thải nguy hiểm)

Nước thải hữu cơ nồng độ cao (nước thải chất tẩy rửa, nước thải tẩy rửa, nước thải phát triển, v.v.)) → Bể thu → Thiết bị xử lý điện hóa học → Nước thải được xử lý (COD giảm đáng kể) → Tiếp tục xử lý sinh học