อุปกรณ์บำบัดน้ำเสียทางเคมีไฟฟ้า ใช้สำหรับการบำบัดน้ำเสียจากสารกึ่งตัวนำ

I. ภาพรวมสินค้า

น้ําเสียครึ่งตัวนํามาจากกระบวนการ เช่น การผลิตชิป (การผลิตแผ่นแผ่น, การบรรจุและการทดสอบ), แผ่นคริสตัลเหลว (TFT-LCD, OLED), เซลล์ไฟฟ้าไฟฟ้าและการผลิตส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์เป็นหนึ่งในประเภทของน้ําเสียที่มีความต้องการคุณภาพน้ําที่สูงที่สุดและความยากลําบากในการรักษาในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์กระบวนการผลิตครึ่งขนส่งซับซ้อนและมีหลายขั้นตอน, ส่งผลให้มีความแตกต่างที่สําคัญในคุณภาพของน้ําเสียในกระบวนการที่แตกต่างกัน.โดยหลักๆมาจากการพัฒนาทางแก้ไขสารสกัดและสารล้างความสะอาดที่มีปริมาณสารไนโตรเจนอะโมเนียกประมาณ 100-1000 mg/Lหลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียมน้ําเสียสามารถถึงพันๆ mg/L น้ําเสียอินทรีย์มาจากสารต่อต้านแสง, สารแก้ไขการถอน, เครื่องพัฒนา, สารทําความสะอาด เป็นต้นและมีสารละลายและพอลิมเลอร์อินทรีย์ที่ไม่ยอมแพ้หลายชนิดน้ําเสียกรดและเกลือมาจากกระบวนการทําความสะอาดและการถัก และมี H2SO4, HCl, HNO3, H3PO4, NaOH ฯลฯน้ําเสียจากการเคลือบเคมีกลไกมีอนุภาคบดขนาดนาโนการบําบัดน้ําเสียแบบครึ่งตัวนํา มีความต้องการที่แตกต่างกันในอุตสาหกรรม: การผลิตชิปต้องการความบริสุทธิ์ของน้ําสูงมากผลาญเคมีใด ๆ สามารถส่งผลกระทบต่อการใช้น้ําเสียและการปล่อยน้ําเสีย; น้ําเสียมีสารปนเปื้อนที่แตกต่างกัน ที่บกวนหรือเป็นพิษต่อจุลินทรีย์ ทําให้การบําบัดโดยตรงโดยระบบชีววิทยาที่ปกติยากมาตรฐานการปล่อยน้ําหนักเข้มข้นมาก; และบริษัทโดยทั่วไปต้องเผชิญกับความขาดแคลนของน้ําและเป้าหมายการใช้น้ําเสียอีกครั้งที่เข้มงวด

ระบบนี้ใช้เทคโนโลยีการออกซิเดชั่นทางเคมีไฟฟ้า ซึ่งสามารถนําไปใช้ได้อย่างยืดหยุ่นกับกรณีการรักษาน้ําเสียแบบครึ่งตัวนําหลายแบบ: สําหรับน้ําเสียที่มีหลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียม/ ไนโตรเจนอะโมเนียกสูง อะโมเนียกออกซิเดนและทําลายด้วยสารไฟฟ้าเคมีอย่างมีประสิทธิภาพหลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียม((CH3) 4NOH) เป็นสารกลางที่มีพิษต่ํา เช่นขนาดเล็ก-โมเลกุลอะมีน โดย- ไม่สินค้าอัตราการกําจัดไนโตรเจนทั้งหมดสามารถถึง 90% และไนโตรเจนอะโมเนียกในน้ําเสียสามารถลดลงถึง 5-10 mg/Lการแก้ไขปัญหาของหลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียมมีการละลายทางชีวภาพและพิษทางชีวภาพที่ต่ํา

สําหรับน้ําเสียอินทรีย์ (สารแก้วต่อแสง/สารแก้วตัด/สารแก้วพัฒนาฯลฯ) อะไหล่ออกซิเดนและแยกออกโดยตรง ธ อร์ต่อแสง, โพลิเมอร์และสารแก้วอินทรีย์วงแหวนเปิดและหักโซ่อัตราการกําจัด COD คือ 70% -90% และน้ําเสียสามารถเข้าระบบการบําบัดทางชีววิทยาต่อมาได้อย่างปลอดภัย หรือตรงไปตรงมาตามมาตรฐานการปล่อย

สําหรับการบําบัดน้ําเสียที่ลึกและการนําไปใช้ใหม่แบบครบวงจร ละเอียดการกําจัด COD เหลือ, ไอนิโตรแอมโมเนียค, และ TOC, โดย COD ของน้ําเสีย ≤30 ~ 50 mg/L และไอนิโตรแอมโมเนียค ≤ 5 mg/Lตอบสนองความต้องการสําหรับการปรุงปรุงน้ําที่บริสุทธิ์มาก หรือการนําไปใช้ใหม่โดยตรงในกระบวนการทําความสะอาด.

กระบวนการทั้งหมดใช้ไฟฟ้าเท่านั้น โดยไม่เพิ่มสารเคมี (หลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียมการบํารุงรักษาไม่ต้องการแหล่งคาร์บอนภายนอกหรือการปรับกรด / แอลคาลี) และไม่ผลิตปริมาณ sludge เคมี ( sludge ที่มีฟลอริดลด 50% ~ 80%).อิเล็กตรอดยังสามารถทํางานได้อย่างมีประสิทธิภาพในน้ําเสียที่มีการนําไฟต่ํา, ใช้งานในอุณหภูมิและความดันปกติ, รับประกันความปลอดภัยและความมั่นคงมันเป็นการเลือกเทคโนโลยีที่เหมาะสมสําหรับการปรับปรุงการบํารุงน้ําเสียในอุตสาหกรรมครึ่งประสาท จาก "การตอบสนองมาตรฐานการปล่อย" เป็น "การใช้ทรัพยากรใหม่".

II. ความยากลําบากในการบําบัดน้ําเสียแบบครึ่งประสาทและการแก้ไขด้วยอุปกรณ์เหล่านี้

III. หลักการทํางาน

ขึ้นอยู่กับคุณภาพน้ําและเป้าหมายการบําบัด น้ําเสียครึ่งประสาทผ่านการปฏิกิริยาการชําระต่อไปนี้ในปฏิกิริยาไฟฟ้าเคมี

(1) การบดออกซิเดนต์ที่มีประสิทธิภาพสูงของหลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียม(เททราเมธีลาโมเนียมไฮโดรออกไซด์) (หน้าที่หลักเฉพาะสําหรับครึ่งประสาท)

หลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียม((CH3) 4NOH) เป็นสารปนเปื้อนออร์แกนิคที่มีไนโตรเจนที่มีตัวแทนมากที่สุดในอุตสาหกรรมครึ่งตัวนํา มีสารพิษทางชีวภาพและยากที่จะแยกแยกทางชีวภาพในปฏิกิริยาไฟฟ้าเคมี:

หลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียมได้ถูกออกซิเดียนโดยตรงโดยการสูญเสียอิเล็กตรอนบนพื้นผิวอะโนด

อัตราการกําจัดไนโตรเจนทั้งหมด ≥ 90% และไนโตรเจนทั้งหมดในน้ําเสียสามารถลดลงถึง 10 ~ 20) น้ําเสียอินทรีย์ครึ่งประสาทมีสารพัดแสง, การถอดสารละลาย, surfactants ในพัฒนาการ, ฯลฯ: โพลิเมอร์ Macromolecular ได้ถูกออกซิเดนและแตกบนพื้นผิว anode,และโซ่คาร์บอนยาวและแหวนหอมถูกแยกออกเป็นกรดอินทรีย์โมเลกุลเล็กๆสารละลายอินทรีย์ (IPA, PGMEA, NMP, ฯลฯ) ได้ถูกออกซิเดียนโดยตรงเป็น CO2 และ H2O ที่แอโนดการกําจัด COD อย่างครบถ้วนอิออนคลอริดที่มีอยู่ในธรรมชาติ (นํามาในระหว่างการทําความสะอาดครึ่งประสาท) สร้างคลอรินที่ทํางานซึ่งช่วยเสริมการออกซิเดชั่นของสารอินทรีย์ในสารละลายที่ไม่สามารถติดต่อกับอะโนดได้โดยตรง.

(3) การกําจัดไนโตรเจนอะโมเนียกและไนโตรเจนทั้งหมด

นอกจากนี้หลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียม, น้ําเสียครึ่งประสาทยังมีรูปแบบอื่น ๆ ของอะโมเนียกไนโตรเจน (การพัฒนา, น้ํายาทําความสะอาด, ฯลฯ):

อิโอนคลอรีดถูกนําไปประกอบด้วยไฟฟ้าที่อะโนดเพื่อผลิตคลอรีนที่ทํางาน (Cl2, HOCl, OCl−)

คลอรีนประสิทธิภาพออกซิเดนไนโตรเจนอะโมเนียกอย่างรวดเร็วเป็นแก๊สไนโตรเจน และไนโตรเจนอินทรีย์ (NH4+) ในหลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียมธาตุระหว่างการละลาย) ก็เปลี่ยนเป็น N2

ไนโตรเจนทั้งหมดในน้ําเสียสามารถลดลงต่ํากว่า 10 ~ 20 mg / L

IV. ข้อดีหลัก (เป้าหมายน้ําเสียครึ่งตัวนํา)

V. ปริมาตรเทคนิค (สามารถปรับแต่ง)

VI สถานที่กระบวนการ

ตัวเลือกที่ 1: การบําบัดน้ําเสียเฉพาะเจาะจง

หลักสี่- ไม่ปนเปื้อนแอมโมเนียม/ น้ําเสียของผู้พัฒนา → ถังเก็บและปรับระดับ → อุปกรณ์การบําบัดด้วยสารไฟฟ้าเคมี → น้ําเสีย (B/C ≥ 0.30) → เข้าสู่ถังปรับระดับน้ําเสียที่บูรณาการ → ระบบชีววิทยาแบบปกติ

ตัวเลือกที่ 2: การบําบัดน้ําเสียทางชีววิทยาที่พัฒนา

Integrated Wastewater → Pretreatment → Biological System → Secondary Sedimentation Tank → Advanced Electrochemical Treatment Equipment (Removal of Residual COD/TOC/Ammonia Nitrogen/Total Nitrogen) → Effluent → Reuse/Discharge Meets Standards

ตัวเลือกที่ 3: การลดน้ําเสียที่มีปริมาณสูง (เป็นทางเลือกในการขนส่งขยะอันตราย)

น้ําเสียอินทรีย์ที่มีปริมาณสูง (น้ําเสียจากเครื่องซักผ้า, น้ําเสียจากการถอนน้ําเสีย, น้ําเสียจากผู้ประกอบการ, ฯลฯ)) → ถังเก็บของ → อุปกรณ์การบําบัดด้วยสารไฟฟ้าเคมี → น้ําเสียที่ได้รับการบําบัด (COD ลดลงอย่างมาก) → การบําบัดทางชีววิทยาต่อเนื่อง