Elektrochemische Abwasserbehandlungsanlage, verwendet für die Halbleiterabwasserbehandlung.

I. Produktübersicht

Das Abwasser aus Halbleitern stammt aus Verfahren wie der Herstellung von Chips (Waferherstellung, Verpackung und Prüfung), Flüssigkristallplatten (TFT-LCD, OLED), Photovoltaikzellen,Produktion von elektronischen KomponentenEs ist eine der Abwasserarten mit den höchsten Anforderungen an die Wasserqualität und mit den größten Schwierigkeiten bei der Behandlung in der Elektronikindustrie.Die Herstellung von Halbleitern ist komplex und umfasst zahlreiche Schritte, was zu erheblichen Unterschieden in der Abwasserqualität zwischen verschiedenen Prozessen führt.Die Entwicklung von Lösungen, Stripping-Lösungen und Reinigungslösungen mit Ammoniak-Stickstoffkonzentrationen, die typischerweise zwischen 100 und 1000 mg/l liegen.Quartär- Ich weiß.AmmoniumschadstoffeAbwässer können Tausende von mg/l erreichen. Organische Abwässer stammen aus Photoresisten, Stripping-Lösungen, Entwicklern, Reinigungsmitteln usw.und enthält verschiedene widerstandsfähige organische Lösungsmittel und PolymereSäure- und alkalische Abwässer stammen aus Reinigungs- und Ätzungsprozessen und enthalten H2SO4, HCl, HNO3, H3PO4, NaOH usw.Abwässer aus chemisch-mechanischem Polieren enthalten nanogroße SchleifpartikelBei der Behandlung von Abwässern durch Halbleiter gibt es unterschiedliche branchenspezifische Anforderungen: Die Herstellung von Chips erfordert eine äußerst hohe Wasserreinheit;Chemikalienrückstände können die Wiederverwendung und Abwasserentsorgung beeinträchtigen■ Abwasser enthält verschiedene charakteristische Schadstoffe, die Mikroorganismen hemmen oder vergiften, was die direkte Behandlung durch konventionelle biologische Systeme erschwert;Die Ablassnormen sind extrem streng.; und Unternehmen stehen im Allgemeinen vor Wasserknappheit und strengen Wiederverwendungszielen für Abwasser.

Dieses System verwendet eine elektrochemische Oxidationstechnologie, die flexibel auf verschiedene Verfahren zur Behandlung von Abwässern mit Halbleitern angewendet werden kann:Quartär- Ich weiß.Ammoniumschadstoffe/hoher Ammoniakdioxidgehalt) wirksam elektrochemisch oxidiert und abbautQuartär- Ich weiß.Ammoniumschadstoffe((CH3) 4NOH) in geringtoxische Zwischenprodukte wieklein-Molekül Amin durch- Ich weiß.ProdukteDie Gesamtentfernung von Stickstoff kann über 90% betragen und der ammoniakhaltige Stickstoff im Abwasser auf 5-10 mg/l reduziert werden.Die Kommission ist der Auffassung, daß dieQuartär- Ich weiß.AmmoniumschadstoffeDie biologische Abbaubarkeit und Biotoxizität ist gering.

Bei organischem Abwasser (Fotoresist/Stripping-Lösung/Developer-Lösung usw.) oxidiert und zersetzt sie direkt photoresistente Harze, Polymere und organische Lösungsmittel,mit einem Durchmesser von mehr als 20 mm,Die COD-Entfernung beträgt 70% bis 90%, so dass das Abwasser sicher in die nachfolgenden biologischen Aufbereitungssysteme gelangen oder direkt den Abflussnormen entsprechen kann.

Für die umfassende Tiefenbehandlung und Wiederverwendung von Abwasser mit tiefer Entfernung von Rest-COD, Ammoniak Stickstoff und TOC bei COD ≤30~50 mg/L und Ammoniak Stickstoff ≤5 mg/Ldie Anforderungen an die Vorbehandlung von ultrareinem Wasser oder die direkte Wiederverwendung bei Reinigungsprozessen erfüllen.

Das gesamte Verfahren verbraucht nur Strom, ohne chemische Wirkstoffe hinzuzufügen (Quartär- Ich weiß.AmmoniumschadstoffeDie Behandlung erfordert keine externe Kohlenstoffquelle oder eine Säure/Alkali-Anpassung) und erzeugt keine großen Mengen chemischen Schlamms (Fluorid enthaltender Schlamm wird um 50% bis 80% reduziert).Die Elektroden können in Abwasser mit geringer Leitfähigkeit noch effizient arbeiten, die bei normaler Temperatur und unter normalem Druck betrieben werden, um Sicherheit und Stabilität zu gewährleisten.Es ist eine ideale Technologiewahl für die Verbesserung der Abwasserbehandlung der Halbleiterindustrie von der "Erfüllung von Abflussnormen" zur "Wiederverwendung von Ressourcen".

II. Schwierigkeiten bei der Behandlung von Abwässern durch Halbleiter und Lösungen für diese Anlagen

III. Arbeitsprinzip

Abhängig von den Wasserqualitäts- und Behandlungszwecken werden Halbleiterabwasser in einem elektrochemischen Reaktor den folgenden Reinigungsreaktionen unterzogen:

(1) Hocheffizienter oxidativer Abbau vonQuartär- Ich weiß.Ammoniumschadstoffe(Tetramethylammoniumhydroxid) (eine Kernfunktion, die nur bei Halbleitern vorkommt)

Quartär- Ich weiß.Ammoniumschadstoffe((CH3) 4NOH) ist der am stärksten repräsentative stickstoffhaltige organische Schadstoff in der Halbleiterindustrie, biotoxisch und schwer biologisch abbaubar.

Quartär- Ich weiß.Ammoniumschadstoffeist direkt oxidiert, indem Elektronen auf der Anodenoberfläche verloren gehen.

(2) Oxidativer Abbau organischen Abwassers (Fotoresist/Stripping-Lösung/Entwickler usw.)) Halbleiter organisches Abwasser enthält photoresistentes Harz, Stripping-Lösung, Tenside in Entwickler usw.: Makromolekulare Polymere werden auf der Anodenoberfläche oxidiert und gebrochen,und lange Kohlenstoffketten und aromatische Ringe werden allmählich in kleine Moleküle organischer Säuren abgebautOrganische Lösungsmittel (IPA, PGMEA, NMP usw.) werden direkt an der Anode zu CO2 und H2O oxidiert.Gewährleistung einer gründlichen Entfernung der KDZNatürlich vorhandene Chlorid-Ionen (die während der Halbleiterreinigung eingeführt werden) erzeugen aktives Chlor.der die Oxidation organischer Stoffe in der Lösung, die nicht direkt mit der Anode in Berührung kommen kann, ergänzt.

(3) Entfernung von Ammoniak Stickstoff und Gesamt Stickstoff

Außerdem...Quartär- Ich weiß.Ammoniumschadstoffe, Halbleiterabwasser enthält auch andere Formen von Ammoniak Stickstoff (Entwickler, Reinigungslösung usw.):

Chlorid-Ionen werden an der Anode zur Erzeugung von aktivem Chlor (Cl2, HOCl, OCl−) elektrolisiert.

Aktivchlor oxidiert Ammoniaksäure rasch in Stickstoffgas und organischen Stickstoff (NH4+ inQuartär- Ich weiß.AmmoniumschadstoffeAbbauzwischenprodukte) wird ebenfalls in N2 umgewandelt.

Der Gesamtstickstoff im Abwasser kann auf weniger als 10 bis 20 mg/l reduziert werden.

IV. Kernvorteile (Ziel für Halbleiterabwasser)

V. Technische Parameter (anpassbar)

VI. Standort der Prozesse

Option 1: Spezialisierte Abwasserbehandlung

Quartär- Ich weiß.Ammoniumschadstoffe/Entwickler Abwasser → Sammel- und Ausgleichsbehälter → Elektrochemiebehandlungsanlage → Abwasser (B/C ≥ 0.30) → Eintritt in den integrierten Abwasserausgleichsbecken → Konventionelles biologisches System → Ableitung erfüllt die Normen/Wiederverwendung

Option 2: Erweiterte biologische Abwasseraufbereitung

Integrated Wastewater → Pretreatment → Biological System → Secondary Sedimentation Tank → Advanced Electrochemical Treatment Equipment (Removal of Residual COD/TOC/Ammonia Nitrogen/Total Nitrogen) → Effluent → Reuse/Discharge Meets Standards

Option 3: Verringerung von Abwasser in hoher Konzentration (Alternative zum Transport gefährlicher Abfälle)

Hohe Konzentration an organischem Abwasser (Abwasser aus Waschmitteln, Abwasser aus Entleerung, Abwasser aus Bauträgern usw.)) → Sammelbehälter → Elektrochemiebehandlungsanlage → Aufbereitetes Abwasser (deutlich reduzierte COD) → Fortgesetzte biologische Behandlung