Urządzenia do elektrochemicznego oczyszczania ścieków, stosowane do oczyszczania ścieków w przemyśle półprzewodnikowym.

I. Przegląd produktu

Odpady półprzewodnikowe pochodzą z procesów takich jak produkcja chipów (produkcja płytek, pakowanie i testowanie), płytek krystalicznych (TFT-LCD, OLED), ogniw fotowoltaicznych,i produkcji komponentów elektronicznychJest to jeden z rodzajów ścieków o najwyższych wymaganiach dotyczących jakości wody i największej trudności w oczyszczaniu w przemyśle elektronicznym.Proces produkcji półprzewodników jest złożony i obejmuje wiele etapów, co powoduje znaczące różnice w jakości ścieków w różnych procesach.Pochodzi głównie z opracowywania rozwiązań, roztwory do usuwania i roztwory do czyszczenia, o stężeniu azotu amoniaku zazwyczaj w zakresie od 100 do 1000 mg/l.czterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakoweOdpady organiczne pochodzą z fotorezystantów, roztworów odciągających, rozpuszczalników, środków czyszczących itp.,i zawiera różne rekalcytujące rozpuszczalniki organiczne i polimeryWoda ściekowa kwasowa i zasadowa pochodzi z procesów oczyszczania i grafowania i zawiera H2SO4, HCl, HNO3, H3PO4, NaOH itp.Odpady polerowania chemicznego i mechanicznego zawierają cząstki ścierne o wielkości nanoOczyszczanie ścieków półprzewodnikowych ma wyraźne wymagania specyficzne dla branży: produkcja chipów wymaga wyjątkowo wysokiej czystości wody;wszelkie pozostałości chemiczne mogą mieć wpływ na ponowne wykorzystanie i zrzut ścieków; ścieki zawierają różne charakterystyczne zanieczyszczenia, które hamują lub zatruwają mikroorganizmy, utrudniając bezpośrednie oczyszczanie konwencjonalnymi systemami biologicznymi;Standardy wyładowania są bardzo rygorystyczne.; a przedsiębiorstwa na ogół borykają się z niedoborem wody i rygorystycznymi celami w zakresie ponownego wykorzystania ścieków.

System ten wykorzystuje technologię utleniania elektrochemicznego, która może być elastycznie stosowana do różnych scenariuszy oczyszczania ścieków półprzewodnikowych:czterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakowe/wysoki poziom azotu amoniakowego"wydajnie elektrochemicznie utlenia i rozkładaczterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakowe((CH3) 4NOH) do średnich produktów o niskiej toksyczności, takich jak:małe-cząsteczka aminy przez- Nie.produkty, przekształcając je ostatecznie w N2, CO2 i H2O. Łączna szybkość usuwania azotu może osiągnąć ponad 90%, a azot amoniakowy w odpływie może zostać zmniejszony do 5-10 mg/l,całkowicie rozwiązać problemyczterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakoweSłaba biodegradacja i biotoksyczność.

W przypadku ścieków organicznych (rozpuszczalnik fotorezystyczny/rozpuszczalnik do usuwania materiałów/rozpuszczalnik rozpuszczalnika itp.) ◄ bezpośrednio utlenia i rozkłada żywice fotorezystyczne, polimery i rozpuszczalniki organiczne,otwieranie pierścieni i łamanie łańcuchówWskaźnik usuwania COD wynosi 70%-90%, a odpady mogą bezpiecznie wchodzić do kolejnych systemów oczyszczania biologicznego lub bezpośrednio spełniać standardy zrzutów.

W przypadku kompleksowego głębokiego oczyszczania i ponownego wykorzystania ścieków ▌z głębokim usuwaniem pozostałości COD, azotu amoniakowego i TOC, przy COD ≤30~50 mg/l i azotu amoniakowym ≤5 mg/l,spełniające wymagania dotyczące wstępnego oczyszczania wody ultraczystej lub bezpośredniego ponownego wykorzystania w procesach czyszczenia.

Cały proces zużywa jedynie energię elektryczną, bez dodawania środków chemicznych (czterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakoweW przypadku, gdy nie jest to możliwe, należy zastosować następujące metody przetwarzania:Elektrody mogą nadal działać skutecznie w ściekach o niskiej przewodności, działając przy normalnej temperaturze i ciśnieniu, zapewniając bezpieczeństwo i stabilność.Jest to idealny wybór technologiczny dla modernizacji oczyszczania ścieków przemysłu półprzewodnikowego z "zastosowania się do norm zrzutu" do "ponownego wykorzystania zasobów".

II. Trudności w oczyszczaniu ścieków półprzewodnikowych i rozwiązania z wykorzystaniem tego sprzętu

III. Zasada działania

W zależności od celów dotyczących jakości wody i oczyszczania, odpady półprzewodnikowe poddawane są następującym reakcjom oczyszczania w reaktorze elektrochemicznym:

(1) Wysokiej wydajności oksydacyjna degradacjaczterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakowe(hydroksyd tetrametyloamoniowy) (główną funkcję charakterystyczną dla półprzewodników)

czterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakowe((CH3) 4NOH) jest najbardziej reprezentatywnym zanieczyszczeniem organicznym zawierającym azot w przemyśle półprzewodnikowym, posiada biotoksyczność i jest trudny do biodegradacji.

czterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakowejest bezpośrednio utleniane poprzez utratę elektronów na powierzchni anody ∆ionów tetrametyloamoniowych (ionów kwaterno-amonowych) stopniowo demetylowane.

Częstość całkowitego usuwania azotu ≥ 90% i całkowity azot w ściekach można zmniejszyć do 10 do 20.) Półprzewodnikowe organiczne ścieki zawierają żywicę fotorezystującą, rozpuszczalnik, środki powierzchniowo czynne w deweloperze itp.: polimery makromolekularne są utleniane i rozkładane na powierzchni anody,i długie łańcuchy węglowe i pierścienie aromatyczne stopniowo rozkładają się na małe cząsteczki kwasów organicznych. rozpuszczalniki organiczne (IPA, PGMEA, NMP itp.) są bezpośrednio utleniane na CO2 i H2O na anodzie.zapewnienie dokładnego usunięcia DZP. naturalnie występujące jony chlorku (wprowadzane podczas czyszczenia półprzewodników) wytwarzają aktywny chlor,który uzupełnia utlenianie materii organicznej w roztworze, który nie może bezpośrednio stykać się z anoda.

(3) Usunięcie azotu amoniakowego i całkowitego azotu

Poza tymczterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakowe, ścieki półprzewodnikowe zawierają również inne formy azotu amoniakowego (rozpuszczalnik, roztwór czyszczący itp.):

Jony chlorku są elektrolizowane na anodach w celu wytworzenia aktywnego chloru (Cl2, HOCl, OCl−).

Chlor aktywny szybko utlenia azot amoniaku w gaz azotowy, a azot organiczny (NH4+ wczterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakoweN2 jest również przekształcany w N2.

Całkowity azot w ścieku można zmniejszyć do poziomu poniżej 10 do 20 mg/l.

IV. Główne zalety (celowanie w odpady półprzewodnikowe)

V. Parametry techniczne (wykonalne)

VI. Lokalizacja procesu

Opcja 1: Specjalistyczne oczyszczanie ścieków

czterokrotne- Nie.zanieczyszczenia amoniakowe/Woda odpadowa dla programistów → Zbiornik zbierania i wyrównywania → Urządzenie do elektrochemicznej oczyszczania → Woda odpadowa (B/C ≥ 0.30) → Wchodzi w zintegrowany zbiornik wyrównania ścieków → Konwencjonalny system biologiczny → Wypływ spełnia standardy/ponowne wykorzystanie

Opcja 2: Zaawansowana biologiczna obróbka ścieków

Integrated Wastewater → Pretreatment → Biological System → Secondary Sedimentation Tank → Advanced Electrochemical Treatment Equipment (Removal of Residual COD/TOC/Ammonia Nitrogen/Total Nitrogen) → Effluent → Reuse/Discharge Meets Standards

Opcja 3: Zmniejszenie ilości ścieków o wysokim stężeniu (alternatywa do transportu odpadów niebezpiecznych)

Woda odpadowa o wysokim stężeniu organicznych (oda odpadowa z detergentów, woda odpadowa z odprowadzania odpadów, woda odpadowa z budownictwa itp.)) → Zbiornik → Urządzenie do oczyszczania elektrochemicznej → Oczyszczona woda odpadowa (znacznie zmniejszona COD) → Kontynuacja oczyszczania biologicznego