Le acque reflue dei semiconduttori provengono da processi quali la produzione di chip (fabbricazione di wafer, imballaggio e collaudo), pannelli a cristalli liquidi (TFT-LCD, OLED), celle fotovoltaiche,e produzione di componenti elettroniciSi tratta di uno dei tipi di acque reflue con i più elevati requisiti di qualità dell'acqua e le maggiori difficoltà di trattamento nell'industria elettronica.I processi di produzione dei semiconduttori sono complessi e comportano numerose fasiLe acque reflue contenenti ammoniaca e azoto sono classificate principalmente come segue:Il progetto si basa principalmente sullo sviluppo di soluzioni, soluzioni di depurazione e soluzioni di pulizia, con concentrazioni di azoto di ammoniaca in genere comprese tra 100 e 1000 mg/l.Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonioLe acque reflue possono raggiungere migliaia di mg/l. Le acque reflue organiche provengono da fotoresistenti, soluzioni di stripping, sviluppatori, agenti di pulizia, ecc.,e contiene vari solventi organici e polimeri recalcitrantiLe acque reflue acide e alcaline provengono da processi di pulizia e di incisione e contengono H2SO4, HCl, HNO3, H3PO4, NaOH, ecc.Le acque reflue di lucidatura chimica e meccanica contengono particelle abrasive di dimensioni nanometricheIl trattamento delle acque reflue mediante semiconduttori presenta esigenze specifiche per l'industria: la fabbricazione di chip richiede una purezza dell'acqua estremamente elevata;qualsiasi residuo chimico può influire sul riutilizzo e sullo scarico delle acque reflue■ le acque reflue contengono vari inquinanti caratteristici che inibiscono o tossicizzano i microrganismi, rendendo difficile il trattamento diretto con sistemi biologici convenzionali;Gli standard di scarico sono estremamente rigorosi.Le aziende sono generalmente confrontate con scarsità d'acqua e obiettivi di riutilizzo delle acque reflue molto rigorosi.

Questo sistema utilizza una tecnologia di ossidazione elettrochimica che può essere applicata in modo flessibile a vari scenari di trattamento delle acque reflue mediante semiconduttori:Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio/nitrogeno ricco di ammoniaca ossida e degrada in modo efficiente elettrochimicamenteQuaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio((CH3) 4NOH) in prodotti intermedi a bassa tossicità qualipiccole-molecola di amine da- E'un' altra cosa.prodotti, trasformandoli infine in N2, CO2 e H2O. Il tasso totale di rimozione dell'azoto può raggiungere oltre il 90% e l'azoto di ammoniaca degli effluenti può essere ridotto a 5-10 mg/l,La Commissione ha deciso diQuaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonioLa sua scarsa biodegradabilità e biotossicità.

Per le acque reflue organiche (soluzione fotoresistente/soluzione di stripping/soluzione di sviluppo, ecc.) ∆ossida e decompone direttamente resine, polimeri e solventi organici fotoresistenti,Anelli di apertura e catene di rotturaIl tasso di rimozione delle COD è del 70%-90%, e gli effluenti possono entrare in modo sicuro in sistemi di trattamento biologici successivi o soddisfare direttamente le norme di scarico.

Per il trattamento e il riutilizzo complessivi delle acque reflue in profondità, con rimozione in profondità delle COD residue, dell'azoto di ammoniaca e del TOC, con COD ≤30~50 mg/l e azoto di ammoniaca ≤5 mg/l,che soddisfano i requisiti per il pretrattamento dell'acqua ultrapura o il suo riutilizzo diretto nei processi di pulizia.

L'intero processo consuma solo elettricità, senza aggiunta di agenti chimici (Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonioIl trattamento non richiede alcuna fonte esterna di carbonio o regolazione acido/alcalino) e non produce grandi quantità di fanghi chimici (i fanghi contenenti fluoruro sono ridotti del 50%-80%).Gli elettrodi possono ancora funzionare in modo efficiente nelle acque reflue con bassa conduttività, funzionando a temperatura e pressione normali, garantendo sicurezza e stabilità.Si tratta di una scelta tecnologica ideale per l'aggiornamento del trattamento delle acque reflue dell'industria dei semiconduttori da "standard di scarico" a "riutilizzo delle risorse".

II. Difficoltà nel trattamento delle acque reflue mediante semiconduttori e soluzioni con queste apparecchiature

Risolvere le difficoltà	Soluzioni elettrochimiche
Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio (idrossido di tetrametilammonio) è altamente tossico per gli organismi ed è quasi impossibile da degradare con metodi biochimici aerobici convenzionali.La degradazione anaerobica richiede molto tempo (da giorni a settimane) e produce gli intermedi amminici volatili tossici..	Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio è direttamente ossidato sulla superficie dell'anodo ∆ gli ioni tetrametilammonio sono demetilati e progressivamente degradati in ammini intermedi → ammoniaca → NH3 → N2,con un tasso totale di rimozione dell'azoto ≥ 90% e una HRT di soli 30~90 minuti.
La soluzione fotoresistente, la soluzione di stripping e il developer contengono grandi quantità di materia organica recalcitrante (resine, polimeri, solventi aromatici), hanno rapporti biochimici/carbonio estremamente bassi,e sono inefficienti per il trattamento biochimico.	Electrochemical direct oxidation ring-opening and bond breaking—chain scission of macromolecular polymers and ring opening of aromatic rings—results in COD removal rates of 70%–90% and increases the B/C ratio from 00,05 ‰ 0,10 a più di 0.30.
Le acque reflue organiche ad alta concentrazione (acque reflue detergenti, acque reflue di depurazione) hanno una DCO fino a decine di migliaia di mg/l,e i metodi di diluizione convenzionali richiedono diverse volte più acqua per il trattamento.	I metodi elettrochimici possono trattare direttamente liquidi di rifiuti organici ad alta concentrazione senza la necessità di una diluizione su larga scala.riducendo significativamente la quantità di acqua da trattare e la scala di attrezzature necessarie.
Molti flussi di acque reflue (contenenti azoto di ammoniaca, sostanze organiche, acidi e alcali) vengono trattati in modo indipendente, con il risultato di un sistema di gestione lungo, su larga scala e complesso.	Il trattamento elettrochimico può trattare contemporaneamente il COD e l'azoto ammoniacale, con una unità che completa la funzione di depurazione di più sistemi tradizionali.
Le acque reflue contengono vari solventi organici che sono sia solubili che tossici per i microrganismi, rendendo i sistemi biologici suscettibili di impatto.	La decomposizione dei solventi organici mediante ossidazione elettrochimica diretta elimina la biotossicità.garantire che gli effluenti possano entrare in sicurezza in un sistema di trattamento biologico o essere scaricati direttamente in conformità alle norme.

III. Principio di funzionamento

A seconda degli obiettivi di qualità e di trattamento dell'acqua, le acque reflue semiconduttrici sono sottoposte alle seguenti reazioni di depurazione in un reattore elettrochimico:

(1) Degradazione ossidativa ad elevata efficienza diQuaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio(idrossido di tetrametilammonio) (una funzione centrale unica dei semiconduttori)

Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio((CH3) 4NOH) è l'inquinante organico contenente azoto più rappresentativo nell'industria dei semiconduttori, che possiede biotossicità ed è difficile da biodegradare.

Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonioIoni di tetrametilammonio (ioni quaternari di ammonio) sono gradualmente demetilati.

Il tasso totale di rimozione dell'azoto ≥ 90% e l'azoto totale nell'effluente può essere ridotto a 10 ~ 20. (2) Degradazione ossidativa delle acque reflue organiche (fotoresista/soluzione di stripping/sviluppatore, ecc.)) Le acque reflue organiche semiconduttrici contengono resina fotoresistente, soluzione di stripping, tensioattivi in sviluppatore, ecc.: i polimeri macromolecolari vengono ossidati e rotti sulla superficie dell'anodo,e le lunghe catene di carbonio e gli anelli aromatici sono gradualmente decomposti in acidi organici a piccole molecoleI solventi organici (IPA, PGMEA, NMP, ecc.) vengono direttamente ossidati all'anodo in CO2 e H2O. I radicali idrossilici (· OH) ossidano indiscriminatamente varie sostanze organiche,assicurare una completa rimozione delle DCOGli ioni cloruro presenti in natura (introdotti durante la pulizia dei semiconduttori) generano cloro attivo.che integra l'ossidazione della materia organica nella soluzione che non può entrare direttamente in contatto con l'anodo.

(3) Rimozione dell'azoto di ammoniaca e dell'azoto totale

E poi...Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio, le acque reflue dei semiconduttori contengono anche altre forme di azoto di ammoniaca (soluzione di sviluppo, soluzione di pulizia, ecc.):

Gli ioni di cloruro vengono elettrolizzati all'anodo per generare cloro attivo (Cl2, HOCl, OCl−).

Il cloro attivo ossida rapidamente l'azoto di ammoniaca in gas azoto e l'azoto organico (NH4+ inQuaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonioL'acido nitroso è anche convertito in N2.

L'azoto totale nell'effluente può essere ridotto a meno di 10~20 mg/l.

IV. Vantaggi principali (riguardo alle acque reflue dei semiconduttori)

Vantaggi	illustrare
Degradazione altamente efficiente diQuaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio (a) Difficoltà fondamentali nell'industria dei semiconduttori	Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio raggiunge un tasso totale di rimozione dell'azoto di ≥ 90%, con una HRT di soli 30-90 minuti (rispetto a diversi giorni o settimane per la digestione anaerobica), risolvendo completamente i problemi diQuaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonioLa sua scarsa biodegradabilità e biotossicità.
Trattamento diretto di rifiuti organici liquidi ad alta concentrazione	Non è necessaria una diluizione su larga scala; processo direttamente, evitando il ciclo inefficace di "elaborazione di diluizione".
La COD e l'azoto di ammoniaca vengono rimossi contemporaneamente.	Una unità svolge la funzione di depurazione di più sistemi di trattamento tradizionali indipendenti, semplificando notevolmente il processo e riducendo l'impronta.
Dosi chimiche zero	Non vengono aggiunti reagenti chimiciQuaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio Il trattamento non richiede alcuna fonte esterna di carbonio, non introduce ioni estranei e non aumenta il TDS.
Non influenzato da un elevato contenuto di sale/azoto ricco di ammoniaca	Quando?Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio e le concentrazioni di azoto di ammoniaca sono elevate, l'efficienza del trattamento elettrochimico non diminuisce; al contrario, l'aumento dell'azoto di ammoniaca favorisce la via di ossidazione indiretta.
Funzionamento sicuro a temperatura e pressione normali	Tensione di funzionamento 3~15V DC, nessuna temperatura o pressione elevata, nessun rischio di perdite chimiche, soddisfa i severi requisiti EHS (Environmental, Health and Safety) dell'industria dei semiconduttori.
Controllo PLC completamente automatico	La corrente può essere regolata automaticamente in base al rilevamento online dell'acqua in entrataQuaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio/COD/nitrogeno ammoniacale, in risposta alle fluttuazioni della qualità dell'acqua e funzionante senza controllo.

V. Parametri tecnici (personalizzabili)

parametro	campo di applicazione
Volume di trasformazione	1 ~ 1000 m3/giorno (operazione modulare parallela)
Potenza installata	5 ~ 600 kW (a seconda della qualità dell'acqua e degli obiettivi di trattamento)
tensione di funzionamento	3 ~ 15 V (DC, tensione di sicurezza)
COD degli effluenti	Tasso di rimozione 70%~95%
Azoto di ammoniaca negli effluenti	Tasso di rimozione ≥ 90%
Materiale dell'apparecchiatura	PP / PVDF / Acciaio inossidabile / Titanio
Requisiti dell'acqua di entrata (pre-trattamento raccomandato)	SS ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (ampia gamma di adattabilità, può tollerare acque reflue fortemente acide contenenti fluoruro)

apparecchiature di trattamento delle acque reflue elettrochimiche, utilizzate per il trattamento delle acque reflue mediante semiconduttori;

VI. Luogo del processo

Opzione 1: trattamento specializzato delle acque reflue

Quaternario- E'un' altra cosa.inquinanti da ammonio/Acque reflue dello sviluppatore → Serbatoio di raccolta ed equalizzazione → Attrezzatura di trattamento elettrochimica → Effluenti (B/C ≥ 0.30) → entra in serbatoio integrato di compensazione delle acque reflue → sistema biologico convenzionale → scarico soddisfa gli standard/riutilizzo

Opzione 2: trattamento avanzato degli effluenti biologici

Integrated Wastewater → Pretreatment → Biological System → Secondary Sedimentation Tank → Advanced Electrochemical Treatment Equipment (Removal of Residual COD/TOC/Ammonia Nitrogen/Total Nitrogen) → Effluent → Reuse/Discharge Meets Standards

Opzione 3: riduzione delle acque reflue ad alta concentrazione (alternativa al trasporto dei rifiuti pericolosi)

Acque reflue organiche ad alta concentrazione (acque reflue detergenti, acque reflue di depurazione, acque reflue di sviluppo, ecc.)) → Serbatoio di raccolta → Attrezzatura di trattamento elettrochimica → Acque reflue trattate (COD significativamente ridotto) → Trattamento biologico continuo

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