Non sono richiesti prodotti chimici, non si generano rifiuti solidi e gli elettrodi non si riducono o si intasano.

Apparecchiatura per il trattamento delle acque reflue di semiconduttori elettrochimici. Non sono richiesti prodotti chimici, non vengono generati rifiuti solidi e gli elettrodi non si incrostano né si ostruiscono.

Dettagli rapidi

Le acque reflue dei semiconduttori sono un effluente altamente rappresentativo e impegnativo generato da industrie high-tech come la produzione di circuiti integrati e chip. Presentano caratteristiche idriche complesse, un'ampia varietà di inquinanti e standard di trattamento estremamente rigorosi. Questo tipo di acque reflue non proviene tipicamente da una singola fonte, ma comprende più flussi segregati con proprietà molto diverse: acque reflue contenenti fluoruri (da processi di incisione e pulizia, con concentrazioni di ioni fluoruro estremamente elevate), acque reflue acide/alcaline (utilizzando grandi quantità di acido nitrico, acido fluoridrico, ammoniaca, ecc.), acque reflue di macinazione/CMP (contenenti polvere di silicio su scala nanometrica, particelle abrasive e tensioattivi), acque reflue organiche (contenenti fotoresist, soluzioni sviluppatrici, solventi organici come DMSO, IPA, ecc.) e acque reflue contenenti metalli pesanti (potenzialmente contenenti rame, piombo, stagno, ecc.). Le principali difficoltà di trattamento risiedono in: gli inquinanti, pur non essendo necessariamente a concentrazioni estremamente elevate, sono altamente tossici e complessi nella composizione, con frequenti fluttuazioni della qualità dell'acqua. Inoltre, l'effluente finale deve soddisfare requisiti di concentrazione ionica e conducibilità molto bassi per raggiungere un riutilizzo ad alta percentuale o conformarsi a limiti di scarico più rigorosi rispetto agli standard convenzionali. Il tradizionale processo combinato di "pretrattamento segregato + trattamento biologico + trattamento a membrana" spesso incontra colli di bottiglia quando si tratta di solventi organici altamente tossici e metalli pesanti complessati, inclusi rischi di guasto dell'unità biologica, grave incrostazione delle membrane, alti costi operativi e sfide nello smaltimento finale dei flussi concentrati.

Affrontando le sfide principali delle acque reflue dei semiconduttori — "composizione diversificata e complessa, forte tossicità e inibizione, ed estremamente elevati requisiti di purezza" — l'apparecchiatura di ossidazione elettrochimica serie CQDHX EO, sviluppata e prodotta dalla nostra azienda (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), svolge un ruolo insostituibile nel trattamento delle acque reflue organiche refrattarie e delle acque reflue complesse di metalli pesanti. Attraverso l'elettrocatalisi, l'apparecchiatura genera radicali liberi altamente ossidanti che possono decomporre efficacemente composti organici macromolecolari complessi come fotoresist e solventi organici, rompendo le loro strutture cicliche e ottenendo la mineralizzazione diretta. Contemporaneamente, il processo elettrochimico può alterare gli stati di valenza e le forme degli ioni metallici pesanti, creando le condizioni per la loro successiva rimozione. Il suo eccezionale vantaggio di funzionamento pulito è: l'intero processo di ossidazione/riduzione non si basa sull'aggiunta di alcun agente chimico, evitando l'introduzione di nuovi ioni impuri — un fattore critico per l'industria dei semiconduttori, che persegue l'acqua ultrapura. Inoltre, il suo percorso di reazione non genera fanghi chimici aggiuntivi, riducendo significativamente l'onere e i rischi di inquinamento secondario associati allo smaltimento dei rifiuti pericolosi.

Le acque reflue contenenti fluoruri richiedono un pretrattamento separato tramite precipitazione chimica con sali di calcio per ridurre le concentrazioni di ioni fluoruro a bassi livelli; le acque reflue di macinazione/CMP richiedono coagulazione-sedimentazione per rimuovere i solidi sospesi; le acque reflue acide/alcaline richiedono neutralizzazione e aggiustamento; le acque reflue contenenti metalli pesanti richiedono pretrattamento di riduzione/precipitazione. Dopo vari pretrattamenti, le acque reflue possono entrare nella fase di trattamento elettrochimico potenziato. L'apparecchiatura elettrochimica EC può catturare efficientemente particelle colloidali residue, alcuni ioni metallici pesanti, fosfati e materia organica nelle acque reflue, e possiede capacità di demulsificazione e decolorazione, fornendo un'assicurazione di acqua di alimentazione di alta qualità per le successive unità di ossidazione avanzata e desalinizzazione/riutilizzo.

Successivamente, mirando agli inquinanti organici refrattari nelle acque reflue combinate (come fotoresist e solventi residui), le acque reflue entrano nella fase di ossidazione profonda e detossificazione guidata dall'apparecchiatura di ossidazione elettrochimica serie CQDHX EO. La tecnologia elettrochimica di ossidazione avanzata decomporrà efficientemente composti organici persistenti difficili da trattare con metodi convenzionali, riducendo efficacemente il TOC (Carbonio Organico Totale) e il COD, ed eliminando la loro tossicità biologica. Questo passaggio è cruciale per garantire il funzionamento stabile dei successivi sistemi a membrana, prevenire l'incrostazione organica e raggiungere elevati standard di qualità dell'acqua. Infine, l'effluente dopo il trattamento elettrochimico profondo entra nel sistema di tecnologia a membrana (ad esempio, osmosi inversa, scambio ionico) e di riutilizzo.

Attraverso l'apparecchiatura di ossidazione elettrochimica serie CQDHX EO sviluppata autonomamente dalla nostra azienda, operando in modalità pulita che non introduce nuove impurità e non genera fanghi chimici, viene risolta in modo efficiente la questione più impegnativa dei composti organici tossici nelle acque reflue. Ciò fornisce una garanzia chiave per il funzionamento stabile a lungo termine dei sistemi a membrana a valle e la conformità sicura della qualità dell'acqua del prodotto finale, supportando fortemente la produzione verde e lo sviluppo sostenibile dell'industria dei semiconduttori.

Per acque reflue con caratteristiche speciali o obiettivi di trattamento unici, gli ingegneri della nostra azienda forniscono supporto tecnico e soluzioni.

Specifiche tecniche dell'apparecchiatura per il trattamento delle acque reflue di semiconduttori elettrochimici

Precauzioni:

1. L'apparecchiatura deve essere installata in un'area ben ventilata, protetta dalla pioggia e non antideflagrante.
2. L'alimentazione dell'apparecchiatura utilizza un sistema trifase a cinque fili e l'apparecchiatura deve essere messa a terra in modo affidabile.
3. Non colpire gli elettrodi con oggetti duri.

Ambito di applicazione:

Acque reflue contenenti fluoruri da incisione e pulizia, acque reflue contenenti metalli pesanti da incisione e lucidatura, acque reflue organiche da fotolitografia e sviluppo, acque reflue acide/alcaline da pulizia e sviluppo, acque reflue da macinazione (CMP), ecc.

Principali inquinanti nelle acque reflue dei semiconduttori: composti organici, ioni metallici pesanti, sostanze acide e alcaline, fluoruri, solidi sospesi, ecc.

Principali inquinanti nelle acque reflue dei semiconduttori: composti organici, ioni metallici pesanti, sostanze acide e alcaline, fluoruri, solidi sospesi, ecc.

Principali inquinanti nelle acque reflue dei semiconduttori: composti organici, ioni metallici pesanti, sostanze acide e alcaline, fluoruri, solidi sospesi, ecc.

Processo di trattamento delle acque reflue di semiconduttori

Processo 1

Acque reflue complete di semiconduttori

↓

Sistema di pretrattamento (Opzionale)

(Migliora l'efficienza del sistema di ossidazione elettrochimica)

↓

Apparecchiatura di ossidazione elettrochimica serie CQDHX EO
(Rottura dei chelati per metalli pesanti, degradazione di fotoresist/solventi organici, rimozione fluoruri, degradazione COD)

↓

Scarico o separazione a membrana seguita da riutilizzo

Processo 2

Acque reflue complete di semiconduttori

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Sistema di pretrattamento (Opzionale)

(Migliora l'efficienza del sistema di ossidazione elettrochimica)

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SISTEMA ELETTROCHIMICO EC

(Rottura dei chelati per metalli pesanti, degradazione di fotoresist/solventi organici, rimozione fluoruri, degradazione COD)

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APPARECCHIATURA DI TRATTAMENTO PER OSSIDAZIONE ELETTROCHIMICA SERIE CQDHX EO

(degradazione COD)

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Scarico o separazione a membrana seguita da riutilizzo

Capacità di trattamento dell'apparecchiatura di trattamento delle acque reflue per ossidazione elettrochimica