Электрохимическое полупроводниковое оборудование для очистки сточных вод. Не требуются химические вещества, не образуются твердые отходы, электроды не масштабируются или не забиваются.

Оборудование для электрохимической очистки сточных вод полупроводниковой промышленности. Не требует химикатов, не образует твердых отходов, электроды не покрываются накипью и не засоряются.

Краткие сведения

Сточные воды полупроводниковой промышленности представляют собой высокорепрезентативные и сложные стоки, образующиеся в высокотехнологичных отраслях, таких как производство интегральных схем и чипов. Они характеризуются сложными свойствами воды, широким спектром загрязняющих веществ и чрезвычайно строгими стандартами очистки. Этот тип сточных вод обычно поступает не из одного источника, а состоит из нескольких отдельных потоков с сильно различающимися свойствами: сточные воды, содержащие фториды (от процессов травления и очистки, с чрезвычайно высокой концентрацией фторид-ионов), кислотные/щелочные сточные воды (с использованием большого количества азотной кислоты, плавиковой кислоты, аммиака и т. д.), сточные воды от шлифовки/CMP (содержащие наночастицы кремния, абразивные частицы и поверхностно-активные вещества), органические сточные воды (содержащие фоторезист, проявители, органические растворители, такие как ДМСО, ИПС и т. д.) и сточные воды, содержащие тяжелые металлы (потенциально содержащие медь, свинец, олово и т. д.). Основные трудности очистки заключаются в следующем: загрязняющие вещества, хотя и не обязательно в чрезвычайно высоких концентрациях, обладают высокой токсичностью и сложным составом, с частыми колебаниями качества воды. Кроме того, конечные стоки должны соответствовать очень низким требованиям по концентрации ионов и проводимости для достижения высокого процента повторного использования или соответствия более строгим, чем обычные стандарты, нормам сброса. Традиционный комбинированный процесс «сегрегированная предварительная очистка + биологическая очистка + мембранная очистка» часто сталкивается с проблемами при работе с высокотоксичными органическими растворителями и комплексованными тяжелыми металлами, включая риски отказа биологических установок, сильное загрязнение мембран, высокие эксплуатационные расходы и проблемы с окончательной утилизацией концентрированных потоков.

Решая основные проблемы сточных вод полупроводниковой промышленности — «разнообразный и сложный состав, сильная токсичность и ингибирование, а также чрезвычайно высокие требования к чистоте» — оборудование для электрохимического окисления серии CQDHX EO, разработанное и произведенное нашей компанией (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), играет незаменимую роль в очистке трудноочищаемых органических сточных вод и сложных сточных вод с тяжелыми металлами. Благодаря электрокатализу оборудование генерирует высокоокислительные свободные радикалы, которые могут эффективно разлагать сложные макромолекулярные органические соединения, такие как фоторезист и органические растворители, разрушая их циклические структуры и достигая прямой минерализации. Одновременно электрохимический процесс может изменять валентное состояние и формы ионов тяжелых металлов, создавая условия для их последующего удаления. Его выдающееся преимущество чистой работы заключается в том, что весь процесс окисления/восстановления не зависит от добавления каких-либо химических реагентов, избегая введения новых примесных ионов — критически важный фактор для полупроводниковой промышленности, которая стремится к сверхчистой воде. Кроме того, его реакционный путь не генерирует дополнительного химического шлама, что значительно снижает нагрузку и риски вторичного загрязнения, связанные с утилизацией опасных отходов.

Сточные воды, содержащие фториды, требуют отдельной предварительной очистки путем химического осаждения солями кальция для снижения концентрации фторид-ионов до низких уровней; сточные воды от шлифовки/CMP требуют коагуляции-осаждения для удаления взвешенных твердых частиц; кислотно-щелочные сточные воды требуют нейтрализации и регулирования; сточные воды с тяжелыми металлами требуют предварительной очистки путем восстановления/осаждения. После различных этапов предварительной очистки сточные воды могут поступать на стадию электрохимической усиленной очистки. Электрохимическое оборудование EC может эффективно улавливать остаточные коллоидные частицы, некоторые ионы тяжелых металлов, фосфаты и органические вещества в сточных водах, а также обладает определенными возможностями по деэмульгированию и обесцвечиванию, обеспечивая высококачественную подачу воды для последующих стадий продвинутого окисления и опреснения/повторного использования.

Затем, ориентируясь на трудноочищаемые органические загрязнители в комбинированных сточных водах (такие как остаточный фоторезист и растворители), сточные воды поступают на стадию глубокого окисления и детоксикации, возглавляемую оборудованием для электрохимического окисления серии CQDHX EO. Технология электрохимического продвинутого окисления будет эффективно разлагать стойкие органические соединения, которые трудно очистить традиционными методами, эффективно снижая общий органический углерод (TOC) и химическое потребление кислорода (COD) и устраняя их биологическую токсичность. Этот шаг имеет решающее значение для обеспечения стабильной работы последующих мембранных систем, предотвращения органического загрязнения и достижения высоких стандартов качества воды. Наконец, стоки после глубокой электрохимической очистки поступают в систему мембранных технологий (например, обратный осмос, ионный обмен) и повторного использования.

С помощью оборудования для электрохимического окисления серии CQDHX EO, независимо разработанного нашей компанией, работающего в чистом режиме, который не вносит новых примесей и не генерирует химического шлама, эффективно решается самая сложная проблема токсичных органических соединений в сточных водах. Это обеспечивает ключевую гарантию долгосрочной стабильной работы последующих мембранных систем и безопасного соответствия качества конечной продукции нормам, что активно поддерживает «зеленое» производство и устойчивое развитие полупроводниковой промышленности.

Для сточных вод с особыми характеристиками или уникальными целями очистки инженеры нашей компании предоставляют техническую поддержку и решения.

Технические характеристики оборудования для электрохимической очистки сточных вод полупроводниковой промышленности

Меры предосторожности:

1. Оборудование должно быть установлено в хорошо вентилируемом, защищенном от дождя, невзрывозащищенном помещении.
2. Источник питания оборудования использует трехфазную пятипроводную систему, и оборудование должно быть надежно заземлено.
3. Не ударяйте электроды твердыми предметами.

Область применения:

Сточные воды, содержащие фториды от травления и очистки, сточные воды с тяжелыми металлами от травления и полировки, органические сточные воды от фотолитографии и проявки, кислотно-щелочные сточные воды от очистки и проявки, сточные воды от шлифовки (CMP) и т. д.

Основные загрязнители в сточных водах полупроводниковой промышленности: органические соединения, ионы тяжелых металлов, кислые и щелочные вещества, фториды, взвешенные твердые частицы и т. д.

Основные загрязнители в сточных водах полупроводниковой промышленности: органические соединения, ионы тяжелых металлов, кислые и щелочные вещества, фториды, взвешенные твердые частицы и т. д.

Основные загрязнители в сточных водах полупроводниковой промышленности: органические соединения, ионы тяжелых металлов, кислые и щелочные вещества, фториды, взвешенные твердые частицы и т. д.

Процесс очистки сточных вод полупроводниковой промышленности

Процесс 1

Комплексные сточные воды полупроводниковой промышленности

↓

Система предварительной очистки (опционально)

(Повышает эффективность системы электрохимического окисления)

↓

Оборудование для электрохимического окисления серии CQDHX EO
(Разрушение хелатов тяжелых металлов, разложение фоторезиста/органических растворителей, удаление фторидов, разложение COD)

↓

Сброс или мембранное разделение с последующим повторным использованием

Процесс 2

Комплексные сточные воды полупроводниковой промышленности

↓

Система предварительной очистки (опционально)

(Повышает эффективность системы электрохимического окисления)

↓

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ СИСТЕМА EC

(Разрушение хелатов тяжелых металлов, разложение фоторезиста/органических растворителей, удаление фторидов, разложение COD)

↓

ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОКИСЛИТЕЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ СЕРИИ CQDHX EO

(разложение COD)

↓

Сброс или мембранное разделение с последующим повторным использованием

Производительность оборудования для очистки сточных вод методом электрохимического окисления