Полупроводниковое промышленное оборудование для очистки сточных вод, малые очистные сооружения

10 т/сут оборудование для электрохимической очистки сточных вод EO для производства полупроводниковых пластин, упаковки и тестирования чипов, очистки сточных вод вспомогательных объектов

Краткие сведения

Сточные воды полупроводниковой промышленности представляют собой высокорепрезентативный и сложный сток, образующийся в высокотехнологичных отраслях, таких как производство интегральных схем и чипов. Они характеризуются сложными свойствами воды, широким спектром загрязняющих веществ и чрезвычайно строгими стандартами очистки. Этот тип сточных вод обычно поступает не из одного источника, а состоит из нескольких отдельных потоков с совершенно разными свойствами: сточные воды, содержащие фториды (от процессов травления и очистки, с чрезвычайно высокой концентрацией фторид-ионов), кислотные/щелочные сточные воды (с использованием большого количества азотной кислоты, плавиковой кислоты, аммиака и т. д.), сточные воды от шлифовки/CMP (содержащие наночастицы кремния, абразивные частицы и поверхностно-активные вещества), органические сточные воды (содержащие фоторезист, проявители, органические растворители, такие как ДМСО, ИПС и т. д.) и сточные воды, содержащие тяжелые металлы (потенциально содержащие медь, свинец, олово и т. д.). Основные трудности очистки заключаются в следующем: загрязняющие вещества, хотя и не обязательно в чрезвычайно высоких концентрациях, являются высокотоксичными и сложными по составу, с частыми колебаниями качества воды. Кроме того, конечный сток должен соответствовать очень низким требованиям по концентрации ионов и проводимости для достижения высокой степени повторного использования или соответствия более строгим, чем обычные стандарты, нормам сброса. Традиционный комбинированный процесс "раздельная предварительная очистка + биологическая очистка + мембранная очистка" часто сталкивается с узкими местами при работе с высокотоксичными органическими растворителями и комплексованными тяжелыми металлами, включая риски отказа биологических установок, сильное загрязнение мембран, высокие эксплуатационные расходы и проблемы с окончательной утилизацией концентратов.

Решая основные проблемы сточных вод полупроводниковой промышленности — "разнообразный и сложный состав, сильная токсичность и ингибирование, а также чрезвычайно высокие требования к чистоте" — оборудование для электрохимического окисления серии CQDHX EO, разработанное и произведенное нашей компанией (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), играет незаменимую роль в очистке трудноразлагаемых органических сточных вод и сточных вод, содержащих комплексные тяжелые металлы. Благодаря электрокатализу оборудование генерирует высокоокисляющие свободные радикалы, которые могут эффективно разлагать сложные макромолекулярные органические соединения, такие как фоторезист и органические растворители, разрушая их циклические структуры и достигая прямой минерализации. Одновременно электрохимический процесс может изменять степени окисления и формы ионов тяжелых металлов, создавая условия для их последующего удаления. Его выдающееся преимущество чистой работы заключается в том, что весь процесс окисления/восстановления не зависит от добавления каких-либо химических реагентов, избегая введения новых примесных ионов — критически важный фактор для полупроводниковой промышленности, которая стремится к сверхчистой воде. Кроме того, его реакционный путь не генерирует дополнительного химического шлама, что значительно снижает нагрузку и риски вторичного загрязнения, связанные с утилизацией опасных отходов.

Сточные воды, содержащие фториды, требуют отдельной предварительной очистки путем химического осаждения солями кальция для снижения концентрации фторид-ионов до низких уровней; сточные воды от шлифовки/CMP требуют коагуляции-осаждения для удаления взвешенных твердых частиц; кислотно-щелочные сточные воды требуют нейтрализации и корректировки; сточные воды, содержащие тяжелые металлы, требуют предварительной очистки путем восстановления/осаждения. После различных этапов предварительной очистки сточные воды могут поступать на стадию электрохимической усиленной очистки. Электрохимическое оборудование EC может эффективно улавливать остаточные коллоидные частицы, некоторые ионы тяжелых металлов, фосфаты и органические вещества в сточных водах, а также обладает определенными возможностями деэмульгирования и обесцвечивания, обеспечивая высококачественное питание для последующих установок передовой окислительной обработки и опреснения/повторного использования.

Затем, ориентируясь на трудноразлагаемые органические загрязнители в комбинированных сточных водах (такие как остаточный фоторезист и растворители), сточные воды поступают на стадию глубокого окисления и детоксикации под руководством оборудования для электрохимического окисления серии CQDHX EO. Технология электрохимического передового окисления будет эффективно разлагать стойкие органические соединения, которые трудно поддаются очистке традиционными методами, эффективно снижая TOC (общий органический углерод) и COD, и устраняя их биологическую токсичность. Этот шаг имеет решающее значение для обеспечения стабильной работы последующих мембранных систем, предотвращения органического загрязнения и достижения высоких стандартов качества воды. Наконец, сток после глубокой электрохимической обработки поступает в систему мембранных технологий (например, обратный осмос, ионный обмен) и повторного использования.

С помощью оборудования для электрохимического окисления серии CQDHX EO, независимо разработанного нашей компанией, работающего в чистом режиме, который не вносит новых примесей и не генерирует химического шлама, эффективно решается самая сложная проблема токсичных органических соединений в сточных водах. Это обеспечивает ключевую гарантию долгосрочной стабильной работы последующих мембранных систем и безопасного соответствия качества конечной продукции требованиям к воде, что активно поддерживает зеленое производство и устойчивое развитие полупроводниковой промышленности.

Для сточных вод с особыми характеристиками или уникальными целями очистки инженеры нашей компании предоставляют техническую поддержку и решения.

Технические характеристики для очистки сточных вод мощностью 10 тонн в сутки

Меры предосторожности:

1. Оборудование должно быть установлено в хорошо вентилируемом, защищенном от дождя, невзрывозащищенном помещении.
2. Электропитание оборудования осуществляется по трехфазной пятипроводной системе, и оборудование должно быть надежно заземлено.
3. Не ударяйте электроды твердыми предметами.

Область применения:

Сточные воды, содержащие фториды от травления и очистки, сточные воды, содержащие тяжелые металлы от травления и полировки, органические сточные воды от фотолитографии и проявления, кислотно-щелочные сточные воды от очистки и проявления, сточные воды от шлифовки (CMP) и т. д.

Основные загрязнители в сточных водах полупроводниковой промышленности: органические соединения, ионы тяжелых металлов, кислые и щелочные вещества, фториды, взвешенные твердые частицы и т. д.

Основные загрязнители в сточных водах полупроводниковой промышленности: органические соединения, ионы тяжелых металлов, кислые и щелочные вещества, фториды, взвешенные твердые частицы и т. д.

Основные загрязнители в сточных водах полупроводниковой промышленности: органические соединения, ионы тяжелых металлов, кислые и щелочные вещества, фториды, взвешенные твердые частицы и т. д.

Процесс очистки сточных вод полупроводниковой промышленности

Процесс 1

Комплексные сточные воды полупроводниковой промышленности

↓

Система предварительной очистки (опционально)

(Улучшает эффективность системы электрохимического окисления)

↓

Оборудование для электрохимического окисления серии CQDHX EO
(Разрушение хелатов тяжелых металлов, деградация фоторезиста/органических растворителей, удаление фторидов, деградация COD)

↓

Сброс или мембранное разделение с последующим повторным использованием

Процесс 2

Комплексные сточные воды полупроводниковой промышленности

↓

Система предварительной очистки (опционально)

(Улучшает эффективность системы электрохимического окисления)

↓

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ СИСТЕМА EC

(Разрушение хелатов тяжелых металлов, деградация фоторезиста/органических растворителей, удаление фторидов, деградация COD)

↓

ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОКИСЛИТЕЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ СЕРИИ CQDHX EO

(деградация COD)

↓

Сброс или мембранное разделение с последующим повторным использованием

Производительность оборудования для электрохимической очистки сточных вод