Ημιαγωγός Βιομηχανικός εξοπλισμός λυμάτων, μικρές εγκαταστάσεις επεξεργασίας λυμάτων

Εξοπλισμός ηλεκτροχημικής επεξεργασίας λυμάτων 10 τόνων/ημέρα για κατασκευή πλακετών ημιαγωγών, συσκευασία και δοκιμή τσιπ, επεξεργασία λυμάτων βοηθητικών εγκαταστάσεων

Γρήγορες Λεπτομέρειες

Τα λύματα ημιαγωγών αποτελούν ένα εξαιρετικά αντιπροσωπευτικό και δύσκολο απόβλητο που παράγεται από βιομηχανίες υψηλής τεχνολογίας, όπως η κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και τσιπ. Χαρακτηρίζονται από σύνθετα χαρακτηριστικά νερού, μεγάλη ποικιλία ρύπων και εξαιρετικά αυστηρά πρότυπα επεξεργασίας. Αυτός ο τύπος λυμάτων συνήθως δεν προέρχεται από μία μόνο πηγή, αλλά αποτελείται από πολλαπλές διαχωρισμένες ροές με πολύ διαφορετικές ιδιότητες: λύματα που περιέχουν φθόριο (από διεργασίες χάραξης και καθαρισμού, με εξαιρετικά υψηλές συγκεντρώσεις ιόντων φθορίου), λύματα οξέων/αλκάλεων (που χρησιμοποιούν μεγάλες ποσότητες νιτρικού οξέος, υδροφθορικού οξέος, αμμωνίας κ.λπ.), λύματα λείανσης/CMP (που περιέχουν σκόνη πυριτίου νανοκλίμακας, σωματίδια λειαντικών και επιφανειοδραστικές ουσίες), οργανικά λύματα (που περιέχουν φωτοαντιστατικά υλικά, διαλύματα ανάπτυξης, οργανικούς διαλύτες όπως DMSO, IPA κ.λπ.) και λύματα που περιέχουν βαρέα μέταλλα (που ενδέχεται να περιέχουν χαλκό, μόλυβδο, κασσίτερο κ.λπ.). Οι κύριες δυσκολίες επεξεργασίας έγκεινται στους ρύπους, οι οποίοι, αν και όχι απαραίτητα σε εξαιρετικά υψηλές συγκεντρώσεις, είναι εξαιρετικά τοξικοί και σύνθετοι στη σύνθεση, με συχνές διακυμάνσεις στην ποιότητα του νερού. Επιπλέον, τα τελικά απόβλητα πρέπει να πληρούν πολύ χαμηλές απαιτήσεις συγκέντρωσης ιόντων και αγωγιμότητας για να επιτευχθεί υψηλό ποσοστό επαναχρησιμοποίησης ή να συμμορφωθούν με όρια εκκένωσης αυστηρότερα από τα συμβατικά πρότυπα. Η παραδοσιακή συνδυασμένη διαδικασία "διαχωρισμένη προεπεξεργασία + βιολογική επεξεργασία + μεμβρανική επεξεργασία" συχνά αντιμετωπίζει εμπόδια κατά την επεξεργασία εξαιρετικά τοξικών οργανικών διαλυτών και συμπλοκοποιημένων βαρέων μετάλλων, συμπεριλαμβανομένων κινδύνων αποτυχίας της βιολογικής μονάδας, σοβαρής ρύπανσης της μεμβράνης, υψηλού κόστους λειτουργίας και προκλήσεων στην τελική διάθεση των συμπυκνωμένων ροών.

Αντιμετωπίζοντας τις κύριες προκλήσεις των λυμάτων ημιαγωγών - "ποικίλη και σύνθετη σύνθεση, ισχυρή τοξικότητα και αναστολή, και εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις καθαρότητας" - ο Εξοπλισμός Ηλεκτροχημικής Οξείδωσης Σειράς CQDHX EO, που αναπτύχθηκε και κατασκευάστηκε από την εταιρεία μας (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), διαδραματίζει αναντικατάστατο ρόλο στην επεξεργασία ανθεκτικών οργανικών λυμάτων και σύνθετων λυμάτων βαρέων μετάλλων. Μέσω της ηλεκτροκατάλυσης, ο εξοπλισμός παράγει εξαιρετικά οξειδωτικές ελεύθερες ρίζες που μπορούν να αποδομήσουν αποτελεσματικά σύνθετες μακρομοριακές οργανικές ενώσεις όπως φωτοαντιστατικά υλικά και οργανικούς διαλύτες, σπάζοντας τις κυκλικές τους δομές και επιτυγχάνοντας άμεση ορυκτοποίηση. Ταυτόχρονα, η ηλεκτροχημική διαδικασία μπορεί να μεταβάλει τις καταστάσεις σθένους και τις μορφές των ιόντων βαρέων μετάλλων, δημιουργώντας συνθήκες για την επακόλουθη απομάκρυνσή τους. Το εξαιρετικό πλεονέκτημα καθαρής λειτουργίας του είναι: ολόκληρη η διαδικασία οξείδωσης/αναγωγής δεν βασίζεται στην προσθήκη χημικών παραγόντων, αποφεύγοντας την εισαγωγή νέων ιόντων ακαθαρσιών - ένας κρίσιμος παράγοντας για τη βιομηχανία ημιαγωγών, η οποία επιδιώκει υπερκαθαρό νερό. Επιπλέον, η οδός αντίδρασής του δεν παράγει πρόσθετα χημικά λάσπη, μειώνοντας σημαντικά το φορτίο και τους κινδύνους δευτερογενούς ρύπανσης που σχετίζονται με τη διάθεση επικίνδυνων αποβλήτων.

Τα λύματα που περιέχουν φθόριο απαιτούν ξεχωριστή προεπεξεργασία μέσω χημικής καθίζησης με άλατα ασβεστίου για τη μείωση των συγκεντρώσεων ιόντων φθορίου σε χαμηλά επίπεδα. τα λύματα λείανσης/CMP απαιτούν κροκίδωση-καθίζηση για την απομάκρυνση αιωρούμενων στερεών. τα λύματα οξέων/αλκάλεων απαιτούν εξουδετέρωση και ρύθμιση. τα λύματα βαρέων μετάλλων απαιτούν προεπεξεργασία αναγωγής/καθίζησης. Μετά από διάφορες προεπεξεργασίες, τα λύματα μπορούν να εισέλθουν στο στάδιο της ηλεκτροχημικής ενισχυμένης επεξεργασίας. Ο Ηλεκτροχημικός Εξοπλισμός EC μπορεί να συλλάβει αποτελεσματικά υπολειμματικά κολλοειδή σωματίδια, ορισμένα ιόντα βαρέων μετάλλων, φωσφορικά άλατα και οργανική ύλη στα λύματα, και διαθέτει ορισμένες δυνατότητες απογαλακτωματοποίησης και αποχρωματισμού, παρέχοντας διασφάλιση υψηλής ποιότητας νερού τροφοδοσίας για τις επακόλουθες μονάδες προηγμένης οξείδωσης και αφαλάτωσης/επαναχρησιμοποίησης.

Στη συνέχεια, στοχεύοντας στους ανθεκτικούς οργανικούς ρύπους στα συνδυασμένα λύματα (όπως υπολειμματικά φωτοαντιστατικά υλικά και διαλύτες), τα λύματα εισέρχονται στο στάδιο της βαθιάς οξείδωσης και αποτοξίνωσης που οδηγείται από τον Εξοπλισμό Ηλεκτροχημικής Οξείδωσης Σειράς CQDHX EO. Η τεχνολογία προηγμένης ηλεκτροχημικής οξείδωσης θα αποδομήσει αποτελεσματικά επίμονες οργανικές ενώσεις που είναι δύσκολο να επεξεργαστούν με συμβατικές μεθόδους, μειώνοντας αποτελεσματικά το TOC (Συνολικός Οργανικός Άνθρακας) και το COD, και εξαλείφοντας τη βιολογική τους τοξικότητα. Αυτό το βήμα είναι κρίσιμο για τη διασφάλιση της σταθερής λειτουργίας των επακόλουθων συστημάτων μεμβρανών, την πρόληψη της οργανικής ρύπανσης και την επίτευξη υψηλών προτύπων ποιότητας νερού. Τέλος, τα απόβλητα μετά τη βαθιά ηλεκτροχημική επεξεργασία εισέρχονται στο σύστημα τεχνολογίας μεμβρανών (π.χ., αντίστροφη όσμωση, ιοντοανταλλαγή) και επαναχρησιμοποίησης.

Μέσω του Εξοπλισμού Ηλεκτροχημικής Οξείδωσης Σειράς CQDHX EO που αναπτύχθηκε ανεξάρτητα από την εταιρεία μας, λειτουργώντας με καθαρό τρόπο που δεν εισάγει νέες ακαθαρσίες και δεν παράγει χημικά λάσπη, το πιο δύσκολο πρόβλημα των τοξικών οργανικών ενώσεων στα λύματα επιλύεται αποτελεσματικά. Αυτό παρέχει βασική διασφάλιση για τη μακροπρόθεσμη σταθερή λειτουργία των συστημάτων μεμβρανών κατάντη και την ασφαλή συμμόρφωση της ποιότητας του τελικού νερού, υποστηρίζοντας ισχυρά την πράσινη κατασκευή και τη βιώσιμη ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών.

Για λύματα με ειδικά χαρακτηριστικά ή μοναδικούς στόχους επεξεργασίας, οι μηχανικοί της εταιρείας μας παρέχουν τεχνική υποστήριξη και λύσεις.

Τεχνικές προδιαγραφές για χωρητικότητα επεξεργασίας λυμάτων 10 τόνων/ημέρα

Προφυλάξεις:

1. Ο εξοπλισμός πρέπει να εγκατασταθεί σε καλά αεριζόμενο, προστατευμένο από τη βροχή, μη αντιεκρηκτικό χώρο.
2. Το τροφοδοτικό του εξοπλισμού χρησιμοποιεί σύστημα τριών φάσεων πέντε καλωδίων και ο εξοπλισμός πρέπει να είναι αξιόπιστα γειωμένος.
3. Μην χτυπάτε τα ηλεκτρόδια με σκληρά αντικείμενα.

Πεδίο Εφαρμογής:

Λύματα που περιέχουν φθόριο από χάραξη και καθαρισμό, λύματα βαρέων μετάλλων από χάραξη και στίλβωση, οργανικά λύματα από φωτολιθογραφία και ανάπτυξη, λύματα οξέων/αλκάλεων από καθαρισμό και ανάπτυξη, λύματα λείανσης (CMP), κ.λπ.

Κύριοι ρύποι στα λύματα ημιαγωγών: οργανικές ενώσεις, ιόντα βαρέων μετάλλων, όξινες και αλκαλικές ουσίες, φθόρια, αιωρούμενα στερεά, κ.λπ.

Κύριοι ρύποι στα λύματα ημιαγωγών: οργανικές ενώσεις, ιόντα βαρέων μετάλλων, όξινες και αλκαλικές ουσίες, φθόρια, αιωρούμενα στερεά, κ.λπ.

Κύριοι ρύποι στα λύματα ημιαγωγών: οργανικές ενώσεις, ιόντα βαρέων μετάλλων, όξινες και αλκαλικές ουσίες, φθόρια, αιωρούμενα στερεά, κ.λπ.

Διαδικασία Επεξεργασίας Λυμάτων Ημιαγωγών

Διαδικασία 1

Συνολικά λύματα ημιαγωγών

↓

Σύστημα Προεπεξεργασίας (Προαιρετικό)

(Βελτιώνει την απόδοση του συστήματος ηλεκτροχημικής οξείδωσης)

↓

Εξοπλισμός Ηλεκτροχημικής Οξείδωσης Σειράς CQDHX EO
(Διάσπαση συμπλόκων για βαρέα μέταλλα, αποδόμηση φωτοαντιστατικών υλικών/οργανικών διαλυτών, απομάκρυνση φθορίου, αποδόμηση COD)

↓

Εκκένωση ή διαχωρισμός με μεμβράνη ακολουθούμενος από επαναχρησιμοποίηση

Διαδικασία 2

Συνολικά λύματα ημιαγωγών

↓

Σύστημα Προεπεξεργασίας (Προαιρετικό)

(Βελτιώνει την απόδοση του συστήματος ηλεκτροχημικής οξείδωσης)

↓

ΗΛΕΚΤΡΟΧΗΜΙΚΟ ΣΥΣΤΗΜΑ EC

(Διάσπαση συμπλόκων για βαρέα μέταλλα, αποδόμηση φωτοαντιστατικών υλικών/οργανικών διαλυτών, απομάκρυνση φθορίου, αποδόμηση COD)

↓

ΕΞΟΠΛΙΣΜΟΣ ΕΠΕΞΕΡΓΑΣΙΑΣ ΜΕ ΗΛΕΚΤΡΟΧΗΜΙΚΗ ΟΞΕΙΔΩΣΗ ΣΕΙΡΑΣ CQDHX EO

(αποδόμηση COD)

↓

Εκκένωση ή διαχωρισμός με μεμβράνη ακολουθούμενος από επαναχρησιμοποίηση

Χωρητικότητα Επεξεργασίας Εξοπλισμού Επεξεργασίας Λυμάτων Ηλεκτροχημικής Οξείδωσης