تجهیزات تصفیه فاضلاب نیمه هادی الکتروشیمیایی. هیچ ماده شیمیایی مورد نیاز نیست، هیچ زباله جامد تولید نمی شود و الکترودها مقیاس یا مسدود نمی شوند.

تجهیزات تصفیه فاضلاب نیمه‌هادی الکتروشیمیایی. بدون نیاز به مواد شیمیایی، بدون تولید پسماند جامد، و الکترودها رسوب نمی‌گیرند یا مسدود نمی‌شوند.

جزئیات سریع

فاضلاب نیمه‌هادی یک پساب بسیار نماینده و چالش‌برانگیز است که توسط صنایع با فناوری بالا مانند تولید مدارهای مجتمع و تراشه تولید می‌شود. این فاضلاب دارای ویژگی‌های آبی پیچیده، تنوع زیاد آلاینده‌ها و استانداردهای تصفیه بسیار سختگیرانه است. این نوع فاضلاب معمولاً از یک منبع واحد نیست، بلکه شامل چندین جریان جداگانه با خواص بسیار متفاوت است: فاضلاب حاوی فلوراید (از فرآیندهای اچینگ و تمیزکاری، با غلظت بسیار بالای یون فلوراید)، فاضلاب اسیدی/قلیایی (با استفاده از مقادیر زیادی اسید نیتریک، اسید هیدروفلوریک، آمونیاک و غیره)، فاضلاب سنگ‌زنی/CMP (حاوی پودر سیلیکون در مقیاس نانو، ذرات ساینده و سورفکتانت‌ها)، فاضلاب آلی (حاوی مقاومت نوری، محلول‌های توسعه‌دهنده، حلال‌های آلی مانند DMSO، IPA و غیره) و فاضلاب حاوی فلزات سنگین (احتمالاً حاوی مس، سرب، قلع و غیره). مشکلات اصلی تصفیه در این است که آلاینده‌ها، در حالی که لزوماً غلظت بسیار بالایی ندارند، بسیار سمی و پیچیده در ترکیب هستند و کیفیت آب به طور مکرر نوسان دارد. علاوه بر این، پساب نهایی باید الزامات غلظت یون و هدایت بسیار پایین را برآورده کند تا به بازیافت با درصد بالا دست یابد یا با محدودیت‌های تخلیه سختگیرانانه‌تر از استانداردهای متعارف مطابقت داشته باشد. فرآیند ترکیبی سنتی "پیش‌تصفیه جداگانه + تصفیه بیولوژیکی + تصفیه غشایی" اغلب هنگام برخورد با حلال‌های آلی بسیار سمی و فلزات سنگین کمپلکس شده با مشکلاتی روبرو می‌شود، از جمله خطرات شکست واحد بیولوژیکی، گرفتگی شدید غشا، هزینه‌های عملیاتی بالا و چالش‌های دفع نهایی جریان‌های کنسانتره.

با پرداختن به چالش‌های اصلی فاضلاب نیمه‌هادی - "ترکیب متنوع و پیچیده، سمیت و مهار قوی، و الزامات خلوص بسیار بالا" - تجهیزات اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO، که توسط شرکت ما (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.) توسعه یافته و تولید می‌شود، نقشی غیرقابل جایگزین در تصفیه فاضلاب آلی مقاوم و فاضلاب فلزات سنگین پیچیده ایفا می‌کند. این تجهیزات از طریق الکتروکاتالیز، رادیکال‌های آزاد بسیار اکسیدکننده تولید می‌کند که می‌توانند به طور موثر ترکیبات آلی ماکرومولکولی پیچیده مانند مقاومت نوری و حلال‌های آلی را تجزیه کرده، ساختارهای حلقوی آنها را شکسته و به معدنی‌سازی مستقیم دست یابند. همزمان، فرآیند الکتروشیمیایی می‌تواند حالت‌های والانس و اشکال یون‌های فلزات سنگین را تغییر داده و شرایط را برای حذف بعدی آنها فراهم کند. مزیت عملیات پاک برجسته آن این است که کل فرآیند اکسیداسیون/کاهش به افزودن هیچ ماده شیمیایی متکی نیست و از ورود یون‌های ناخالصی جدید جلوگیری می‌کند - یک عامل حیاتی برای صنعت نیمه‌هادی که به دنبال آب فوق خالص است. علاوه بر این، مسیر واکنش آن لجن شیمیایی اضافی تولید نمی‌کند و بار و خطرات آلودگی ثانویه مرتبط با دفع زباله‌های خطرناک را به طور قابل توجهی کاهش می‌دهد.

فاضلاب حاوی فلوراید نیاز به پیش‌تصفیه جداگانه از طریق رسوب شیمیایی با نمک‌های کلسیم برای کاهش غلظت یون فلوراید به سطوح پایین دارد؛ فاضلاب سنگ‌زنی/CMP نیاز به انعقاد-رسوب برای حذف جامدات معلق دارد؛ فاضلاب اسیدی/قلیایی نیاز به خنثی‌سازی و تنظیم دارد؛ فاضلاب فلزات سنگین نیاز به پیش‌تصفیه کاهش/رسوب دارد. پس از پیش‌تصفیه‌های مختلف، فاضلاب می‌تواند وارد مرحله تصفیه تقویت شده الکتروشیمیایی شود. تجهیزات الکتروشیمیایی EC می‌تواند ذرات کلوئیدی باقی‌مانده، برخی یون‌های فلزات سنگین، فسفات‌ها و مواد آلی موجود در فاضلاب را به طور موثر جذب کند و دارای قابلیت‌های خاصی در امولسیون‌زدایی و رنگ‌زدایی است و تضمین کیفیت بالای آب ورودی را برای واحدهای اکسیداسیون پیشرفته و نمک‌زدایی/بازیافت بعدی فراهم می‌کند.

به دنبال آن، با هدف قرار دادن آلاینده‌های آلی مقاوم در فاضلاب ترکیبی (مانند مقاومت نوری و حلال‌های باقی‌مانده)، فاضلاب وارد مرحله اکسیداسیون عمیق و سم‌زدایی می‌شود که توسط تجهیزات اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO هدایت می‌شود. فناوری اکسیداسیون پیشرفته الکتروشیمیایی ترکیبات آلی پایدار را که تصفیه آنها با روش‌های متعارف دشوار است، به طور موثر تجزیه می‌کند و TOC (کربن آلی کل) و COD را به طور موثر کاهش داده و سمیت بیولوژیکی آنها را از بین می‌برد. این مرحله برای اطمینان از عملکرد پایدار سیستم‌های غشایی بعدی، جلوگیری از گرفتگی آلی و دستیابی به استانداردهای کیفیت بالای آب بسیار مهم است. در نهایت، پساب پس از تصفیه الکتروشیمیایی عمیق وارد سیستم فناوری غشا (مانند اسمز معکوس، تبادل یونی) و بازیافت می‌شود.

از طریق تجهیزات اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO که به طور مستقل توسط شرکت ما توسعه یافته است، که در حالت پاک با عدم ورود ناخالصی‌های جدید و عدم تولید لجن شیمیایی عمل می‌کند، چالش‌برانگیزترین مسئله ترکیبات آلی سمی در فاضلاب به طور موثر حل می‌شود. این امر تضمین کلیدی برای عملکرد پایدار طولانی مدت سیستم‌های غشایی پایین‌دست و انطباق ایمن کیفیت آب محصول نهایی را فراهم می‌کند و به شدت از تولید سبز و توسعه پایدار صنعت نیمه‌هادی پشتیبانی می‌کند.

برای فاضلاب با ویژگی‌های خاص یا اهداف تصفیه منحصر به فرد، مهندسان شرکت ما پشتیبانی فنی و راه‌حل ارائه می‌دهند.

مشخصات فنی تجهیزات تصفیه فاضلاب نیمه‌هادی الکتروشیمیایی

احتیاط‌ها:

1. تجهیزات باید در محلی با تهویه مناسب، سرپوشیده از باران و غیر ضد انفجار نصب شوند.
2. منبع تغذیه تجهیزات از سیستم سه فاز پنج سیم استفاده می‌کند و تجهیزات باید به طور قابل اعتماد زمین شوند.
3. به الکترودها با اجسام سخت ضربه نزنید.

دامنه کاربرد:

فاضلاب حاوی فلوراید اچینگ و تمیزکاری، فاضلاب فلزات سنگین اچینگ و پولیش، فاضلاب آلی فوتولیتوگرافی و توسعه، فاضلاب اسیدی/قلیایی تمیزکاری و توسعه، فاضلاب سنگ‌زنی (CMP) و غیره.

آلاینده‌های اصلی در فاضلاب نیمه‌هادی: ترکیبات آلی، یون‌های فلزات سنگین، مواد اسیدی و قلیایی، فلورایدها، جامدات معلق و غیره.

آلاینده‌های اصلی در فاضلاب نیمه‌هادی: ترکیبات آلی، یون‌های فلزات سنگین، مواد اسیدی و قلیایی، فلورایدها، جامدات معلق و غیره.

آلاینده‌های اصلی در فاضلاب نیمه‌هادی: ترکیبات آلی، یون‌های فلزات سنگین، مواد اسیدی و قلیایی، فلورایدها، جامدات معلق و غیره.

فرآیند تصفیه فاضلاب نیمه‌هادی

فرآیند 1

فاضلاب جامع نیمه‌هادی

↓

سیستم پیش‌تصفیه (اختیاری)

(کارایی سیستم اکسیداسیون الکتروشیمیایی را بهبود می‌بخشد)

↓

تجهیزات اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO
(شکستن کمپلکس فلزات سنگین، تجزیه مقاومت نوری/حلال‌های آلی، حذف فلوراید، تجزیه COD)

↓

تخلیه یا جداسازی غشایی و سپس بازیافت

فرآیند 2

فاضلاب جامع نیمه‌هادی

↓

سیستم پیش‌تصفیه (اختیاری)

(کارایی سیستم اکسیداسیون الکتروشیمیایی را بهبود می‌بخشد)

↓

سیستم الکتروشیمیایی EC

(شکستن کمپلکس فلزات سنگین، تجزیه مقاومت نوری/حلال‌های آلی، حذف فلوراید، تجزیه COD)

↓

تجهیزات تصفیه اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO

(تجزیه COD)

↓

تخلیه یا جداسازی غشایی و سپس بازیافت

ظرفیت تصفیه تجهیزات تصفیه فاضلاب اکسیداسیون الکتروشیمیایی