تولید کننده تجهیزات صنعتی آب فاضلاب نیمه هادی، کارخانه های تصفیه فاضلاب کوچک

تجهیزات تصفیه پساب الکتروشیمیایی ۱۰ تن در روز برای ساخت ویفر نیمه‌هادی، بسته‌بندی و تست تراشه، تصفیه پساب تأسیسات جانبی

جزئیات سریع

پساب نیمه‌هادی یک پساب بسیار نماینده و چالش‌برانگیز است که توسط صنایع با فناوری بالا مانند تولید مدارهای مجتمع و تراشه تولید می‌شود. این پساب دارای ویژگی‌های آبی پیچیده، تنوع زیاد آلاینده‌ها و استانداردهای تصفیه بسیار سختگیرانه است. این نوع پساب معمولاً از یک منبع واحد نیست بلکه شامل چندین جریان جداگانه با خواص بسیار متفاوت است: پساب حاوی فلوراید (از فرآیندهای اچینگ و تمیزکاری، با غلظت بسیار بالای یون فلوراید)، پساب اسیدی/قلیایی (با استفاده از مقادیر زیادی اسید نیتریک، اسید هیدروفلوریک، آمونیاک و غیره)، پساب سنگ‌زنی/CMP (حاوی پودر سیلیکون در مقیاس نانو، ذرات ساینده و سورفکتانت‌ها)، پساب آلی (حاوی مقاومت نوری، محلول‌های توسعه‌دهنده، حلال‌های آلی مانند DMSO، IPA و غیره) و پساب حاوی فلزات سنگین (که ممکن است حاوی مس، سرب، قلع و غیره باشد). مشکلات اصلی تصفیه در این است که آلاینده‌ها، اگرچه لزوماً در غلظت‌های بسیار بالا نیستند، اما بسیار سمی و پیچیده در ترکیب هستند و کیفیت آب به طور مکرر نوسان دارد. علاوه بر این، پساب نهایی باید الزامات غلظت یون و هدایت بسیار پایین را برآورده کند تا به بازیافت با درصد بالا دست یابد یا با محدودیت‌های تخلیه سختگیرانه‌تر از استانداردهای متعارف مطابقت داشته باشد. فرآیند ترکیبی سنتی "پیش‌تصفیه جداگانه + تصفیه بیولوژیکی + تصفیه غشایی" اغلب هنگام برخورد با حلال‌های آلی بسیار سمی و فلزات سنگین کمپلکس شده با مشکلاتی مواجه می‌شود، از جمله خطرات شکست واحد بیولوژیکی، گرفتگی شدید غشا، هزینه‌های عملیاتی بالا و چالش‌هایی در دفع نهایی جریان‌های کنسانتره.

با پرداختن به چالش‌های اصلی پساب نیمه‌هادی - "ترکیب متنوع و پیچیده، سمیت و مهار قوی، و الزامات خلوص بسیار بالا" - تجهیزات اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO، که توسط شرکت ما (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.) توسعه یافته و تولید می‌شود، نقشی غیرقابل جایگزین در تصفیه پساب آلی مقاوم و پساب فلزات سنگین پیچیده ایفا می‌کند. از طریق الکتروکاتالیز، تجهیزات رادیکال‌های آزاد با قدرت اکسیدکنندگی بالا تولید می‌کند که می‌توانند ترکیبات آلی ماکرومولکولی پیچیده مانند مقاومت نوری و حلال‌های آلی را به طور مؤثر تجزیه کرده، ساختارهای حلقوی آن‌ها را شکسته و به معدنی‌سازی مستقیم دست یابند. همزمان، فرآیند الکتروشیمیایی می‌تواند حالت‌های اکسیداسیون و اشکال یون‌های فلزات سنگین را تغییر داده و شرایط را برای حذف بعدی آن‌ها فراهم کند. مزیت عملیات پاکیزه برجسته آن این است که کل فرآیند اکسیداسیون/کاهش به افزودن هیچ ماده شیمیایی متکی نیست و از ورود یون‌های ناخالصی جدید جلوگیری می‌کند - یک عامل حیاتی برای صنعت نیمه‌هادی که به دنبال آب فوق خالص است. علاوه بر این، مسیر واکنش آن لجن شیمیایی اضافی تولید نمی‌کند و بار و خطرات آلودگی ثانویه مرتبط با دفع زباله‌های خطرناک را به طور قابل توجهی کاهش می‌دهد.

پساب حاوی فلوراید نیاز به پیش‌تصفیه جداگانه از طریق رسوب شیمیایی با نمک‌های کلسیم برای کاهش غلظت یون فلوراید به سطوح پایین دارد؛ پساب سنگ‌زنی/CMP نیاز به انعقاد-رسوب برای حذف جامدات معلق دارد؛ پساب اسیدی/قلیایی نیاز به خنثی‌سازی و تنظیم دارد؛ پساب فلزات سنگین نیاز به پیش‌تصفیه کاهش/رسوب دارد. پس از پیش‌تصفیه‌های مختلف، پساب می‌تواند وارد مرحله تصفیه تقویت شده الکتروشیمیایی شود. تجهیزات الکتروشیمیایی EC می‌تواند ذرات کلوئیدی باقی‌مانده، برخی یون‌های فلزات سنگین، فسفات‌ها و مواد آلی موجود در پساب را به طور مؤثر جذب کند و دارای قابلیت‌های خاصی در امولسیون‌زدایی و رنگ‌زدایی است و تضمین کیفیت بالای آب ورودی را برای واحدهای پیشرفته اکسیداسیون و نمک‌زدایی/بازیافت بعدی فراهم می‌کند.

به دنبال آن، با هدف قرار دادن آلاینده‌های آلی مقاوم در پساب ترکیبی (مانند مقاومت نوری و حلال‌های باقی‌مانده)، پساب وارد مرحله اکسیداسیون عمیق و سم‌زدایی می‌شود که توسط تجهیزات اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO هدایت می‌شود. فناوری پیشرفته اکسیداسیون الکتروشیمیایی ترکیبات آلی پایدار را که با روش‌های متعارف به سختی قابل تصفیه هستند، به طور مؤثر تجزیه می‌کند و TOC (کربن آلی کل) و COD را به طور مؤثر کاهش داده و سمیت بیولوژیکی آن‌ها را از بین می‌برد. این مرحله برای اطمینان از عملکرد پایدار سیستم‌های غشایی بعدی، جلوگیری از گرفتگی آلی و دستیابی به استانداردهای کیفیت بالای آب حیاتی است. در نهایت، پساب پس از تصفیه عمیق الکتروشیمیایی وارد سیستم فناوری غشایی (مانند اسمز معکوس، تبادل یونی) و بازیافت می‌شود.

از طریق تجهیزات اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO که به طور مستقل توسط شرکت ما توسعه یافته است، با عملکردی پاکیزه که ناخالصی‌های جدیدی وارد نمی‌کند و لجن شیمیایی تولید نمی‌کند، چالش‌برانگیزترین مسئله ترکیبات آلی سمی در پساب به طور مؤثر حل می‌شود. این امر تضمین کلیدی برای عملکرد پایدار طولانی مدت سیستم‌های غشایی پایین‌دستی و کیفیت ایمن آب محصول نهایی را فراهم می‌کند و به شدت از تولید سبز و توسعه پایدار صنعت نیمه‌هادی پشتیبانی می‌کند.

برای پساب با ویژگی‌های خاص یا اهداف تصفیه منحصر به فرد، مهندسان شرکت ما پشتیبانی فنی و راه‌حل‌هایی را ارائه می‌دهند.

مشخصات فنی برای ظرفیت تصفیه پساب ۱۰ تن در روز

احتیاط‌ها:

1. تجهیزات باید در محلی با تهویه مناسب، محافظت شده در برابر باران و غیر انفجاری نصب شود.
2. منبع تغذیه تجهیزات از سیستم سه فاز پنج سیم استفاده می‌کند و تجهیزات باید به طور قابل اعتماد زمین شوند.
3. به الکترودها با اشیاء سخت ضربه نزنید.

محدوده کاربرد:

پساب حاوی فلوراید اچینگ و تمیزکاری، پساب فلزات سنگین اچینگ و پولیش، پساب آلی فوتولیتوگرافی و توسعه، پساب اسیدی/قلیایی تمیزکاری و توسعه، پساب سنگ‌زنی (CMP) و غیره.

آلاینده‌های اصلی در پساب نیمه‌هادی: ترکیبات آلی، یون‌های فلزات سنگین، مواد اسیدی و قلیایی، فلورایدها، جامدات معلق و غیره.

آلاینده‌های اصلی در پساب نیمه‌هادی: ترکیبات آلی، یون‌های فلزات سنگین، مواد اسیدی و قلیایی، فلورایدها، جامدات معلق و غیره.

آلاینده‌های اصلی در پساب نیمه‌هادی: ترکیبات آلی، یون‌های فلزات سنگین، مواد اسیدی و قلیایی، فلورایدها، جامدات معلق و غیره.

فرآیند تصفیه پساب نیمه‌هادی

فرآیند ۱

پساب جامع نیمه‌هادی

↓

سیستم پیش‌تصفیه (اختیاری)

(کارایی سیستم اکسیداسیون الکتروشیمیایی را بهبود می‌بخشد)

↓

تجهیزات اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO
(شکستن کمپلکس فلزات سنگین، تجزیه مقاومت نوری/حلال‌های آلی، حذف فلوراید، تجزیه COD)

↓

تخلیه یا جداسازی غشایی و سپس بازیافت

فرآیند ۲

پساب جامع نیمه‌هادی

↓

سیستم پیش‌تصفیه (اختیاری)

(کارایی سیستم اکسیداسیون الکتروشیمیایی را بهبود می‌بخشد)

↓

سیستم الکتروشیمیایی EC

(شکستن کمپلکس فلزات سنگین، تجزیه مقاومت نوری/حلال‌های آلی، حذف فلوراید، تجزیه COD)

↓

تجهیزات تصفیه اکسیداسیون الکتروشیمیایی سری CQDHX EO

(تجزیه COD)

↓

تخلیه یا جداسازی غشایی و سپس بازیافت

ظرفیت تصفیه تجهیزات تصفیه پساب اکسیداسیون الکتروشیمیایی