Thiết bị xử lý nước thải bán dẫn điện hóa học. Không cần hóa chất, không tạo ra chất thải rắn và điện cực không có quy mô hoặc tắc nghẽn.

Thiết bị xử lý nước thải bán dẫn bằng điện hóa. Không cần hóa chất, không phát sinh chất thải rắn, điện cực không bị đóng cặn hay tắc nghẽn.

Chi tiết nhanh

Nước thải bán dẫn là một loại nước thải điển hình và đầy thách thức được tạo ra bởi các ngành công nghiệp công nghệ cao như sản xuất mạch tích hợp và chip. Nó có đặc điểm nước phức tạp, đa dạng các loại chất ô nhiễm và tiêu chuẩn xử lý cực kỳ nghiêm ngặt. Loại nước thải này thường không đến từ một nguồn duy nhất mà bao gồm nhiều dòng riêng biệt có đặc tính khác nhau: nước thải chứa fluoride (từ các quy trình khắc và làm sạch, với nồng độ ion fluoride cực cao), nước thải axit/kiềm (sử dụng lượng lớn axit nitric, axit hydrofluoric, amoniac, v.v.), nước thải mài/CMP (chứa bột silicon nano, hạt mài mòn và chất hoạt động bề mặt), nước thải hữu cơ (chứa chất cản quang, dung dịch phát triển, dung môi hữu cơ như DMSO, IPA, v.v.) và nước thải chứa kim loại nặng (có thể chứa đồng, chì, thiếc, v.v.). Khó khăn xử lý cốt lõi nằm ở: các chất ô nhiễm, mặc dù không nhất thiết có nồng độ cực cao, nhưng có độc tính cao và thành phần phức tạp, với sự biến động chất lượng nước thường xuyên. Hơn nữa, nước thải đầu ra cuối cùng phải đáp ứng yêu cầu nồng độ ion và độ dẫn điện rất thấp để đạt được tỷ lệ tái sử dụng cao hoặc tuân thủ các giới hạn xả thải nghiêm ngặt hơn các tiêu chuẩn thông thường. Quy trình kết hợp truyền thống "tiền xử lý riêng biệt + xử lý sinh học + xử lý màng" thường gặp phải các nút thắt khi xử lý dung môi hữu cơ có độc tính cao và kim loại nặng phức tạp, bao gồm rủi ro hỏng hóc đơn vị sinh học, tắc nghẽn màng nghiêm trọng, chi phí vận hành cao và thách thức trong việc xử lý cuối cùng các dòng cô đặc.

Giải quyết các thách thức cốt lõi của nước thải bán dẫn — "thành phần đa dạng và phức tạp, độc tính và ức chế mạnh, và yêu cầu độ tinh khiết cực cao" — Thiết bị Oxy hóa Điện hóa DÒNG CQDHX EO, được phát triển và sản xuất bởi công ty chúng tôi (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), đóng vai trò không thể thay thế trong việc xử lý nước thải hữu cơ khó phân hủy và nước thải kim loại nặng phức tạp. Thông qua điện xúc tác, thiết bị tạo ra các gốc tự do oxy hóa mạnh có thể phân hủy hiệu quả các hợp chất hữu cơ phân tử lớn phức tạp như chất cản quang và dung môi hữu cơ, phá vỡ cấu trúc vòng của chúng và đạt được quá trình khoáng hóa trực tiếp. Đồng thời, quá trình điện hóa có thể thay đổi trạng thái hóa trị và dạng của các ion kim loại nặng, tạo điều kiện cho việc loại bỏ chúng sau đó. Ưu điểm vận hành sạch vượt trội của nó là: toàn bộ quá trình oxy hóa/khử không dựa vào việc bổ sung bất kỳ hóa chất nào, tránh đưa vào các ion tạp chất mới — một yếu tố quan trọng đối với ngành công nghiệp bán dẫn, vốn theo đuổi nước siêu tinh khiết. Hơn nữa, con đường phản ứng của nó không tạo ra bùn hóa chất bổ sung, làm giảm đáng kể gánh nặng và rủi ro ô nhiễm thứ cấp liên quan đến việc xử lý chất thải nguy hại.

Nước thải chứa fluoride yêu cầu tiền xử lý riêng biệt bằng cách kết tủa hóa học với muối canxi để giảm nồng độ ion fluoride xuống mức thấp; nước thải mài/CMP yêu cầu keo tụ-lắng đọng để loại bỏ chất rắn lơ lửng; nước thải axit/kiềm yêu cầu trung hòa và điều chỉnh; nước thải kim loại nặng yêu cầu tiền xử lý khử/kết tủa. Sau các quy trình tiền xử lý khác nhau, nước thải có thể đi vào giai đoạn xử lý tăng cường điện hóa. Thiết bị Điện hóa EC có thể thu giữ hiệu quả các hạt keo còn sót lại, một số ion kim loại nặng, phosphate và chất hữu cơ trong nước thải, đồng thời có khả năng chống nhũ hóa và khử màu nhất định, cung cấp đảm bảo nước cấp chất lượng cao cho các đơn vị oxy hóa tiên tiến và khử muối/tái sử dụng tiếp theo.

Tiếp theo, nhắm vào các chất ô nhiễm hữu cơ khó phân hủy trong nước thải kết hợp (như chất cản quang và dung môi còn sót lại), nước thải đi vào giai đoạn oxy hóa sâu và khử độc do Thiết bị Oxy hóa Điện hóa DÒNG CQDHX EO dẫn đầu. Công nghệ oxy hóa điện hóa tiên tiến sẽ phân hủy hiệu quả các hợp chất hữu cơ bền vững khó xử lý bằng các phương pháp thông thường, giảm hiệu quả TOC (Tổng lượng Carbon hữu cơ) và COD, đồng thời loại bỏ độc tính sinh học của chúng. Bước này rất quan trọng để đảm bảo hoạt động ổn định của các hệ thống màng tiếp theo, ngăn ngừa ô nhiễm hữu cơ và đạt được các tiêu chuẩn chất lượng nước cao. Cuối cùng, nước thải sau khi xử lý điện hóa sâu đi vào hệ thống công nghệ màng (ví dụ: thẩm thấu ngược, trao đổi ion) và hệ thống tái sử dụng.

Thông qua Thiết bị Oxy hóa Điện hóa DÒNG CQDHX EO do công ty chúng tôi tự phát triển, hoạt động theo chế độ sạch không đưa vào tạp chất mới và không tạo ra bùn hóa chất, vấn đề khó khăn nhất về các hợp chất hữu cơ độc hại trong nước thải được giải quyết hiệu quả. Điều này cung cấp sự đảm bảo quan trọng cho hoạt động ổn định lâu dài của các hệ thống màng hạ nguồn và chất lượng nước sản phẩm cuối cùng tuân thủ an toàn, hỗ trợ mạnh mẽ cho sản xuất xanh và phát triển bền vững của ngành công nghiệp bán dẫn.

Đối với nước thải có đặc điểm đặc biệt hoặc mục tiêu xử lý độc đáo, các kỹ sư của công ty chúng tôi cung cấp hỗ trợ kỹ thuật và giải pháp.

Thông số kỹ thuật của Thiết bị xử lý nước thải bán dẫn bằng điện hóa

Lưu ý:

1. Thiết bị phải được lắp đặt ở khu vực thông thoáng, có mái che mưa, không có chống cháy nổ.
2. Nguồn điện của thiết bị sử dụng hệ thống ba pha năm dây, và thiết bị phải được nối đất đáng tin cậy.
3. Không được va đập điện cực bằng vật cứng.

Phạm vi ứng dụng:

Nước thải chứa fluoride từ quá trình khắc và làm sạch, nước thải kim loại nặng từ quá trình khắc và đánh bóng, nước thải hữu cơ từ quang khắc và phát triển, nước thải axit/kiềm từ quá trình làm sạch và phát triển, nước thải mài (CMP), v.v.

Các chất ô nhiễm chính trong nước thải bán dẫn: hợp chất hữu cơ, ion kim loại nặng, chất axit và kiềm, fluoride, chất rắn lơ lửng, v.v.

Các chất ô nhiễm chính trong nước thải bán dẫn: hợp chất hữu cơ, ion kim loại nặng, chất axit và kiềm, fluoride, chất rắn lơ lửng, v.v.

Các chất ô nhiễm chính trong nước thải bán dẫn: hợp chất hữu cơ, ion kim loại nặng, chất axit và kiềm, fluoride, chất rắn lơ lửng, v.v.

Quy trình xử lý nước thải bán dẫn

Quy trình 1

Nước thải tổng hợp bán dẫn

↓

Hệ thống tiền xử lý (Tùy chọn)

(Cải thiện hiệu quả của hệ thống oxy hóa điện hóa)

↓

Thiết bị Oxy hóa Điện hóa DÒNG CQDHX EO
(Phá vỡ phức chất kim loại nặng, phân hủy chất cản quang/dung môi hữu cơ, loại bỏ fluoride, phân hủy COD)

↓

Xả thải hoặc tách màng sau đó tái sử dụng

Quy trình 2

Nước thải tổng hợp bán dẫn

↓

Hệ thống tiền xử lý (Tùy chọn)

(Cải thiện hiệu quả của hệ thống oxy hóa điện hóa)

↓

HỆ THỐNG ĐIỆN HÓA EC

(Phá vỡ phức chất kim loại nặng, phân hủy chất cản quang/dung môi hữu cơ, loại bỏ fluoride, phân hủy COD)

↓

THIẾT BỊ XỬ LÝ OXY HÓA ĐIỆN HÓA DÒNG CQDHX EO

(phân hủy COD)

↓

Xả thải hoặc tách màng sau đó tái sử dụng

Công suất xử lý của Thiết bị xử lý nước thải oxy hóa điện hóa