Equipamento eletroquímico de tratamento de águas residuais semicondutores. Não são necessários produtos químicos, nenhum resíduo sólido é gerado e os eletrodos não incrustam nem obstruem.

Equipamento de tratamento de águas residuais de semicondutores eletroquímicos. Não são necessários produtos químicos, não são gerados resíduos sólidos e os eletrodos não incrustam nem entopem.

Detalhes Rápidos

As águas residuais de semicondutores são um efluente altamente representativo e desafiador gerado por indústrias de alta tecnologia, como a fabricação de circuitos integrados e chips. Apresenta características de água complexas, uma ampla variedade de poluentes e padrões de tratamento extremamente rigorosos. Este tipo de água residual geralmente não provém de uma única fonte, mas compreende múltiplos fluxos segregados com propriedades muito diferentes: águas residuais contendo flúor (de processos de gravação e limpeza, com concentrações extremamente altas de íons fluoreto), águas residuais ácidas/alcalinas (utilizando grandes quantidades de ácido nítrico, ácido fluorídrico, amônia, etc.), águas residuais de moagem/CMP (contendo pó de silício em nanoescala, partículas abrasivas e surfactantes), águas residuais orgânicas (contendo fotorresiste, soluções reveladoras, solventes orgânicos como DMSO, IPA, etc.) e águas residuais contendo metais pesados (potencialmente contendo cobre, chumbo, estanho, etc.). As principais dificuldades de tratamento residem em: os poluentes, embora não necessariamente em concentrações extremamente altas, são altamente tóxicos e complexos em composição, com flutuações frequentes na qualidade da água. Além disso, o efluente final deve atender a requisitos de concentração iônica e condutividade muito baixos para atingir alta porcentagem de reutilização ou cumprir limites de descarga mais rigorosos do que os padrões convencionais. O processo combinado tradicional de "pré-tratamento segregado + tratamento biológico + tratamento por membrana" frequentemente enfrenta gargalos ao lidar com solventes orgânicos altamente tóxicos e metais pesados complexados, incluindo riscos de falha da unidade biológica, incrustação severa da membrana, altos custos operacionais e desafios no descarte final dos fluxos de concentrado.

Abordando os principais desafios das águas residuais de semicondutores — "composição diversa e complexa, forte toxicidade e inibição, e requisitos de pureza extremamente altos" — o Equipamento de Oxidação Eletroquímica da SÉRIE CQDHX EO, desenvolvido e fabricado por nossa empresa (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), desempenha um papel insubstituível no tratamento de águas residuais orgânicas refratárias e águas residuais complexas de metais pesados. Através da eletrocatálise, o equipamento gera radicais livres altamente oxidantes que podem decompor eficazmente compostos orgânicos macromoleculares complexos como fotorresiste e solventes orgânicos, quebrando suas estruturas cíclicas e alcançando a mineralização direta. Simultaneamente, o processo eletroquímico pode alterar os estados de valência e as formas dos íons de metais pesados, criando condições para sua remoção subsequente. Sua vantagem de operação limpa excepcional é: todo o processo de oxidação/redução não depende da adição de quaisquer agentes químicos, evitando a introdução de novos íons de impureza — um fator crítico para a indústria de semicondutores, que busca água ultrapura. Além disso, sua via de reação não gera lodo químico adicional, reduzindo significativamente o fardo e os riscos de poluição secundária associados ao descarte de resíduos perigosos.

As águas residuais contendo flúor requerem pré-tratamento separado por precipitação química com sais de cálcio para reduzir as concentrações de íons fluoreto a níveis baixos; as águas residuais de moagem/CMP requerem coagulação-sedimentação para remover sólidos suspensos; as águas residuais ácidas/alcalinas requerem neutralização e ajuste; as águas residuais de metais pesados requerem pré-tratamento de redução/precipitação. Após vários pré-tratamentos, as águas residuais podem entrar na fase de tratamento aprimorado eletroquímico. O Equipamento Eletroquímico EC pode capturar eficientemente partículas coloidais residuais, alguns íons de metais pesados, fosfatos e matéria orgânica nas águas residuais, e possui certas capacidades de desmulsificação e descoloração, fornecendo garantia de água de alimentação de alta qualidade para unidades subsequentes de oxidação avançada e dessalinização/reutilização.

Subsequentemente, visando os poluentes orgânicos refratários nas águas residuais combinadas (como fotorresiste residual e solventes), as águas residuais entram na fase de oxidação profunda e desintoxicação liderada pelo Equipamento de Oxidação Eletroquímica da SÉRIE CQDHX EO. A tecnologia eletroquímica de oxidação avançada decomporá eficientemente compostos orgânicos persistentes que são difíceis de tratar por métodos convencionais, reduzindo efetivamente o TOC (Carbono Orgânico Total) e o COD, e eliminando sua toxicidade biológica. Esta etapa é crucial para garantir a operação estável dos sistemas de membrana subsequentes, prevenir a incrustação orgânica e atingir altos padrões de qualidade da água. Finalmente, o efluente após o tratamento eletroquímico profundo entra no sistema de tecnologia de membrana (por exemplo, osmose reversa, troca iônica) e reutilização.

Através do Equipamento de Oxidação Eletroquímica da SÉRIE CQDHX EO desenvolvido independentemente por nossa empresa, operando em um modo limpo que não introduz novas impurezas e não gera lodo químico, a questão mais desafiadora de compostos orgânicos tóxicos nas águas residuais é resolvida eficientemente. Isso fornece garantia chave para a operação estável a longo prazo dos sistemas de membrana downstream e a conformidade segura da qualidade da água do produto final, apoiando fortemente a fabricação verde e o desenvolvimento sustentável da indústria de semicondutores.

Para águas residuais com características especiais ou objetivos de tratamento únicos, os engenheiros de nossa empresa fornecem suporte técnico e soluções.

Especificações Técnicas do Equipamento de Tratamento de Águas Residuais de Semicondutores Eletroquímicos

Precauções:

1. O equipamento deve ser instalado em uma área bem ventilada, protegida da chuva e não à prova de explosão.
2. A fonte de alimentação do equipamento utiliza um sistema trifásico de cinco fios, e o equipamento deve ser aterrado de forma confiável.
3. Não bata nos eletrodos com objetos duros.

Escopo de Aplicação:

Águas residuais contendo flúor de gravação e limpeza, águas residuais de metais pesados de gravação e polimento, águas residuais orgânicas de fotolitografia e revelação, águas residuais ácidas/alcalinas de limpeza e revelação, águas residuais de moagem (CMP), etc.

Principais poluentes em águas residuais de semicondutores: compostos orgânicos, íons de metais pesados, substâncias ácidas e alcalinas, fluoretos, sólidos suspensos, etc.

Principais poluentes em águas residuais de semicondutores: compostos orgânicos, íons de metais pesados, substâncias ácidas e alcalinas, fluoretos, sólidos suspensos, etc.

Principais poluentes em águas residuais de semicondutores: compostos orgânicos, íons de metais pesados, substâncias ácidas e alcalinas, fluoretos, sólidos suspensos, etc.

Processo de Tratamento de Águas Residuais de Semicondutores

Processo 1

Águas residuais abrangentes de semicondutores

↓

Sistema de Pré-tratamento (Opcional)

(Melhora a eficiência do sistema de oxidação eletroquímica)

↓

Equipamento de Oxidação Eletroquímica da SÉRIE CQDHX EO
(Quebra de quelatos para metais pesados, degradação de fotorresiste/solventes orgânicos, remoção de flúor, degradação de COD)

↓

Descarga ou separação por membrana seguida de reutilização

Processo 2

Águas residuais abrangentes de semicondutores

↓

Sistema de Pré-tratamento (Opcional)

(Melhora a eficiência do sistema de oxidação eletroquímica)

↓

SISTEMA ELETROQUÍMICO EC

(Quebra de quelatos para metais pesados, degradação de fotorresiste/solventes orgânicos, remoção de flúor, degradação de COD)

↓

EQUIPAMENTO DE TRATAMENTO DE OXIDAÇÃO ELETROQUÍMICA DA SÉRIE CQDHX EO

(degradação de COD)

↓

Descarga ou separação por membrana seguida de reutilização

Capacidade de Tratamento do Equipamento de Tratamento de Águas Residuais por Oxidação Eletroquímica