Équipement de traitement des eaux usées par semi-conducteurs électrochimiques. Aucun produit chimique n'est nécessaire, aucun déchet solide n'est généré et les électrodes ne s'échelonnent ni ne s'obstruent.

Équipement de traitement des eaux usées semi-conductrices électrochimiques. Aucun produit chimique n'est requis, aucun déchet solide n'est généré, et les électrodes ne s'entartrent ni ne se bouchent.

Détails rapides

Les eaux usées semi-conductrices sont un effluent très représentatif et difficile généré par des industries de haute technologie telles que la fabrication de circuits intégrés et de puces. Elles présentent des caractéristiques d'eau complexes, une grande variété de polluants et des normes de traitement extrêmement strictes. Ce type d'eaux usées ne provient généralement pas d'une seule source, mais comprend plusieurs flux séparés aux propriétés très différentes : eaux usées contenant du fluorure (provenant des processus de gravure et de nettoyage, avec des concentrations extrêmement élevées d'ions fluorure), eaux usées acides/alcalines (utilisant de grandes quantités d'acide nitrique, d'acide fluorhydrique, d'ammoniac, etc.), eaux usées de meulage/CMP (contenant de la poudre de silicium à l'échelle nanométrique, des particules abrasives et des tensioactifs), eaux usées organiques (contenant de la résine photosensible, des solutions de révélateur, des solvants organiques tels que le DMSO, l'IPA, etc.) et eaux usées contenant des métaux lourds (pouvant contenir du cuivre, du plomb, de l'étain, etc.). Les difficultés de traitement principales résident dans : les polluants, bien que pas nécessairement à des concentrations extrêmement élevées, sont très toxiques et complexes dans leur composition, avec des fluctuations fréquentes de la qualité de l'eau. De plus, l'effluent final doit répondre à des exigences de concentration ionique et de conductivité très faibles pour atteindre un réutilisation à haut pourcentage ou se conformer à des limites de rejet plus strictes que les normes conventionnelles. Le processus combiné traditionnel de "prétraitement séparé + traitement biologique + traitement membranaire" se heurte souvent à des goulots d'étranglement lorsqu'il s'agit de solvants organiques très toxiques et de métaux lourds complexés, y compris les risques de défaillance de l'unité biologique, de colmatage sévère des membranes, de coûts opérationnels élevés et de défis dans l'élimination ultime des flux de concentré.

En réponse aux défis majeurs des eaux usées semi-conductrices — "composition diverse et complexe, forte toxicité et inhibition, et exigences de pureté extrêmement élevées" — l'équipement d'oxydation électrochimique de la série CQDHX EO, développé et fabriqué par notre société (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), joue un rôle irremplaçable dans le traitement des eaux usées organiques réfractaires et des eaux usées complexes de métaux lourds. Par électrocatalyse, l'équipement génère des radicaux libres hautement oxydants qui peuvent décomposer efficacement les composés organiques macromoléculaires complexes tels que la résine photosensible et les solvants organiques, en brisant leurs structures cycliques et en réalisant une minéralisation directe. Simultanément, le processus électrochimique peut modifier les états de valence et les formes des ions de métaux lourds, créant ainsi les conditions pour leur élimination ultérieure. Son avantage exceptionnel de fonctionnement propre est le suivant : l'ensemble du processus d'oxydation/réduction ne repose sur l'ajout d'aucun agent chimique, évitant ainsi l'introduction de nouveaux ions impurs — un facteur critique pour l'industrie des semi-conducteurs, qui recherche l'eau ultrapure. De plus, sa voie de réaction ne génère pas de boues chimiques supplémentaires, réduisant considérablement le fardeau et les risques de pollution secondaire associés à l'élimination des déchets dangereux.

Les eaux usées contenant du fluorure nécessitent un prétraitement séparé par précipitation chimique avec des sels de calcium pour réduire les concentrations d'ions fluorure à des niveaux bas ; les eaux usées de meulage/CMP nécessitent une coagulation-sédimentation pour éliminer les solides en suspension ; les eaux usées acides/alcalines nécessitent une neutralisation et un ajustement ; les eaux usées de métaux lourds nécessitent un prétraitement par réduction/précipitation. Après divers prétraitements, les eaux usées peuvent entrer dans la phase de traitement électrochimique amélioré. L'équipement électrochimique EC peut capturer efficacement les particules colloïdales résiduelles, certains ions de métaux lourds, les phosphates et la matière organique dans les eaux usées, et possède des capacités de démulsification et de décoloration, fournissant une assurance d'eau d'alimentation de haute qualité pour les unités d'oxydation avancée et de dessalement/réutilisation ultérieures.

Ensuite, ciblant les polluants organiques réfractaires dans les eaux usées combinées (tels que la résine photosensible résiduelle et les solvants), les eaux usées entrent dans la phase d'oxydation profonde et de détoxification dirigée par l'équipement d'oxydation électrochimique de la série CQDHX EO. La technologie d'oxydation avancée électrochimique décomposera efficacement les composés organiques persistants difficiles à traiter par les méthodes conventionnelles, réduisant efficacement le COT (Carbone Organique Total) et la DCO, et éliminant leur toxicité biologique. Cette étape est cruciale pour assurer le fonctionnement stable des systèmes membranaires ultérieurs, prévenir le colmatage organique et atteindre des normes de qualité d'eau élevées. Enfin, l'effluent après traitement électrochimique profond entre dans le système de technologie membranaire (par exemple, osmose inverse, échange d'ions) et de réutilisation.

Grâce à l'équipement d'oxydation électrochimique de la série CQDHX EO développé indépendamment par notre société, fonctionnant en mode propre qui n'introduit aucune nouvelle impureté et ne génère aucune boue chimique, le problème le plus difficile des composés organiques toxiques dans les eaux usées est résolu efficacement. Cela fournit une assurance clé pour le fonctionnement stable à long terme des systèmes membranaires en aval et la conformité sûre de la qualité de l'eau du produit final, soutenant fortement la fabrication verte et le développement durable de l'industrie des semi-conducteurs.

Pour les eaux usées présentant des caractéristiques spéciales ou des objectifs de traitement uniques, les ingénieurs de notre société fournissent un support technique et des solutions.

Spécifications techniques de l'équipement de traitement des eaux usées semi-conductrices électrochimiques

Précautions :

1. L'équipement doit être installé dans un endroit bien ventilé, à l'abri de la pluie, non antidéflagrant.
2. L'alimentation de l'équipement utilise un système triphasé à cinq fils, et l'équipement doit être mis à la terre de manière fiable.
3. Ne pas frapper les électrodes avec des objets durs.

Champ d'application :

Eaux usées contenant du fluorure d'étage et de nettoyage, eaux usées de métaux lourds d'étage et de polissage, eaux usées organiques de photolithographie et de développement, eaux usées acides/alcalines de nettoyage et de développement, eaux usées de meulage (CMP), etc.

Temps

Temps

Temps

Processus 1

Eaux usées complètes semi-conductrices

↓

Rejet ou séparation membranaire suivie de réutilisation

(Améliore l'efficacité du système d'oxydation électrochimique)

↓

Rejet ou séparation membranaire suivie de réutilisation

(Rupture de chélation des métaux lourds, dégradation de la résine photosensible/solvants organiques, élimination du fluorure, dégradation de la DCO)
↓

Rejet ou séparation membranaire suivie de réutilisation

Capacité de traitement de l'équipement de traitement des eaux usées par oxydation électrochimique

Eaux usées complètes semi-conductrices

↓

Rejet ou séparation membranaire suivie de réutilisation

(Améliore l'efficacité du système d'oxydation électrochimique)

↓

Rejet ou séparation membranaire suivie de réutilisation

(Rupture de chélation des métaux lourds, dégradation de la résine photosensible/solvants organiques, élimination du fluorure, dégradation de la DCO)

↓

Rejet ou séparation membranaire suivie de réutilisation

(dégradation de la DCO)

↓

Rejet ou séparation membranaire suivie de réutilisation

Capacité de traitement de l'équipement de traitement des eaux usées par oxydation électrochimique

Capacité de traitement des eaux usées par unité