Sprzęt przemysłowy półprzewodnikowy, małe zakłady oczyszczania ścieków Producenci

10 t/d EO elektrochemiczne urządzenie do oczyszczania ścieków z produkcji płytek półprzewodnikowych, pakowania i testowania chipów, oczyszczania ścieków z obiektów pomocniczych

Szybkie szczegóły

Ścieki półprzewodnikowe to wysoce reprezentatywny i trudny strumień ścieków generowany przez przemysł zaawansowanych technologii, takich jak produkcja układów scalonych i chipów. Charakteryzują się złożonymi właściwościami wody, szeroką gamą zanieczyszczeń i niezwykle rygorystycznymi normami oczyszczania. Ten rodzaj ścieków zazwyczaj nie pochodzi z jednego źródła, ale składa się z wielu oddzielnych strumieni o znacznie różniących się właściwościach: ścieki zawierające fluor (z procesów trawienia i czyszczenia, o niezwykle wysokich stężeniach jonów fluorkowych), ścieki kwasowo-zasadowe (z użyciem dużych ilości kwasu azotowego, kwasu fluorowodorowego, amoniaku itp.), ścieki z szlifowania/CMP (zawierające proszek krzemowy w skali nano, cząstki ścierne i środki powierzchniowo czynne), ścieki organiczne (zawierające fotorezyst, roztwory wywoływaczy, rozpuszczalniki organiczne takie jak DMSO, IPA itp.) oraz ścieki zawierające metale ciężkie (potencjalnie zawierające miedź, ołów, cynę itp.). Główne trudności w oczyszczaniu polegają na tym, że zanieczyszczenia, choć niekoniecznie w bardzo wysokich stężeniach, są wysoce toksyczne i złożone w składzie, z częstymi wahaniami jakości wody. Ponadto, końcowy strumień ścieków musi spełniać bardzo niskie wymagania dotyczące stężenia jonów i przewodności, aby osiągnąć wysoki procent ponownego wykorzystania lub spełnić limity zrzutu surowsze niż konwencjonalne normy. Tradycyjny połączony proces "segregowanego wstępnego oczyszczania + oczyszczania biologicznego + oczyszczania membranowego" często napotyka na przeszkody w przypadku wysoce toksycznych rozpuszczalników organicznych i skompleksowanych metali ciężkich, w tym ryzyko awarii jednostki biologicznej, silnego zanieczyszczenia membran, wysokich kosztów operacyjnych i wyzwań związanych z ostatecznym usuwaniem strumieni koncentratów.

Rozwiązując kluczowe wyzwania związane ze ściekami półprzewodnikowymi – "zróżnicowany i złożony skład, silna toksyczność i inhibicja, oraz niezwykle wysokie wymagania dotyczące czystości" – Urządzenie do Elektrochemicznego Utleniania Serii CQDHX EO, opracowane i wyprodukowane przez naszą firmę (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), odgrywa niezastąpioną rolę w oczyszczaniu trudnych do usunięcia ścieków organicznych i złożonych ścieków z metalami ciężkimi. Poprzez elektrokatalityczne działanie, urządzenie generuje silnie utleniające wolne rodniki, które mogą skutecznie rozkładać złożone wielkocząsteczkowe związki organiczne, takie jak fotorezyst i rozpuszczalniki organiczne, przełamując ich struktury cykliczne i osiągając bezpośrednią mineralizację. Jednocześnie proces elektrochemiczny może zmieniać stany walencyjne i formy jonów metali ciężkich, tworząc warunki do ich późniejszego usunięcia. Jego wyjątkowa zaleta czystej pracy polega na tym, że cały proces utleniania/redukcji nie wymaga dodawania żadnych środków chemicznych, unikając wprowadzania nowych jonów zanieczyszczeń – co jest kluczowym czynnikiem dla przemysłu półprzewodnikowego, który dąży do wody ultraczystej. Ponadto, jego ścieżka reakcji nie generuje dodatkowych osadów chemicznych, znacznie zmniejszając obciążenie i ryzyko wtórnego zanieczyszczenia związane z usuwaniem odpadów niebezpiecznych.

Ścieki zawierające fluor wymagają oddzielnego wstępnego oczyszczania poprzez wytrącanie chemiczne solami wapnia w celu zmniejszenia stężenia jonów fluorkowych do niskich poziomów; ścieki z szlifowania/CMP wymagają koagulacji-sedymantacji w celu usunięcia zawieszonych ciał stałych; ścieki kwasowo-zasadowe wymagają neutralizacji i regulacji; ścieki z metalami ciężkimi wymagają wstępnego oczyszczania poprzez redukcję/wytrącanie. Po różnych wstępnych oczyszczeniach, ścieki mogą wejść w etap elektrochemicznego wzmocnionego oczyszczania. Elektrochemiczne Urządzenie EC może skutecznie wychwytywać pozostałe cząstki koloidalne, niektóre jony metali ciężkich, fosforany i materię organiczną w ściekach, a także posiada pewne zdolności demulsyfikacji i odbarwiania, zapewniając wysokiej jakości wodę zasilającą dla kolejnych jednostek zaawansowanego utleniania i odsalania/ponownego wykorzystania.

Następnie, w celu usunięcia trudnych do usunięcia zanieczyszczeń organicznych w połączonych ściekach (takich jak pozostałości fotorezystu i rozpuszczalników), ścieki wchodzą w etap głębokiego utleniania i detoksykacji prowadzony przez Urządzenie do Elektrochemicznego Utleniania Serii CQDHX EO. Elektrochemiczna technologia zaawansowanego utleniania skutecznie rozłoży trwałe związki organiczne trudne do usunięcia metodami konwencjonalnymi, skutecznie redukując TOC (całkowity węgiel organiczny) i ChZT, oraz eliminując ich toksyczność biologiczną. Ten etap jest kluczowy dla zapewnienia stabilnej pracy kolejnych systemów membranowych, zapobiegania zanieczyszczeniu organicznemu i osiągnięcia wysokich standardów jakości wody. Na koniec, strumień ścieków po głębokim oczyszczaniu elektrochemicznym trafia do systemu technologii membranowej (np. odwróconej osmozy, wymiany jonowej) i ponownego wykorzystania.

Dzięki niezależnie opracowanemu przez naszą firmę Urządzeniu do Elektrochemicznego Utleniania Serii CQDHX EO, działającemu w czystym trybie, który nie wprowadza nowych zanieczyszczeń i nie generuje osadów chemicznych, skutecznie rozwiązuje się najtrudniejszy problem toksycznych związków organicznych w ściekach. Zapewnia to kluczową gwarancję długoterminowej stabilnej pracy systemów membranowych na dalszym etapie i bezpiecznego zgodności jakości wody produktowej z normami, silnie wspierając zieloną produkcję i zrównoważony rozwój przemysłu półprzewodnikowego.

W przypadku ścieków o specjalnych właściwościach lub unikalnych celach oczyszczania, inżynierowie naszej firmy zapewniają wsparcie techniczne i rozwiązania.

Specyfikacje techniczne dla zdolności oczyszczania ścieków 10 ton/dzień

Środki ostrożności:

1. Urządzenie musi być zainstalowane w dobrze wentylowanym, osłoniętym od deszczu, nie-przeciwwybuchowym miejscu.
2. Zasilanie urządzenia wykorzystuje trójfazowy system pięcioprzewodowy, a urządzenie musi być niezawodnie uziemione.
3. Nie uderzać elektrod twardymi przedmiotami.

Zakres zastosowania:

Ścieki zawierające fluor z trawienia i czyszczenia, ścieki z metalami ciężkimi z trawienia i polerowania, ścieki organiczne z fotolitografii i wywoływania, ścieki kwasowo-zasadowe z czyszczenia i wywoływania, ścieki z szlifowania (CMP) itp.

Główne zanieczyszczenia w ściekach półprzewodnikowych: związki organiczne, jony metali ciężkich, substancje kwasowe i zasadowe, fluorki, zawieszone ciała stałe itp.

Główne zanieczyszczenia w ściekach półprzewodnikowych: związki organiczne, jony metali ciężkich, substancje kwasowe i zasadowe, fluorki, zawieszone ciała stałe itp.

Główne zanieczyszczenia w ściekach półprzewodnikowych: związki organiczne, jony metali ciężkich, substancje kwasowe i zasadowe, fluorki, zawieszone ciała stałe itp.

Proces oczyszczania ścieków półprzewodnikowych

Proces 1

Kompleksowe ścieki półprzewodnikowe

↓

System wstępnego oczyszczania (opcjonalnie)

(Poprawia wydajność systemu elektrochemicznego utleniania)

↓

Urządzenie do Elektrochemicznego Utleniania Serii CQDHX EO
(Rozrywanie chelatów metali ciężkich, degradacja fotorezystu/rozpuszczalników organicznych, usuwanie fluorków, degradacja ChZT)

↓

Zrzut lub separacja membranowa z ponownym wykorzystaniem

Proces 2

Kompleksowe ścieki półprzewodnikowe

↓

System wstępnego oczyszczania (opcjonalnie)

(Poprawia wydajność systemu elektrochemicznego utleniania)

↓

ELEKTROCHEMICZNY SYSTEM EC

(Rozrywanie chelatów metali ciężkich, degradacja fotorezystu/rozpuszczalników organicznych, usuwanie fluorków, degradacja ChZT)

↓

URZĄDZENIE DO ELEKTROCHEMICZNEGO UTLENIANIA SERII CQDHX EO

(degradacja ChZT)

↓

Zrzut lub separacja membranowa z ponownym wykorzystaniem

Zdolność oczyszczania urządzeń do elektrochemicznego utleniania ścieków