Équipement de traitement des eaux usées par semi-conducteurs électrochimiques. Aucun produit chimique n'est nécessaire, aucun déchet solide n'est généré et les électrodes ne s'échelonnent ni ne s'obstruent.

Équipement électrochimique de traitement des eaux usées à semi-conducteurs. Aucun produit chimique n'est requis, aucun déchet solide n'est généré et les électrodes ne s'entartrent pas et ne se bouchent pas.

Détails rapides

Les eaux usées des semi-conducteurs sont un effluent très représentatif et complexe généré par les industries de haute technologie telles que la fabrication de circuits intégrés et de puces. Elle présente des caractéristiques d’eau complexes, une grande variété de polluants et des normes de traitement extrêmement strictes. Ce type d'eaux usées ne provient généralement pas d'une source unique, mais comprend plusieurs flux séparés avec des propriétés très différentes : eaux usées contenant du fluorure (provenant des processus de gravure et de nettoyage, avec des concentrations d'ions fluorure extrêmement élevées), eaux usées acides/alcalies (utilisant de grandes quantités d'acide nitrique, d'acide fluorhydrique, d'ammoniac, etc.), eaux usées de broyage/CMP (contenant de la poudre de silicium à l'échelle nanométrique, des particules abrasives et des tensioactifs), des eaux usées organiques (contenant de la résine photosensible, du révélateur). solutions, solvants organiques comme le DMSO, l'IPA, etc.) et les eaux usées contenant des métaux lourds (contenant potentiellement du cuivre, du plomb, de l'étain, etc.). Les principales difficultés du traitement résident dans le fait que les polluants, même s'ils ne sont pas nécessairement à des concentrations extrêmement élevées, sont hautement toxiques et de composition complexe, avec de fréquentes fluctuations de la qualité de l'eau. De plus, l'effluent final doit répondre à des exigences de concentration en ions et de conductivité très faibles pour obtenir un pourcentage de réutilisation élevé ou respecter des limites de rejet plus strictes que les normes conventionnelles. Le processus combiné traditionnel de « prétraitement séparé + traitement biologique + traitement membranaire » se heurte souvent à des goulots d'étranglement lorsqu'il s'agit de solvants organiques hautement toxiques et de métaux lourds complexes, notamment des risques de défaillance des unités biologiques, d'encrassement grave des membranes, des coûts opérationnels élevés et des défis liés à l'élimination finale des flux de concentrés.

Répondant aux principaux défis des eaux usées de semi-conducteurs – « composition diversifiée et complexe, forte toxicité et inhibition, et exigences de pureté extrêmement élevées » - l'équipement d'oxydation électrochimique EO de la SÉRIE CQDHX, développé et fabriqué par notre société (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), joue un rôle irremplaçable dans le traitement des eaux usées organiques réfractaires et des eaux usées complexes de métaux lourds. Grâce à l'électrocatalyse, l'équipement génère des radicaux libres hautement oxydants qui peuvent décomposer efficacement les composés organiques macromoléculaires complexes comme les photorésists et les solvants organiques, brisant leurs structures cycliques et obtenant une minéralisation directe. Simultanément, le processus électrochimique peut modifier les états de valence et les formes des ions de métaux lourds, créant ainsi les conditions nécessaires à leur élimination ultérieure. Son avantage exceptionnel en matière de propreté est le suivant : l'ensemble du processus d'oxydation/réduction ne repose sur l'ajout d'aucun agent chimique, évitant ainsi l'introduction de nouveaux ions d'impuretés, un facteur critique pour l'industrie des semi-conducteurs, qui recherche de l'eau ultra pure. De plus, son chemin de réaction ne génère pas de boues chimiques supplémentaires, ce qui réduit considérablement la charge et les risques de pollution secondaire associés à l'élimination des déchets dangereux.

Les eaux usées contenant du fluorure nécessitent un prétraitement séparé via une précipitation chimique avec des sels de calcium pour réduire les concentrations d'ions fluorure à de faibles niveaux ; les eaux usées de broyage/CMP nécessitent une coagulation-sédimentation pour éliminer les matières en suspension ; les eaux usées acides/alcalies nécessitent une neutralisation et un ajustement ; les eaux usées de métaux lourds nécessitent un prétraitement par réduction/précipitation. Après divers prétraitements, les eaux usées peuvent entrer dans l’étape de traitement électrochimique amélioré. L'équipement électrochimique EC peut capturer efficacement les particules colloïdales résiduelles, certains ions de métaux lourds, les phosphates et les matières organiques dans les eaux usées, et possède certaines capacités de désémulsification et de décoloration, fournissant une garantie d'eau d'alimentation de haute qualité pour les unités avancées d'oxydation et de dessalement/réutilisation ultérieures.

Par la suite, en ciblant les polluants organiques réfractaires présents dans les eaux usées combinées (tels que la résine photosensible résiduelle et les solvants), les eaux usées entrent dans l'étape d'oxydation en profondeur et de détoxification dirigée par l'équipement d'oxydation électrochimique EO de la SÉRIE CQDHX. La technologie d'oxydation électrochimique avancée décomposera efficacement les composés organiques persistants difficiles à traiter par les méthodes conventionnelles, réduisant ainsi efficacement le COT (carbone organique total) et la DCO et éliminant leur toxicité biologique. Cette étape est cruciale pour garantir le fonctionnement stable des systèmes de membranes ultérieurs, prévenir l’encrassement organique et atteindre des normes élevées de qualité de l’eau. Enfin, l'effluent après traitement électrochimique en profondeur entre dans la technologie membranaire (par exemple, osmose inverse, échange d'ions) et dans le système de réutilisation.

Grâce à l'équipement d'oxydation électrochimique EO de la SÉRIE CQDHX développé indépendamment par notre société, fonctionnant dans un mode propre qui n'introduit aucune nouvelle impureté et ne génère aucune boue chimique, le problème le plus difficile des composés organiques toxiques dans les eaux usées est résolu efficacement. Cela fournit une assurance clé pour le fonctionnement stable à long terme des systèmes à membrane en aval et la conformité sûre de la qualité de l'eau du produit final, soutenant fortement la fabrication verte et le développement durable de l'industrie des semi-conducteurs.

Pour les eaux usées présentant des caractéristiques particulières ou des objectifs de traitement uniques, les ingénieurs de notre entreprise fournissent une assistance technique et des solutions.

Spécifications techniques des équipements de traitement des eaux usées électrochimiques à semi-conducteurs

Précautions:

1. L'équipement doit être installé dans un endroit bien ventilé, abrité de la pluie et non antidéflagrant.
2. L'alimentation électrique de l'équipement utilise un système triphasé à cinq fils et l'équipement doit être mis à la terre de manière fiable.
3. Ne frappez pas les électrodes avec des objets durs.

Champ d'application :

Gravure et nettoyage des eaux usées contenant du fluorure, gravure et polissage des eaux usées de métaux lourds, photolithographie et développement des eaux usées organiques, nettoyage et développement des eaux usées acides/alcalis, broyage des eaux usées (CMP), etc.

Principaux polluants dans les eaux usées des semi-conducteurs : composés organiques, ions de métaux lourds, substances acides et alcalines, fluorures, matières en suspension, etc.

Principaux polluants dans les eaux usées des semi-conducteurs : composés organiques, ions de métaux lourds, substances acides et alcalines, fluorures, matières en suspension, etc.

Principaux polluants dans les eaux usées des semi-conducteurs : composés organiques, ions de métaux lourds, substances acides et alcalines, fluorures, matières en suspension, etc.

Processus de traitement des eaux usées des semi-conducteurs

Processus 1

Eaux usées complètes de semi-conducteurs

↓

Système de prétraitement (en option)

(Améliore l'efficacité du système d'oxydation électrochimique)

↓

Équipement d'oxydation électrochimique EO de la série CQDHX
(Chélation des métaux lourds, dégradation des photorésists/solvants organiques, élimination du fluorure, dégradation de la DCO)

↓

Décharge ou séparation membranaire suivie d'une réutilisation

Processus 2

Eaux usées complètes de semi-conducteurs

↓

Système de prétraitement (en option)

(Améliore l'efficacité du système d'oxydation électrochimique)

↓

SYSTÈME ÉLECTROCHIMIQUE CE

(Chélation des métaux lourds, dégradation des photorésists/solvants organiques, élimination du fluorure, dégradation de la DCO)

↓

ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT D'OXYDATION ÉLECTROCHIMIQUE EO DE LA SÉRIE CQDHX

(dégradation de la DCO)

↓

Décharge ou séparation membranaire suivie d'une réutilisation

Capacité de traitement des équipements de traitement des eaux usées par oxydation électrochimique