Elektrochemische halfgeleiderwaterzuiveringsapparatuur: er zijn geen chemicaliën nodig, er ontstaat geen vast afval en de elektroden schalen of verstoppen zich niet.

Elektrochemische afvalwaterzuiveringsapparatuur voor halfgeleiders. Er zijn geen chemicaliën nodig, er wordt geen vast afval geproduceerd en de elektroden slibben niet aan en raken niet verstopt.

Snelle details

Halfgeleiderafvalwater is een zeer representatief en uitdagend effluent dat wordt gegenereerd door hightech-industrieën zoals de productie van geïntegreerde schakelingen en chips. Het kenmerkt zich door complexe waterkenmerken, een breed scala aan verontreinigende stoffen en extreem strenge zuiveringsnormen. Dit type afvalwater is doorgaans niet afkomstig van één enkele bron, maar bestaat uit meerdere gescheiden stromen met sterk verschillende eigenschappen: met fluoridehoudend afvalwater (uit ets- en reinigingsprocessen, met extreem hoge fluoride-ionconcentraties), zuur/alkali afvalwater (met grote hoeveelheden salpeterzuur, fluorwaterstofzuur, ammoniak, enz.), slijp-/CMP-afvalwater (met nanodeeltjes silicapoeder, schuurdeeltjes en oppervlakteactieve stoffen), organisch afvalwater (met fotoresist, ontwikkelaaroplossingen, organische oplosmiddelen zoals DMSO, IPA, enz.) en met zware metalen houdend afvalwater (mogelijk met koper, lood, tin, enz.). De kernbehandelingsmoeilijkheden liggen in: de verontreinigende stoffen, hoewel niet noodzakelijkerwijs in extreem hoge concentraties, zijn zeer giftig en complex van samenstelling, met frequente schommelingen in de waterkwaliteit. Bovendien moet het uiteindelijke effluent voldoen aan zeer lage ionenconcentratie- en geleidbaarheidsvereisten om een hoge hergebruikspercentage te bereiken of te voldoen aan lozingsnormen die strenger zijn dan conventionele normen. Het traditionele gecombineerde proces van "gescheiden voorbehandeling + biologische behandeling + membraanbehandeling" loopt vaak tegen knelpunten aan bij het omgaan met zeer giftige organische oplosmiddelen en gecomplexeerde zware metalen, waaronder risico's op falen van de biologische eenheid, ernstige membraanvervuiling, hoge operationele kosten en uitdagingen bij de uiteindelijke verwijdering van concentraatstromen.

Om de kernuitdagingen van halfgeleiderafvalwater aan te pakken - "diverse en complexe samenstelling, sterke toxiciteit en remming, en extreem hoge zuiverheidseisen" - speelt de CQDHX SERIES EO Elektrochemische Oxidatieapparatuur, ontwikkeld en geproduceerd door ons bedrijf (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), een onvervangbare rol bij de behandeling van moeilijk afbreekbaar organisch afvalwater en complex zwaar metaalafvalwater. Door middel van elektrokatalyse genereert de apparatuur sterk oxiderende vrije radicalen die complexe macromoleculaire organische verbindingen zoals fotoresist en organische oplosmiddelen effectief kunnen afbreken, hun cyclische structuren doorbreken en directe mineralisatie bereiken. Tegelijkertijd kan het elektrochemische proces de valentietoestanden en vormen van zware metaalionen veranderen, waardoor omstandigheden voor hun verdere verwijdering worden gecreëerd. Het uitstekende schone operationele voordeel is: het gehele oxidatie/reductieproces is niet afhankelijk van de toevoeging van chemische middelen, waardoor de introductie van nieuwe onzuiverheidsionen wordt vermeden - een kritische factor voor de halfgeleiderindustrie, die ultrapuur water nastreeft. Bovendien genereert het reactiepad geen extra chemisch slib, waardoor de last en de risico's van secundaire vervuiling die gepaard gaan met de verwijdering van gevaarlijk afval aanzienlijk worden verminderd.

Met fluoridehoudend afvalwater vereist aparte voorbehandeling via chemische precipitatie met calciumsalzen om de fluoride-ionconcentraties tot lage niveaus te reduceren; slijp-/CMP-afvalwater vereist coagulatie-bezinking om zwevende stoffen te verwijderen; zuur/alkali afvalwater vereist neutralisatie en aanpassing; met zware metalen houdend afvalwater vereist reductie/precipitatie voorbehandeling. Na diverse voorbehandelingen kan het afvalwater de elektrochemische verbeterde behandelingsfase ingaan. De EC Elektrochemische Apparatuur kan resterende colloïdale deeltjes, sommige zware metaalionen, fosfaten en organisch materiaal in het afvalwater efficiënt opvangen, en bezit bepaalde demulgerende en ontkleurende capaciteiten, wat zorgt voor een hoogwaardige toevoer van water voor volgende geavanceerde oxidatie- en ontziltings-/hergebruikseenheden.

Vervolgens, gericht op de moeilijk afbreekbare organische verontreinigende stoffen in het gecombineerde afvalwater (zoals resterende fotoresist en oplosmiddelen), gaat het afvalwater de diepe oxidatie- en ontgiftingsfase in, geleid door de CQDHX SERIES EO Elektrochemische Oxidatieapparatuur. Elektrochemische geavanceerde oxidatietechnologie zal persistente organische verbindingen die moeilijk te behandelen zijn met conventionele methoden efficiënt afbreken, waardoor TOC (Total Organic Carbon) en COD effectief worden verminderd en hun biologische toxiciteit wordt geëlimineerd. Deze stap is cruciaal voor het waarborgen van de stabiele werking van volgende membraansystemen, het voorkomen van organische vervuiling en het bereiken van hoge waterkwaliteitsnormen. Ten slotte gaat het effluent na diepe elektrochemische behandeling de membraantechnologie (bijv. omgekeerde osmose, ionenwisseling) en het hergebruikssysteem in.

Via de CQDHX SERIES EO Elektrochemische Oxidatieapparatuur, onafhankelijk ontwikkeld door ons bedrijf, die werkt in een schone modus die geen nieuwe onzuiverheden introduceert en geen chemisch slib produceert, wordt het meest uitdagende probleem van giftige organische verbindingen in het afvalwater efficiënt opgelost. Dit biedt een belangrijke garantie voor de langdurige stabiele werking van downstream membraansystemen en de veilige naleving van de kwaliteit van het uiteindelijke productwater, en ondersteunt krachtig de groene productie en duurzame ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie.

Voor afvalwater met speciale kenmerken of unieke behandelingsdoelstellingen bieden de ingenieurs van ons bedrijf technische ondersteuning en oplossingen.

Technische specificaties van elektrochemische afvalwaterzuiveringsapparatuur voor halfgeleiders

Voorzorgsmaatregelen:

1. De apparatuur moet worden geïnstalleerd in een goed geventileerde, regenbestendige, niet-explosieve ruimte.
2. De voeding van de apparatuur maakt gebruik van een driefasensysteem met vijf draden en de apparatuur moet betrouwbaar geaard zijn.
3. Sla niet met harde voorwerpen op de elektroden.

Toepassingsgebied:

Met fluoridehoudend afvalwater uit etsen en reinigen, met zware metalen houdend afvalwater uit etsen en polijsten, organisch afvalwater uit fotolithografie en ontwikkelen, zuur/alkali afvalwater uit reinigen en ontwikkelen, slijpafvalwater (CMP), enz.

Belangrijkste verontreinigende stoffen in halfgeleiderafvalwater: organische verbindingen, zware metaalionen, zure en alkalische stoffen, fluoriden, zwevende stoffen, enz.

Belangrijkste verontreinigende stoffen in halfgeleiderafvalwater: organische verbindingen, zware metaalionen, zure en alkalische stoffen, fluoriden, zwevende stoffen, enz.

Belangrijkste verontreinigende stoffen in halfgeleiderafvalwater: organische verbindingen, zware metaalionen, zure en alkalische stoffen, fluoriden, zwevende stoffen, enz.

Proces voor de zuivering van halfgeleiderafvalwater

Proces 1

Gecombineerd halfgeleiderafvalwater

↓

Voorbehandelingssysteem (optioneel)

(Verbetert de efficiëntie van het elektrochemische oxidatiesysteem)

↓

CQDHX SERIES EO Elektrochemische Oxidatieapparatuur
(Chelatie-afbraak voor zware metalen, afbraak van fotoresist/organische oplosmiddelen, fluorideverwijdering, afbraak van COD)

↓

Afvoer of membraanscheiding gevolgd door hergebruik

Proces 2

Gecombineerd halfgeleiderafvalwater

↓

Voorbehandelingssysteem (optioneel)

(Verbetert de efficiëntie van het elektrochemische oxidatiesysteem)

↓

EC ELEKTROCHEMISCH SYSTEEM

(Chelatie-afbraak voor zware metalen, afbraak van fotoresist/organische oplosmiddelen, fluorideverwijdering, afbraak van COD)

↓

CQDHX SERIES EO ELEKTROCHEMISCHE OXIDATIEBEHANDELINGSAPPARATUUR

(afbraak van COD)

↓

Afvoer of membraanscheiding gevolgd door hergebruik

Behandelingscapaciteit van elektrochemische oxidatie afvalwaterzuiveringsapparatuur