Thiết bị xử lý nước thải bán dẫn điện hóa học. Không cần hóa chất, không tạo ra chất thải rắn và điện cực không có quy mô hoặc tắc nghẽn.

Thiết bị xử lý nước thải bán dẫn điện hóa. Không cần sử dụng hóa chất, không tạo ra chất thải rắn và các điện cực không bị đóng cặn hoặc tắc nghẽn.

Chi tiết nhanh

Nước thải bán dẫn là loại nước thải mang tính đại diện cao và đầy thách thức được tạo ra bởi các ngành công nghệ cao như sản xuất mạch tích hợp và chip. Nó có đặc điểm nước phức tạp, nhiều loại chất gây ô nhiễm và tiêu chuẩn xử lý cực kỳ nghiêm ngặt. Loại nước thải này thường không phải từ một nguồn duy nhất mà bao gồm nhiều dòng riêng biệt với các đặc tính rất khác nhau: nước thải có chứa florua (từ quá trình ăn mòn và làm sạch, với nồng độ ion florua cực cao), nước thải axit/kiềm (sử dụng lượng lớn axit nitric, axit hydrofluoric, amoniac, v.v.), nước thải nghiền/CMP (chứa bột silicon cỡ nano, hạt mài mòn và chất hoạt động bề mặt), nước thải hữu cơ (chứa chất quang dẫn, dung dịch phát triển, dung môi hữu cơ như DMSO, IPA, v.v.) và chứa kim loại nặng nước thải (có khả năng chứa đồng, chì, thiếc...). Những khó khăn cốt lõi trong việc xử lý nằm ở chỗ: các chất ô nhiễm, tuy không nhất thiết ở nồng độ cực cao, nhưng có độc tính cao và thành phần phức tạp, chất lượng nước thường xuyên biến động. Hơn nữa, nước thải cuối cùng phải đáp ứng các yêu cầu về nồng độ ion và độ dẫn điện rất thấp để đạt được tỷ lệ tái sử dụng cao hoặc tuân thủ các giới hạn xả thải nghiêm ngặt hơn các tiêu chuẩn thông thường. Quy trình kết hợp truyền thống "xử lý tiền xử lý tách biệt + xử lý sinh học + xử lý màng" thường gặp phải những trở ngại khi xử lý các dung môi hữu cơ có độc tính cao và các kim loại nặng phức tạp, bao gồm rủi ro hỏng hóc thiết bị sinh học, tắc nghẽn màng nghiêm trọng, chi phí vận hành cao và thách thức trong việc xử lý cuối cùng các dòng cô đặc.

Giải quyết những thách thức cốt lõi của nước thải bán dẫn—"thành phần đa dạng và phức tạp, độc tính và ức chế mạnh cũng như yêu cầu độ tinh khiết cực cao"—Thiết bị oxy hóa điện hóa CQDHX SERIES EO do công ty chúng tôi (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.) phát triển và sản xuất, đóng một vai trò không thể thay thế trong việc xử lý nước thải hữu cơ chịu lửa và nước thải kim loại nặng phức tạp. Thông qua quá trình xúc tác điện, thiết bị tạo ra các gốc tự do có tính oxy hóa cao, có thể phân hủy hiệu quả các hợp chất hữu cơ cao phân tử phức tạp như chất quang dẫn và dung môi hữu cơ, phá vỡ cấu trúc tuần hoàn của chúng và đạt được quá trình khoáng hóa trực tiếp. Đồng thời, quá trình điện hóa có thể làm thay đổi trạng thái hóa trị và dạng ion kim loại nặng, tạo điều kiện cho việc loại bỏ chúng sau này. Ưu điểm vận hành sạch vượt trội của nó là: toàn bộ quá trình oxy hóa/khử không phụ thuộc vào việc bổ sung bất kỳ tác nhân hóa học nào, tránh tạo ra các ion tạp chất mới—một yếu tố quan trọng đối với ngành công nghiệp bán dẫn theo đuổi nước siêu tinh khiết. Hơn nữa, quá trình phản ứng của nó không tạo ra thêm bùn hóa học, giúp giảm đáng kể gánh nặng và rủi ro ô nhiễm thứ cấp liên quan đến việc xử lý chất thải nguy hại.

Nước thải chứa florua cần được xử lý sơ bộ riêng biệt thông qua kết tủa hóa học bằng muối canxi để giảm nồng độ ion florua xuống mức thấp; nước thải nghiền/CMP yêu cầu đông tụ-lắng để loại bỏ chất rắn lơ lửng; nước thải axit/kiềm cần trung hòa, điều chỉnh; nước thải kim loại nặng đòi hỏi tiền xử lý giảm/kết tủa. Sau nhiều quá trình tiền xử lý khác nhau, nước thải có thể bước vào giai đoạn xử lý tăng cường điện hóa. Thiết bị điện hóa EC có thể thu giữ hiệu quả các hạt keo còn sót lại, một số ion kim loại nặng, phốt phát và chất hữu cơ trong nước thải, đồng thời sở hữu khả năng khử nhũ tương và khử màu nhất định, đảm bảo nước cấp chất lượng cao cho các thiết bị oxy hóa và khử muối/tái sử dụng nâng cao tiếp theo.

Sau đó, nhắm mục tiêu vào các chất ô nhiễm hữu cơ khó chịu trong nước thải kết hợp (chẳng hạn như chất quang dẫn còn sót lại và dung môi), nước thải bước vào giai đoạn oxy hóa và khử độc sâu do Thiết bị oxy hóa điện hóa CQDHX SERIES EO dẫn đầu. Công nghệ oxy hóa điện hóa tiên tiến sẽ phân hủy hiệu quả các hợp chất hữu cơ khó phân hủy khó xử lý bằng phương pháp thông thường, giảm TOC (Tổng Carbon hữu cơ) và COD một cách hiệu quả, loại bỏ độc tính sinh học của chúng. Bước này rất quan trọng để đảm bảo hoạt động ổn định của các hệ thống màng tiếp theo, ngăn ngừa ô nhiễm hữu cơ và đạt được tiêu chuẩn chất lượng nước cao. Cuối cùng, nước thải sau khi xử lý điện hóa sâu sẽ đi vào công nghệ màng (ví dụ thẩm thấu ngược, trao đổi ion) và hệ thống tái sử dụng.

Thông qua Thiết bị oxy hóa điện hóa CQDHX SERIES EO do công ty chúng tôi phát triển độc lập, hoạt động ở chế độ sạch, không tạo ra tạp chất mới và không tạo ra bùn hóa học, vấn đề thách thức nhất về hợp chất hữu cơ độc hại trong nước thải đã được giải quyết một cách hiệu quả. Điều này mang lại sự đảm bảo quan trọng cho hoạt động ổn định lâu dài của các hệ thống màng hạ nguồn và sự tuân thủ an toàn về chất lượng nước của sản phẩm cuối cùng, hỗ trợ mạnh mẽ cho quá trình sản xuất xanh và phát triển bền vững của ngành công nghiệp bán dẫn.

Đối với nước thải có đặc tính đặc biệt hoặc mục tiêu xử lý riêng, các kỹ sư của công ty chúng tôi sẽ cung cấp giải pháp và hỗ trợ kỹ thuật.

Thông số kỹ thuật của thiết bị xử lý nước thải bán dẫn điện hóa

Các biện pháp phòng ngừa:

1. Thiết bị phải được lắp đặt ở nơi thông thoáng, có mái che mưa, không cháy nổ.
2. Nguồn điện của thiết bị sử dụng hệ thống ba pha năm dây và thiết bị phải được nối đất chắc chắn.
3. Không dùng vật cứng đập vào điện cực.

Phạm vi ứng dụng:

Khắc và làm sạch nước thải có chứa florua, khắc và đánh bóng nước thải kim loại nặng, quang khắc và phát triển nước thải hữu cơ, làm sạch và phát triển nước thải axit/kiềm, nước thải nghiền (CMP), v.v.

Các chất ô nhiễm chính trong nước thải bán dẫn: hợp chất hữu cơ, ion kim loại nặng, chất axit và kiềm, florua, chất rắn lơ lửng, v.v.

Các chất ô nhiễm chính trong nước thải bán dẫn: hợp chất hữu cơ, ion kim loại nặng, chất axit và kiềm, florua, chất rắn lơ lửng, v.v.

Các chất ô nhiễm chính trong nước thải bán dẫn: hợp chất hữu cơ, ion kim loại nặng, chất axit và kiềm, florua, chất rắn lơ lửng, v.v.

Quy trình xử lý nước thải bán dẫn

Quy trình 1

Nước thải tổng hợp bán dẫn

↓

Hệ thống tiền xử lý (Tùy chọn)

(Nâng cao hiệu quả của hệ thống oxy hóa điện hóa)

↓

CQDHX SERIES EO Thiết bị oxy hóa điện hóa
(Phá chelate đối với kim loại nặng, phân hủy chất quang dẫn/dung môi hữu cơ, loại bỏ florua, phân hủy COD)

↓

Xả hoặc tách màng sau đó tái sử dụng

Quy trình 2

Nước thải tổng hợp bán dẫn

↓

Hệ thống tiền xử lý (Tùy chọn)

(Nâng cao hiệu quả của hệ thống oxy hóa điện hóa)

↓

HỆ THỐNG ĐIỆN HÓA EC

(Phá chelate đối với kim loại nặng, phân hủy chất quang dẫn/dung môi hữu cơ, loại bỏ florua, phân hủy COD)

↓

THIẾT BỊ XỬ LÝ Oxy hóa điện hóa EO dòng CQDHX

(sự phân hủy COD)

↓

Xả hoặc tách màng sau đó tái sử dụng

Công suất xử lý của thiết bị xử lý nước thải oxy hóa điện hóa