Elektrochemische halfgeleiderwaterzuiveringsapparatuur: er zijn geen chemicaliën nodig, er ontstaat geen vast afval en de elektroden schalen of verstoppen zich niet.

Elektrochemische halfgeleiderapparatuur voor de behandeling van afvalwater. Er zijn geen chemicaliën nodig, er wordt geen vast afval gegenereerd en de elektroden verkalken niet en verstoppen niet.

Snelle details

Halfgeleiderafvalwater is een zeer representatief en uitdagend effluent dat wordt gegenereerd door hightechindustrieën zoals de productie van geïntegreerde schakelingen en chips. Het beschikt over complexe waterkarakteristieken, een grote verscheidenheid aan verontreinigende stoffen en extreem strenge behandelingsnormen. Dit type afvalwater is doorgaans niet afkomstig uit één enkele bron, maar bestaat uit meerdere gescheiden stromen met enorm verschillende eigenschappen: fluoridehoudend afvalwater (van ets- en reinigingsprocessen, met extreem hoge concentraties fluoride-ionen), zuur/alkali-afvalwater (waarbij grote hoeveelheden salpeterzuur, fluorwaterstofzuur, ammoniak enz. worden gebruikt), vermaling-/CMP-afvalwater (dat siliciumpoeder op nanoschaal, schurende deeltjes en oppervlakteactieve stoffen bevat), organisch afvalwater (dat fotoresist, ontwikkelaaroplossingen, organische oplosmiddelen zoals DMSO, IPA, enz.) en afvalwater dat zware metalen bevat (dat mogelijk koper, lood, tin enz. bevat). De belangrijkste problemen bij de behandeling liggen in het volgende: verontreinigende stoffen zijn, ook al zijn ze niet noodzakelijkerwijs in extreem hoge concentraties, zeer giftig en complex van samenstelling, met frequente schommelingen in de waterkwaliteit. Bovendien moet het uiteindelijke effluent voldoen aan zeer lage ionenconcentratie- en geleidbaarheidseisen om een ​​hoog percentage hergebruik te bereiken of aan lozingslimieten voldoen die strenger zijn dan conventionele normen. Het traditionele gecombineerde proces van "gescheiden voorbehandeling + biologische behandeling + membraanbehandeling" wordt vaak geconfronteerd met knelpunten bij het omgaan met zeer giftige organische oplosmiddelen en complexe zware metalen, waaronder het risico van falen van biologische eenheden, ernstige membraanvervuiling, hoge operationele kosten en uitdagingen bij de uiteindelijke verwijdering van concentraatstromen.

Door de kernuitdagingen van halfgeleiderafvalwater aan te pakken - "diverse en complexe samenstelling, sterke toxiciteit en remming, en extreem hoge zuiverheidseisen" - speelt de CQDHX SERIES EO elektrochemische oxidatieapparatuur, ontwikkeld en vervaardigd door ons bedrijf (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), een onvervangbare rol bij de behandeling van vuurvast organisch afvalwater en complex afvalwater van zware metalen. Door middel van elektrokatalyse genereert de apparatuur sterk oxiderende vrije radicalen die complexe macromoleculaire organische verbindingen zoals fotoresist en organische oplosmiddelen effectief kunnen afbreken, waardoor hun cyclische structuren worden verbroken en directe mineralisatie wordt bereikt. Tegelijkertijd kan het elektrochemische proces de valentietoestanden en vormen van zware metaalionen veranderen, waardoor omstandigheden worden geschapen voor de daaropvolgende verwijdering ervan. Het opmerkelijke voordeel van een schone werking is dat het hele oxidatie-/reductieproces niet afhankelijk is van de toevoeging van chemische middelen, waardoor de introductie van nieuwe onzuiverheidionen wordt vermeden – een kritische factor voor de halfgeleiderindustrie, die ultrapuur water nastreeft. Bovendien genereert het reactietraject geen extra chemisch slib, waardoor de last en de secundaire vervuilingsrisico's die gepaard gaan met de verwijdering van gevaarlijk afval aanzienlijk worden verminderd.

Fluoridehoudend afvalwater vereist een afzonderlijke voorbehandeling via chemische precipitatie met calciumzouten om de fluoride-ionconcentraties tot een laag niveau te verlagen; het vermalen/CMP-afvalwater vereist coagulatie-sedimentatie om zwevende deeltjes te verwijderen; zuur/alkali afvalwater vereist neutralisatie en aanpassing; Afvalwater van zware metalen vereist voorbehandeling met reductie/neerslag. Na verschillende voorbehandelingen kan het afvalwater de elektrochemisch verbeterde behandelingsfase ingaan. De EC-elektrochemische apparatuur kan op efficiënte wijze resterende colloïdale deeltjes, sommige zware metaalionen, fosfaten en organisch materiaal in het afvalwater opvangen, en beschikt over bepaalde demulgatie- en ontkleuringsmogelijkheden, waardoor hoogwaardige voedingswatergarantie wordt geboden voor daaropvolgende geavanceerde oxidatie- en ontziltings-/hergebruikeenheden.

Vervolgens wordt het afvalwater, gericht op de vuurvaste organische verontreinigende stoffen in het gecombineerde afvalwater (zoals resterende fotoresist en oplosmiddelen), in de diepe oxidatie- en ontgiftingsfase geleid door de CQDHX SERIES EO elektrochemische oxidatieapparatuur. Elektrochemische geavanceerde oxidatietechnologie zal persistente organische verbindingen die moeilijk te behandelen zijn met conventionele methoden efficiënt afbreken, waardoor TOC (Total Organic Carbon) en CZV effectief worden verminderd en hun biologische toxiciteit wordt geëlimineerd. Deze stap is cruciaal voor het garanderen van de stabiele werking van daaropvolgende membraansystemen, het voorkomen van organische vervuiling en het bereiken van hoge waterkwaliteitsnormen. Ten slotte komt het effluent na een diepe elektrochemische behandeling in de membraantechnologie (bijvoorbeeld omgekeerde osmose, ionenuitwisseling) en hergebruiksysteem terecht.

Via de CQDHX SERIES EO elektrochemische oxidatieapparatuur, onafhankelijk ontwikkeld door ons bedrijf, die werkt in een schone modus die geen nieuwe onzuiverheden introduceert en geen chemisch slib genereert, wordt het meest uitdagende probleem van giftige organische verbindingen in het afvalwater efficiënt opgelost. Dit biedt belangrijke garanties voor de stabiele werking op lange termijn van stroomafwaartse membraansystemen en de veilige naleving van de waterkwaliteit van het eindproduct, waardoor de groene productie en duurzame ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie sterk worden ondersteund.

Voor afvalwater met bijzondere kenmerken of unieke zuiveringsdoelstellingen bieden de ingenieurs van ons bedrijf technische ondersteuning en oplossingen.

Technische specificaties van elektrochemische halfgeleiderafvalwaterzuiveringsapparatuur

Voorzorgsmaatregelen:

1. De apparatuur moet worden geïnstalleerd in een goed geventileerde, tegen regen beschutte en niet-explosieveilige ruimte.
2. De stroomvoorziening van de apparatuur maakt gebruik van een driefasig vijfdraadssysteem en de apparatuur moet op betrouwbare wijze worden geaard.
3. Sla niet met harde voorwerpen op de elektroden.

Toepassingsgebied:

Etsen en reinigen van fluoridehoudend afvalwater, etsen en polijsten van afvalwater van zware metalen, fotolithografie en ontwikkelen van organisch afvalwater, reinigen en ontwikkelen van zuur/alkali afvalwater, vermalen (CMP) afvalwater, etc.

Belangrijkste verontreinigende stoffen in halfgeleiderafvalwater: organische verbindingen, zware metaalionen, zure en alkalische stoffen, fluoriden, zwevende stoffen, enz.

Belangrijkste verontreinigende stoffen in halfgeleiderafvalwater: organische verbindingen, zware metaalionen, zure en alkalische stoffen, fluoriden, zwevende stoffen, enz.

Belangrijkste verontreinigende stoffen in halfgeleiderafvalwater: organische verbindingen, zware metaalionen, zure en alkalische stoffen, fluoriden, zwevende stoffen, enz.

Halfgeleider afvalwaterzuiveringsproces

Proces 1

Halfgeleider uitgebreid afvalwater

↓

Voorbehandelingssysteem (optioneel)

(Verbetert de efficiëntie van het elektrochemische oxidatiesysteem)

↓

CQDHX-SERIE EO Elektrochemische oxidatieapparatuur
(Chelaatbrekend voor zware metalen, afbraak van fotoresist/organische oplosmiddelen, verwijdering van fluoride, afbraak van CZV)

↓

Lozing of membraanscheiding gevolgd door hergebruik

Proces 2

Halfgeleider uitgebreid afvalwater

↓

Voorbehandelingssysteem (optioneel)

(Verbetert de efficiëntie van het elektrochemische oxidatiesysteem)

↓

EG-ELEKTROCHEMISCHE SYSTEEM

(Chelaatbrekend voor zware metalen, afbraak van fotoresist/organische oplosmiddelen, verwijdering van fluoride, afbraak van CZV)

↓

CQDHX-SERIE EO ELEKTROCHEMISCHE OXIDATIEBEHANDELINGSAPPARATUUR

(afbraak van CZV)

↓

Lozing of membraanscheiding gevolgd door hergebruik

Behandelingscapaciteit van elektrochemische oxidatie-afvalwaterzuiveringsapparatuur