Industriële afvalwaterapparatuur voor halfgeleiders, kleine afvalwaterzuiveringsinstallaties Fabrikanten

10 t/d EO elektrochemische afvalwaterzuiveringsapparatuur voor de vervaardiging van halfgeleiderwafels, chipverpakking en -onderzoek, hulpfaciliteiten voor afvalwaterzuivering

Snelle details

Het afvalwater van halfgeleiders is een zeer representatief en uitdagend afvalwater dat wordt gegenereerd door hightech-industrieën zoals de productie van geïntegreerde schakelingen en chips.Het heeft complexe waterkenmerken., een grote verscheidenheid aan verontreinigende stoffen en zeer strenge behandelingsnormen.Dit soort afvalwater komt meestal niet uit één enkele bron, maar bestaat uit meerdere gescheiden stromen met zeer verschillende eigenschappen.: fluoridehoudend afvalwater (uit etsen en reinigen, met extreem hoge fluoride-ionconcentraties), zuur/alkali afvalwater (met grote hoeveelheden stikstofzuur, fluorwaterzuur,ammoniak, enz.), slijp/CMP afvalwater (met nano-schaal siliciumpoeder, slijpdeeltjes en oppervlakteactieve stoffen), organisch afvalwater (met fotoresist, ontwikkelaarsoplossingen,organische oplosmiddelen zoals DMSODe belangrijkste problemen bij de behandeling liggen in: verontreinigende stoffen,Hoewel niet noodzakelijkerwijs in extreem hoge concentraties, zijn zeer giftig en complex van samenstelling, met frequente schommelingen van de waterkwaliteit.het eindafvoer moet voldoen aan de vereisten inzake zeer lage ionenconcentratie en geleidbaarheid om een hoog percentage hergebruik te bereiken of aan strengere lozingslimieten dan conventionele normen.. The traditional combined process of "segregated pretreatment + biological treatment + membrane treatment" often faces bottlenecks when dealing with highly toxic organic solvents and complexed heavy metals, met inbegrip van risico's van storing van de biologische eenheid, ernstige vervuiling van de membranen, hoge operationele kosten en uitdagingen bij de uiteindelijke verwijdering van concentratestrooms.

Het aanpakken van de belangrijkste uitdagingen van halfgeleiderafvalwater"verscheiden en complexe samenstelling, sterke toxiciteit en remming,De CQDHX-serie EO elektrochemische oxidatieapparatuur, ontwikkeld en geproduceerd door ons bedrijf (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), speelt een onvervangbare rol bij de behandeling van vuurvaste organische afvalwateren en complexe zware metalen afvalwateren.Door middel van elektrocatalyseDe apparatuur genereert sterk oxiderende vrije radicalen die complexe macromoleculaire organische verbindingen zoals fotoresistenten en organische oplosmiddelen effectief kunnen ontbinden.Het is de bedoeling dat de gewassen in het water direct gemineraliseerd worden en de cyclische structuren worden verbroken.Tegelijkertijd kan het elektrochemische proces de valentiestoestanden en de vormen van zware metalen ionen veranderen, waardoor voorwaarden worden gevormd voor hun latere verwijdering.Het uitstekende voordeel van de schone werking is: het gehele oxidatie-/reductieproces is niet afhankelijk van de toevoeging van chemische middelen, waardoor de introductie van nieuwe onzuiverheids-ionen wordt vermeden, een cruciale factor voor de halfgeleiderindustrie,die het zuivere water volgt.Bovendien genereert de reactieweg geen extra chemische slib, waardoor de belasting en de risico's op secundaire verontreiniging bij de verwijdering van gevaarlijk afval aanzienlijk worden verminderd.

Fluoridehoudend afvalwater vereist een afzonderlijke voorbehandeling door chemische neerslag met calciumzouten om de fluoride-ionconcentraties tot lage niveaus te verlagen;slijp/CMP afvalwater vereist stollings-sedimentatie om vaste stoffen in suspensie te verwijderenHet zuur/alkali afvalwater moet worden geneutraliseerd en aangepast; het afvalwater van zware metalen moet worden gereduceerd/verregen.het afvalwater kan de fase van elektrochemische verbeterde behandeling ingaanDe EC-electrochemische apparatuur kan colloïdale deeltjes, sommige zware metalen ionen, fosfaten en organische stoffen in het afvalwater efficiënt opvangen.en heeft bepaalde vermogen tot demulfisering en decolorisatie, waardoor hoogwaardig voedingswater wordt gewaarborgd voor latere geavanceerde oxidatie- en ontzaltings-/hergebruikseenheden.

Vervolgens worden de vuurvaste organische verontreinigende stoffen in het gecombineerde afvalwater (zoals restfotoresistenten en oplosmiddelen) aangepakt.het afvalwater gaat de diepe oxidatie- en ontgiftingsfase in onder leiding van de CQDHX SERIES EO elektrochemische oxidatieapparatuurElektrochemische geavanceerde oxidatietechnologie zal persistente organische verbindingen die moeilijk met conventionele methoden te behandelen zijn, efficiënt ontbinden.effectief verminderen van TOC (Total Organic Carbon) en CODDeze stap is van cruciaal belang om de stabiele werking van de volgende membraansystemen te waarborgen, het voorkomen van organische verontreiniging, het voorkomen van verontreiniging van de huid en het voorkomen van verontreiniging van de huid.en het bereiken van hoge waterkwaliteitsnormenTen slotte komt het afvalwater na een diepe elektrochemische behandeling in de membraantechnologie (bijv. omgekeerde osmose, ionenwisseling) en het hergebruikingssysteem.

Door de CQDHX SERIES EO elektrochemische oxidatieapparatuur, onafhankelijk ontwikkeld door ons bedrijf, die werkt in een schone modus die geen nieuwe onzuiverheden introduceert en geen chemische slib genereert,het meest uitdagende probleem van giftige organische verbindingen in het afvalwater wordt efficiënt opgelostDit biedt een belangrijke garantie voor de lange termijn stabiele werking van de stroomafwaarts lopende membraansystemen en de veilige naleving van de kwaliteit van het eindproduct.krachtige steun voor groene productie en duurzame ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie.

Voor afvalwater met bijzondere kenmerken of unieke doelstellingen voor de behandeling bieden onze ingenieurs technische ondersteuning en oplossingen.

Technische specificaties voor een capaciteit van 10 ton/dag voor de behandeling van afvalwater

Voorzorgsmaatregelen:

1. De apparatuur moet worden geïnstalleerd in een goed geventileerde, regenbeschermde en niet-explosiebestendige ruimte.
2. De stroomvoorziening van de apparatuur maakt gebruik van een driefasig vijfdraadsysteem en de apparatuur moet betrouwbaar geaard zijn.
3. Sla de elektroden niet met harde voorwerpen.

Toepassingsgebied

Etsen en reinigen van fluoridehoudend afvalwater, etsen en poetsen van zwaarmetalen afvalwater, fotolithografie en het ontwikkelen van organisch afvalwater, reinigen en ontwikkelen van zuur/alkali afvalwater,afvalwater van slijpen (CMP), enz.

Belangrijkste verontreinigende stoffen in afvalwater van halfgeleiders: organische verbindingen, zware metaalionen, zure en alkalische stoffen, fluoriden, ophangende vaste stoffen, enz.

Belangrijkste verontreinigende stoffen in afvalwater van halfgeleiders: organische verbindingen, zware metaalionen, zure en alkalische stoffen, fluoriden, ophangende vaste stoffen, enz.

Belangrijkste verontreinigende stoffen in afvalwater van halfgeleiders: organische verbindingen, zware metaalionen, zure en alkalische stoffen, fluoriden, ophangende vaste stoffen, enz.

Proces van zuivering van afvalwater met halfgeleiders

Proces 1

Afvalwater van halfgeleiders

↓

Voorbehandelingssysteem (facultatief)

(Verbetert de efficiëntie van het elektrochemische oxidatiesysteem)

↓

CQDHX SERIE EO Elektrochemische oxidatieapparatuur
(Chelaatbreken voor zware metalen, afbraak van fotoresistenten/organische oplosmiddelen, fluoride verwijdering, afbraak van COD)

↓

Afvoer of membraneseparatie gevolgd door hergebruik

Proces 2

Afvalwater van halfgeleiders

↓

Voorbehandelingssysteem (facultatief)

(Verbetert de efficiëntie van het elektrochemische oxidatiesysteem)

↓

EG-ELECTROKEMISCH SYSTEM

(Chelaatbreken voor zware metalen, afbraak van fotoresistenten/organische oplosmiddelen, fluoride verwijdering, afbraak van COD)

↓

CQDHX SERIE EO ELECTROKEMISCH OXIDATIE-BEREIDING

(afbraak van COD)

↓

Afvoer of membraneseparatie gevolgd door hergebruik

Behandelingskapaciteit van apparatuur voor de behandeling van afvalwater door elektrochemische oxidatie