Non sono richiesti prodotti chimici, non si generano rifiuti solidi e gli elettrodi non si riducono o si intasano.

Apparecchiature per il trattamento delle acque reflue a semiconduttori elettrochimici. Non sono necessarie sostanze chimiche, non vengono generati rifiuti solidi e gli elettrodi non si incrostano né si intasano.

Dettagli rapidi

Le acque reflue dei semiconduttori sono un effluente altamente rappresentativo e impegnativo generato da industrie ad alta tecnologia come la produzione di circuiti integrati e chip. Presenta caratteristiche dell'acqua complesse, un'ampia varietà di inquinanti e standard di trattamento estremamente rigorosi. Questo tipo di acque reflue in genere non provengono da un'unica fonte ma comprendono più flussi separati con proprietà molto diverse: acque reflue contenenti fluoro (da processi di incisione e pulizia, con concentrazioni estremamente elevate di ioni fluoruro), acque reflue acide/alcaline (che utilizzano grandi quantità di acido nitrico, acido fluoridrico, ammoniaca, ecc.), acque reflue di macinazione/CMP (contenenti polvere di silicio su scala nanometrica, particelle abrasive e tensioattivi), acque reflue organiche (contenenti fotoresist, soluzioni di sviluppo, solventi organici come DMSO, IPA, ecc.) e acque reflue contenenti metalli pesanti (potenzialmente contenenti rame, piombo, stagno, ecc.). Le principali difficoltà del trattamento risiedono nel fatto che gli inquinanti, sebbene non necessariamente in concentrazioni estremamente elevate, sono altamente tossici e di composizione complessa, con frequenti fluttuazioni della qualità dell'acqua. Inoltre, l'effluente finale deve soddisfare requisiti di concentrazione di ioni e conduttività molto bassi per ottenere un riutilizzo ad alta percentuale o rispettare limiti di scarico più severi rispetto agli standard convenzionali. Il tradizionale processo combinato di "pretrattamento separato + trattamento biologico + trattamento a membrana" spesso incontra colli di bottiglia quando si tratta di solventi organici altamente tossici e metalli pesanti complessati, inclusi rischi di guasto di unità biologiche, grave incrostazione della membrana, elevati costi operativi e sfide nello smaltimento finale dei flussi concentrati.

Affrontando le sfide principali delle acque reflue dei semiconduttori - "composizione diversificata e complessa, forte tossicità e inibizione e requisiti di purezza estremamente elevati" - l'apparecchiatura di ossidazione elettrochimica CQDHX SERIES EO, sviluppata e prodotta dalla nostra azienda (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), svolge un ruolo insostituibile nel trattamento delle acque reflue organiche refrattarie e delle acque reflue complesse di metalli pesanti. Attraverso l'elettrocatalisi, l'apparecchiatura genera radicali liberi altamente ossidanti che possono decomporre efficacemente composti organici macromolecolari complessi come fotoresist e solventi organici, rompendo le loro strutture cicliche e ottenendo una mineralizzazione diretta. Contemporaneamente, il processo elettrochimico può alterare gli stati di valenza e le forme degli ioni dei metalli pesanti, creando le condizioni per la loro successiva rimozione. Il suo eccezionale vantaggio in termini di funzionamento pulito è che l'intero processo di ossidazione/riduzione non si basa sull'aggiunta di agenti chimici, evitando l'introduzione di nuovi ioni impurità, un fattore critico per l'industria dei semiconduttori, che ricerca acqua ultrapura. Inoltre, il suo percorso di reazione non genera ulteriori fanghi chimici, riducendo significativamente il carico e i rischi di inquinamento secondario associati allo smaltimento dei rifiuti pericolosi.

Le acque reflue contenenti fluoruro richiedono un pretrattamento separato tramite precipitazione chimica con sali di calcio per ridurre le concentrazioni di ioni fluoruro a livelli bassi; le acque reflue di macinazione/CMP richiedono la coagulazione-sedimentazione per rimuovere i solidi sospesi; le acque reflue acide/alcaline richiedono neutralizzazione e regolazione; le acque reflue contenenti metalli pesanti richiedono un pretrattamento di riduzione/precipitazione. Dopo vari pretrattamenti, le acque reflue possono entrare nella fase di trattamento potenziato elettrochimico. L'apparecchiatura elettrochimica EC è in grado di catturare in modo efficiente le particelle colloidali residue, alcuni ioni di metalli pesanti, fosfati e materia organica nelle acque reflue e possiede determinate capacità di demulsificazione e decolorazione, fornendo garanzia di alta qualità dell'acqua di alimentazione per le successive unità di ossidazione avanzata e dissalazione/riutilizzo.

Successivamente, prendendo di mira gli inquinanti organici refrattari nelle acque reflue combinate (come fotoresist residuo e solventi), le acque reflue entrano nella fase di ossidazione profonda e disintossicazione guidata dall'apparecchiatura di ossidazione elettrochimica CQDHX SERIES EO. La tecnologia di ossidazione avanzata elettrochimica decomporrà in modo efficiente i composti organici persistenti che sono difficili da trattare con i metodi convenzionali, riducendo efficacemente il TOC (carbonio organico totale) e il COD ed eliminando la loro tossicità biologica. Questo passaggio è fondamentale per garantire il funzionamento stabile dei successivi sistemi a membrana, prevenire le incrostazioni organiche e raggiungere elevati standard di qualità dell’acqua. Infine, l'effluente dopo il trattamento elettrochimico profondo entra nella tecnologia a membrana (ad esempio, osmosi inversa, scambio ionico) e nel sistema di riutilizzo.

Attraverso l'apparecchiatura di ossidazione elettrochimica CQDHX SERIES EO sviluppata in modo indipendente dalla nostra azienda, che funziona in una modalità pulita che non introduce nuove impurità e non genera fanghi chimici, il problema più impegnativo dei composti organici tossici nelle acque reflue viene risolto in modo efficiente. Ciò fornisce una garanzia fondamentale per il funzionamento stabile a lungo termine dei sistemi a membrana a valle e la conformità sicura della qualità dell’acqua del prodotto finale, sostenendo fortemente la produzione ecologica e lo sviluppo sostenibile dell’industria dei semiconduttori.

Per le acque reflue con caratteristiche speciali o obiettivi di trattamento unici, gli ingegneri della nostra azienda forniscono supporto tecnico e soluzioni.

Specifiche tecniche delle apparecchiature per il trattamento delle acque reflue a semiconduttori elettrochimici

Precauzioni:

1. L'apparecchiatura deve essere installata in un'area ben ventilata, riparata dalla pioggia e non a prova di esplosione.
2. L'alimentazione dell'apparecchiatura utilizza un sistema trifase a cinque fili e l'apparecchiatura deve essere collegata a terra in modo affidabile.
3. Non colpire gli elettrodi con oggetti duri.

Ambito di applicazione:

Incisione e pulizia delle acque reflue contenenti fluoro, incisione e lucidatura delle acque reflue di metalli pesanti, fotolitografia e sviluppo delle acque reflue organiche, pulizia e sviluppo delle acque reflue acide/alcaline, macinazione delle acque reflue (CMP), ecc.

Principali inquinanti presenti nelle acque reflue dei semiconduttori: composti organici, ioni di metalli pesanti, sostanze acide e alcaline, fluoruri, solidi sospesi, ecc.

Principali inquinanti presenti nelle acque reflue dei semiconduttori: composti organici, ioni di metalli pesanti, sostanze acide e alcaline, fluoruri, solidi sospesi, ecc.

Principali inquinanti presenti nelle acque reflue dei semiconduttori: composti organici, ioni di metalli pesanti, sostanze acide e alcaline, fluoruri, solidi sospesi, ecc.

Processo di trattamento delle acque reflue dei semiconduttori

Processo 1

Acque reflue complete di semiconduttori

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Sistema di pretrattamento (opzionale)

(Migliora l’efficienza del sistema di ossidazione elettrochimica)

↓

Apparecchiatura per ossidazione elettrochimica SERIE CQDHX EO
(Rottura chelati per metalli pesanti, degradazione di fotoresist/solventi organici, rimozione del fluoro, degradazione del COD)

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Scarico o separazione tramite membrana seguita dal riutilizzo

Processo 2

Acque reflue complete di semiconduttori

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Sistema di pretrattamento (opzionale)

(Migliora l’efficienza del sistema di ossidazione elettrochimica)

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SISTEMA ELETTROCHIMICO CE

(Rottura chelati per metalli pesanti, degradazione di fotoresist/solventi organici, rimozione del fluoro, degradazione del COD)

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APPARECCHIATURE PER IL TRATTAMENTO DI OSSIDAZIONE ELETTROCHIMICA SERIE CQDHX EO

(degradazione del COD)

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Scarico o separazione tramite membrana seguita dal riutilizzo

Capacità di trattamento delle apparecchiature per il trattamento delle acque reflue con ossidazione elettrochimica