Elektrochemiczne półprzewodnikowe urządzenia do oczyszczania ścieków. Nie są wymagane żadne substancje chemiczne, nie wytwarzane są odpady stałe, a elektrody nie skalowują się ani nie zatykają.

Elektrochemiczne, półprzewodnikowe urządzenia do oczyszczania ścieków. Nie są wymagane żadne środki chemiczne, nie powstają żadne odpady stałe, a elektrody nie osadzają się ani nie zatykają.

Szybkie szczegóły

Ścieki półprzewodnikowe to wysoce reprezentatywny i wymagający ściek wytwarzany przez gałęzie przemysłu zaawansowanych technologii, takie jak produkcja układów scalonych i chipów. Charakteryzuje się złożoną charakterystyką wody, szeroką gamą substancji zanieczyszczających i niezwykle rygorystycznymi standardami oczyszczania. Tego typu ścieki zazwyczaj nie pochodzą z jednego źródła, ale obejmują wiele oddzielnych strumieni o bardzo różnych właściwościach: ścieki zawierające fluor (z procesów trawienia i czyszczenia, przy wyjątkowo wysokim stężeniu jonów fluorkowych), ścieki kwaśne/alkaliczne (przy użyciu dużych ilości kwasu azotowego, kwasu fluorowodorowego, amoniaku itp.), ścieki z rozdrabniania/CMP (zawierające proszek krzemu w skali nano, cząstki ścierne i środki powierzchniowo czynne), ścieki organiczne (zawierające fotomaskę, wywoływacz roztwory, rozpuszczalniki organiczne, takie jak DMSO, IPA itp.) oraz ścieki zawierające metale ciężkie (potencjalnie zawierające miedź, ołów, cynę itp.). Podstawowe trudności w oczyszczaniu polegają na tym, że zanieczyszczenia, choć niekoniecznie w bardzo wysokich stężeniach, są wysoce toksyczne i mają złożony skład, a także częste wahania jakości wody. Ponadto końcowe ścieki muszą spełniać wymagania dotyczące bardzo niskiego stężenia jonów i przewodności, aby osiągnąć wysoki procent ponownego wykorzystania lub spełniać bardziej rygorystyczne limity odprowadzania niż konwencjonalne normy. Tradycyjny łączony proces „oddzielnej obróbki wstępnej + obróbki biologicznej + obróbki membranowej” często napotyka wąskie gardła w przypadku wysoce toksycznych rozpuszczalników organicznych i złożonych metali ciężkich, w tym ryzyko awarii jednostki biologicznej, poważnego zanieczyszczenia membrany, wysokie koszty operacyjne i wyzwania związane z ostateczną utylizacją strumieni koncentratów.

Odpowiadając na podstawowe wyzwania związane ze ściekami półprzewodnikowymi – „różnorodny i złożony skład, silna toksyczność i hamowanie oraz wyjątkowo wysokie wymagania dotyczące czystości” – urządzenia do elektrochemicznego utleniania EO CQDHX SERIES, opracowane i wyprodukowane przez naszą firmę (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), odgrywają niezastąpioną rolę w oczyszczaniu ogniotrwałych ścieków organicznych i złożonych ścieków zawierających metale ciężkie. Poprzez elektrokatalizę sprzęt generuje silnie utleniające wolne rodniki, które mogą skutecznie rozkładać złożone wielkocząsteczkowe związki organiczne, takie jak fotorezyst i rozpuszczalniki organiczne, rozbijając ich cykliczne struktury i osiągając bezpośrednią mineralizację. Jednocześnie proces elektrochemiczny może zmieniać stany wartościowości i formy jonów metali ciężkich, tworząc warunki do ich późniejszego usunięcia. Jego wyjątkową zaletą w zakresie czystej pracy jest to, że cały proces utleniania/redukcji nie opiera się na dodawaniu jakichkolwiek środków chemicznych, co pozwala uniknąć wprowadzenia nowych jonów zanieczyszczeń – czynnik krytyczny dla przemysłu półprzewodników, który poszukuje ultraczystej wody. Co więcej, jego droga reakcji nie generuje dodatkowego osadu chemicznego, co znacznie zmniejsza obciążenie i ryzyko wtórnych zanieczyszczeń związanych z usuwaniem odpadów niebezpiecznych.

Ścieki zawierające fluor wymagają oddzielnego oczyszczania wstępnego poprzez chemiczne wytrącanie solami wapnia w celu zmniejszenia stężenia jonów fluorkowych do niskiego poziomu; ścieki mielone/CMP wymagają koagulacji-sedymentacji w celu usunięcia zawieszonych cząstek stałych; ścieki kwaśne/alkaliczne wymagają neutralizacji i regulacji; Ścieki zawierające metale ciężkie wymagają wstępnej obróbki redukcyjnej/strącającej. Po różnych procesach wstępnego oczyszczania ścieki mogą przejść do etapu oczyszczania elektrochemicznego. Sprzęt elektrochemiczny EC może skutecznie wychwytywać resztkowe cząstki koloidalne, niektóre jony metali ciężkich, fosforany i materię organiczną w ściekach i posiada pewne możliwości demulgacji i odbarwiania, zapewniając wysoką jakość wody zasilającej dla późniejszych zaawansowanych jednostek utleniania i odsalania/ponownego wykorzystania.

Następnie, celując w ogniotrwałe zanieczyszczenia organiczne w połączonych ściekach (takie jak pozostałości fotomaski i rozpuszczalniki), ścieki wchodzą w etap głębokiego utleniania i detoksykacji prowadzony przez urządzenia do elektrochemicznego utleniania EO CQDHX SERIES. Zaawansowana technologia elektrochemicznego utleniania skutecznie rozkłada trwałe związki organiczne, które są trudne do obróbki konwencjonalnymi metodami, skutecznie redukując TOC (całkowity węgiel organiczny) i ChZT oraz eliminując ich toksyczność biologiczną. Ten krok jest kluczowy dla zapewnienia stabilnej pracy kolejnych układów membranowych, zapobiegania zanieczyszczeniom organicznym i osiągnięcia wysokich standardów jakości wody. Ostatecznie ścieki po głębokiej obróbce elektrochemicznej trafiają do technologii membranowej (np. odwróconej osmozy, wymiany jonowej) i systemu ponownego wykorzystania.

Dzięki niezależnie opracowanemu przez naszą firmę urządzeniu do elektrochemicznego utleniania EO z serii CQDHX, działającemu w trybie czystym, który nie wprowadza nowych zanieczyszczeń i nie wytwarza osadu chemicznego, skutecznie rozwiązuje się najbardziej wymagający problem toksycznych związków organicznych w ściekach. Zapewnia to kluczową gwarancję długoterminowej, stabilnej pracy dalszych systemów membranowych i bezpiecznej zgodności z jakością wody w produkcie końcowym, silnie wspierając ekologiczną produkcję i zrównoważony rozwój przemysłu półprzewodników.

W przypadku ścieków o specjalnych właściwościach lub unikalnych celach oczyszczania inżynierowie naszej firmy zapewniają wsparcie techniczne i rozwiązania.

Specyfikacje techniczne elektrochemicznych półprzewodnikowych urządzeń do oczyszczania ścieków

Środki ostrożności:

1. Urządzenie należy zainstalować w dobrze wentylowanym, osłoniętym od deszczu i niezabezpieczonym przed wybuchem pomieszczeniu.
2. Zasilanie urządzenia wykorzystuje trójfazowy system pięcioprzewodowy, a sprzęt musi być niezawodnie uziemiony.
3. Nie uderzaj elektrod twardymi przedmiotami.

Zakres zastosowania:

Trawienie i czyszczenie ścieków zawierających fluor, trawienie i polerowanie ścieków zawierających metale ciężkie, fotolitografia i wywoływanie ścieków organicznych, czyszczenie i wywoływanie ścieków kwasowych/alkalicznych, mielenie (CMP) ścieków itp.

Główne zanieczyszczenia w ściekach półprzewodnikowych: związki organiczne, jony metali ciężkich, substancje kwaśne i zasadowe, fluorki, zawiesiny itp.

Główne zanieczyszczenia w ściekach półprzewodnikowych: związki organiczne, jony metali ciężkich, substancje kwaśne i zasadowe, fluorki, zawiesiny itp.

Główne zanieczyszczenia w ściekach półprzewodnikowych: związki organiczne, jony metali ciężkich, substancje kwaśne i zasadowe, fluorki, zawiesiny itp.

Proces oczyszczania ścieków półprzewodnikowych

Proces 1

Kompleksowe ścieki półprzewodnikowe

↓

System obróbki wstępnej (opcjonalnie)

(Poprawia wydajność układu utleniania elektrochemicznego)

↓

SERIA CQDHX EO Sprzęt do elektrochemicznego utleniania
(Rozbijanie chelatów metali ciężkich, degradacja fotorezystu/rozpuszczalników organicznych, usuwanie fluorków, degradacja ChZT)

↓

Rozładowanie lub separacja membranowa, a następnie ponowne użycie

Proces 2

Kompleksowe ścieki półprzewodnikowe

↓

System obróbki wstępnej (opcjonalnie)

(Poprawia wydajność układu utleniania elektrochemicznego)

↓

SYSTEM ELEKTROCHEMICZNY WE

(Rozbijanie chelatów metali ciężkich, degradacja fotorezystu/rozpuszczalników organicznych, usuwanie fluorków, degradacja ChZT)

↓

URZĄDZENIA DO ELEKTROCHEMICZNEJ OBRÓBKI UTLENIAJĄCEJ SERII CQDHX EO

(degradacja ChZT)

↓

Rozładowanie lub separacja membranowa, a następnie ponowne użycie

Wydajność oczyszczania urządzeń do oczyszczania ścieków z utlenianiem elektrochemicznym