Peralatan pengolahan air limbah semikonduktor elektrokimia. Tidak diperlukan bahan kimia, tidak ada limbah padat yang dihasilkan, dan elektroda tidak berskala atau tersumbat.

Peralatan pengolahan air limbah semikonduktor elektrokimia. Tidak diperlukan bahan kimia, tidak ada limbah padat yang dihasilkan, dan elektroda tidak berskala atau tersumbat.

Detail Cepat

Air limbah semikonduktor merupakan limbah yang sangat representatif dan menantang yang dihasilkan oleh industri teknologi tinggi seperti manufaktur sirkuit terpadu dan chip. Ini memiliki karakteristik air yang kompleks, beragam polutan, dan standar pengolahan yang sangat ketat. Jenis air limbah ini biasanya tidak berasal dari satu sumber tetapi terdiri dari beberapa aliran terpisah dengan sifat yang sangat berbeda: air limbah yang mengandung fluorida (dari proses etsa dan pembersihan, dengan konsentrasi ion fluorida yang sangat tinggi), air limbah asam/alkali (menggunakan sejumlah besar asam nitrat, asam fluorida, amonia, dll.), air limbah penggilingan/CMP (mengandung bubuk silikon skala nano, partikel abrasif, dan surfaktan), air limbah organik (mengandung photoresist, larutan pengembang, pelarut organik seperti DMSO, IPA, dll.), dan air limbah yang mengandung logam berat (berpotensi mengandung tembaga, timbal, timah, dll.). Inti kesulitan pengolahannya terletak pada: polutan, meskipun konsentrasinya tidak terlalu tinggi, namun sangat beracun dan komposisinya rumit, serta sering terjadi fluktuasi kualitas air. Selain itu, limbah akhir harus memenuhi persyaratan konsentrasi ion dan konduktivitas yang sangat rendah untuk mencapai persentase penggunaan kembali yang tinggi atau mematuhi batas pembuangan yang lebih ketat dibandingkan standar konvensional. Proses gabungan tradisional dari "perlakuan awal terpisah + pengolahan biologis + pengolahan membran" sering kali menghadapi hambatan ketika berhadapan dengan pelarut organik yang sangat beracun dan logam berat kompleks, termasuk risiko kegagalan unit biologis, pengotoran membran yang parah, biaya operasional yang tinggi, dan tantangan dalam pembuangan akhir aliran konsentrat.

Mengatasi tantangan inti air limbah semikonduktor—"komposisi yang beragam dan kompleks, toksisitas dan penghambatan yang kuat, serta persyaratan kemurnian yang sangat tinggi"—Peralatan Oksidasi Elektrokimia EO CQDHX SERIES, yang dikembangkan dan diproduksi oleh perusahaan kami (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), memainkan peran yang tak tergantikan dalam mengolah air limbah organik tahan api dan air limbah logam berat yang kompleks. Melalui elektrokatalisis, peralatan ini menghasilkan radikal bebas pengoksidasi tinggi yang secara efektif dapat menguraikan senyawa organik makromolekul kompleks seperti photoresist dan pelarut organik, memutus struktur sikliknya dan mencapai mineralisasi langsung. Secara bersamaan, proses elektrokimia dapat mengubah keadaan valensi dan bentuk ion logam berat, sehingga menciptakan kondisi untuk penghilangan selanjutnya. Keunggulan operasi bersihnya yang luar biasa adalah: seluruh proses oksidasi/reduksi tidak bergantung pada penambahan bahan kimia apa pun, sehingga menghindari masuknya ion pengotor baru—faktor penting bagi industri semikonduktor, yang mengutamakan air ultra murni. Selain itu, jalur reaksinya tidak menghasilkan lumpur kimia tambahan, sehingga secara signifikan mengurangi beban dan risiko polusi sekunder yang terkait dengan pembuangan limbah berbahaya.

Air limbah yang mengandung fluorida memerlukan perlakuan awal terpisah melalui pengendapan kimia dengan garam kalsium untuk mengurangi konsentrasi ion fluorida ke tingkat yang rendah; penggilingan/air limbah CMP memerlukan koagulasi-sedimentasi untuk menghilangkan padatan tersuspensi; air limbah asam/alkali memerlukan netralisasi dan penyesuaian; air limbah logam berat memerlukan pretreatment reduksi/presipitasi. Setelah berbagai perlakuan awal, air limbah dapat memasuki tahap pengolahan yang ditingkatkan secara elektrokimia. Peralatan Elektrokimia EC dapat secara efisien menangkap sisa partikel koloid, beberapa ion logam berat, fosfat, dan bahan organik dalam air limbah, dan memiliki kemampuan demulsifikasi dan dekolorisasi tertentu, memberikan jaminan air umpan berkualitas tinggi untuk unit oksidasi dan desalinasi/penggunaan kembali tingkat lanjut.

Selanjutnya, dengan menargetkan polutan organik tahan api dalam air limbah gabungan (seperti sisa photoresist dan pelarut), air limbah memasuki tahap oksidasi dan detoksifikasi mendalam yang dipimpin oleh Peralatan Oksidasi Elektrokimia EO CQDHX SERIES. Teknologi oksidasi canggih elektrokimia akan secara efisien menguraikan senyawa organik persisten yang sulit diolah dengan metode konvensional, secara efektif mengurangi TOC (Total Organic Carbon) dan COD, serta menghilangkan toksisitas biologisnya. Langkah ini penting untuk memastikan pengoperasian sistem membran selanjutnya yang stabil, mencegah pengotoran organik, dan mencapai standar kualitas air yang tinggi. Akhirnya, limbah setelah pengolahan elektrokimia mendalam memasuki teknologi membran (misalnya, osmosis balik, pertukaran ion) dan sistem penggunaan kembali.

Melalui Peralatan Oksidasi Elektrokimia EO CQDHX SERIES yang dikembangkan secara independen oleh perusahaan kami, beroperasi dalam mode bersih yang tidak menimbulkan kotoran baru dan tidak menghasilkan lumpur kimia, masalah paling menantang berupa senyawa organik beracun dalam air limbah dapat diselesaikan secara efisien. Hal ini memberikan jaminan utama bagi pengoperasian sistem membran hilir yang stabil dalam jangka panjang dan kepatuhan yang aman terhadap kualitas air produk akhir, sangat mendukung manufaktur ramah lingkungan dan pembangunan berkelanjutan industri semikonduktor.

Untuk air limbah dengan karakteristik khusus atau tujuan pengolahan unik, teknisi perusahaan kami memberikan dukungan teknis dan solusi.

Spesifikasi Teknis Peralatan Pengolahan Air Limbah Semikonduktor Elektrokimia

Tindakan pencegahan:

1. Peralatan harus dipasang di tempat yang berventilasi baik, terlindung dari hujan, dan tidak tahan ledakan.
2. Catu daya peralatan menggunakan sistem lima kabel tiga fase, dan peralatan harus diarde dengan andal.
3. Jangan memukul elektroda dengan benda keras.

Lingkup Aplikasi:

Pengetsaan dan pembersihan air limbah yang mengandung fluorida, pengetsaan dan pemolesan air limbah logam berat, fotolitografi dan pengembangan air limbah organik, pembersihan dan pengembangan air limbah asam/alkali, air limbah penggilingan (CMP), dll.

Polutan utama dalam air limbah semikonduktor: senyawa organik, ion logam berat, zat asam dan basa, fluorida, padatan tersuspensi, dll.

Polutan utama dalam air limbah semikonduktor: senyawa organik, ion logam berat, zat asam dan basa, fluorida, padatan tersuspensi, dll.

Polutan utama dalam air limbah semikonduktor: senyawa organik, ion logam berat, zat asam dan basa, fluorida, padatan tersuspensi, dll.

Proses Pengolahan Air Limbah Semikonduktor

Proses 1

Air limbah komprehensif semikonduktor

↓

Sistem Pretreatment (Opsional)

(Meningkatkan efisiensi sistem oksidasi elektrokimia)

↓

Peralatan Oksidasi Elektrokimia EO SERI CQDHX
(Pemecahan khelat untuk logam berat, degradasi photoresist/pelarut organik, penghilangan fluorida, degradasi COD)

↓

Pembuangan atau pemisahan membran diikuti dengan penggunaan kembali

Proses 2

Air limbah komprehensif semikonduktor

↓

Sistem Pretreatment (Opsional)

(Meningkatkan efisiensi sistem oksidasi elektrokimia)

↓

SISTEM ELEKTROKIMIA EC

(Pemecahan khelat untuk logam berat, degradasi photoresist/pelarut organik, penghilangan fluorida, degradasi COD)

↓

PERALATAN PENGOBATAN OKSIDASI ELEKTROKIMIA EO SERI CQDHX

(degradasi COD)

↓

Pembuangan atau pemisahan membran diikuti dengan penggunaan kembali

Kapasitas Pengolahan Peralatan Pengolahan Air Limbah Oksidasi Elektrokimia