Полупроводниковое промышленное оборудование для очистки сточных вод, малые очистные сооружения

10 т/день EO электрохимическое оборудование для очистки сточных вод для производства полупроводниковых пластин, упаковки и испытаний чипов, вспомогательные установки для очистки сточных вод

Быстрые подробности

Полупроводниковые сточные воды являются очень репрезентативным и сложным стоком, генерируемым высокотехнологичными промышленностями, такими как производство интегральных схем и микросхем.У него сложные характеристики воды., широкий спектр загрязняющих веществ и чрезвычайно строгие стандарты обработки.Этот тип сточных вод обычно не происходит из одного источника, а включает в себя несколько отдельных потоков с очень разными свойствами.: фторидсодержащие сточные воды (от процессов гравирования и очистки, с чрезвычайно высокими концентрациями фторидных ионов), кислотные/щелочные сточные воды (с использованием большого количества азотной кислоты, фторводородной кислоты,аммиак, и т. д.), сточные воды от измельчения/CMP (содержащие наномасштабный кремниевый порошок, абразивные частицы и поверхностно-активные вещества), органические сточные воды (содержащие фоторезист, растворы для разработки,органические растворители, такие как DMSO, ИПА и т.д.), а также отходов, содержащих тяжелые металлы (потенциально содержащие медь, свинец, олово и т.д.).хотя не обязательно в чрезвычайно высоких концентрациях, имеют высокую токсичность и сложный состав с частыми колебаниями качества воды.конечный сток должен соответствовать очень низким требованиям к концентрации и проводимости ионов для достижения высокого процента повторного использования или соответствовать более строгим пределам выбросов, чем обычные стандарты.. The traditional combined process of "segregated pretreatment + biological treatment + membrane treatment" often faces bottlenecks when dealing with highly toxic organic solvents and complexed heavy metals, включая риски отказа биологического блока, сильное загрязнение мембраны, высокие эксплуатационные затраты и проблемы в конечном счете удаления потоков концентрата.

Решение основных задач полупроводниковых сточных вод с разнообразным и сложным составом, сильной токсичностью и ингибированиеми чрезвычайно высокие требования чистоты" ∆ оборудование для электрохимического окисления серии CQDHX EO, разработанный и произведенный нашей компанией (AA&SS AQUA HITECH CO., LTD.), играет незаменимую роль в очистке огнеупорных органических сточных вод и сложных отходов из тяжелых металлов.С помощью электрокатализа, оборудование генерирует сильно окисляющие свободные радикалы, которые могут эффективно расщеплять сложные макромолекулярные органические соединения, такие как фоторезистенты и органические растворители,Разрыв их циклических структур и достижение прямой минерализацииОдновременно электрохимический процесс может изменять валентное состояние и форму ионов тяжелых металлов, создавая условия для их последующего удаления.Ее выдающееся преимущество чистого использования: весь процесс окисления/редукции не зависит от добавления каких-либо химических агентов, избегая введения новых ионов примеси, что является критическим фактором для полупроводниковой промышленности,который гонится за чистой водой,Кроме того, его реакционный путь не создает дополнительных химических ила, что значительно снижает нагрузку и вторичные риски загрязнения, связанные с утилизацией опасных отходов.

Для воды, содержащей фтор, требуется отдельная предварительная обработка химическим осаждением кальциевыми солями для снижения концентрации ионов фтора до низких уровней.Очистка от шлифовальных/CMP сточных вод требует коагуляционного осаждения для удаления суспендированных твердых веществ; кислотные/щелочные сточные воды требуют нейтрализации и корректировки; тяжелые металлические сточные воды требуют предварительной обработки с уменьшением/выпаданием осадков.сточные воды могут перейти на стадию повышенной электрохимической очисткиЭлектрохимическое оборудование ЕС может эффективно улавливать остаточные коллоидные частицы, некоторые ионы тяжелых металлов, фосфаты и органические вещества в сточных водах,и обладает определенными возможностями демольсификации и деколоризации, обеспечивая высококачественное обеспечение питательной водой для последующих расширенных установок окисления и опреснения/переиспользования.

Впоследствии, нацеливаясь на огнеупорные органические загрязнители в комбинированных сточных водах (такие как остаточный фоторезистент и растворители),сточные воды переходят на глубокую стадию окисления и детоксикации под руководством электрохимического оборудования для окисления CQDHX SERIES EOЭлектрохимическая передовая технология окисления позволит эффективно расщепить стойкие органические соединения, которые трудно обработать обычными методами.эффективное снижение TOC (общий органический углерод) и CODЭтот шаг имеет решающее значение для обеспечения стабильной работы последующих мембранных систем, предотвращения органического загрязнения,и достижение высоких стандартов качества водыНаконец, сток после глубокой электрохимической обработки поступает в мембранную технологию (например, обратный осмос, ионный обмен) и систему повторного использования.

С помощью оборудования для электрохимической окисления CQDHX серии EO, разработанного нашей компанией, работающего в чистом режиме, не вводящем новых примесей и не генерирующего химических ила,наиболее сложная проблема токсичных органических соединений в сточных водах эффективно решенаЭто обеспечивает ключевую уверенность в долгосрочной стабильной работе систем мембраны вниз по течению и безопасное соответствие качества воды конечного продукта.активная поддержка экологически чистого производства и устойчивого развития полупроводниковой промышленности.

Для сточных вод с особыми характеристиками или уникальными целями очистки инженеры нашей компании предоставляют техническую поддержку и решения.

Технические спецификации для мощности очистки сточных вод в объеме 10 тонн в сутки

Предупреждения:

1. Оборудование должно быть установлено в хорошо проветриваемом, защищенном от дождя и не взрывозащищенном месте.
2. Электроснабжение оборудования использует трехфазную пятипроводочную систему, и оборудование должно быть надежно заземлено.
3. Не наносите удар по электродам твердыми предметами.

Сфера применения:

Очистка и резка фторидсодержащих сточных вод, резка и полировка сточных вод из тяжелых металлов, фотолитография и разработка органических сточных вод, очистка и разработка кислотных/щелочных сточных вод,сточные воды измельчения (CMP), и т.д.

Основные загрязняющие вещества в полупроводниковых сточных водах: органические соединения, ионы тяжелых металлов, кислотные и щелочные вещества, фториды, суспендированные твердые вещества и т.д.

Основные загрязняющие вещества в полупроводниковых сточных водах: органические соединения, ионы тяжелых металлов, кислотные и щелочные вещества, фториды, суспендированные твердые вещества и т.д.

Основные загрязняющие вещества в полупроводниковых сточных водах: органические соединения, ионы тяжелых металлов, кислотные и щелочные вещества, фториды, суспендированные твердые вещества и т.д.

Процесс обработки сточных вод на полупроводниках

Процесс 1

Полупроводниковые комплексное сточные воды

↓

Система предварительной обработки (необязательно)

(Улучшает эффективность электрохимической системы окисления)

↓

Оборудование для электрохимической окисления серии CQDHX EO
(Разрыв хелатов для тяжелых металлов, разложение фоторезисторов/органических растворителей, удаление фтора, разложение СОД)

↓

Выброс или отделение мембраной с последующим повторным использованием

Процесс 2

Полупроводниковые комплексное сточные воды

↓

Система предварительной обработки (необязательно)

(Улучшает эффективность электрохимической системы окисления)

↓

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ЕС

(Разрыв хелатов для тяжелых металлов, разложение фоторезисторов/органических растворителей, удаление фтора, разложение СОД)

↓

Оборудование для обработки электрохимической окисления серии CQDHX EO

(деградация СОД)

↓

Выброс или отделение мембраной с последующим повторным использованием

Мощность очистки оборудования для очистки сточных вод от электрохимической окисления