Équipement de traitement électrochimique des eaux usées, utilisé pour le traitement des eaux usées des semi-conducteurs.

I. Présentation du produit

Les eaux usées de l'industrie des semi-conducteurs proviennent de procédés tels que la fabrication de puces (fabrication de wafers, conditionnement et test), les panneaux à cristaux liquides (TFT-LCD, OLED), les cellules photovoltaïques et la production de composants électroniques. Il s'agit de l'un des types d'eaux usées présentant les exigences de qualité de l'eau les plus strictes et la plus grande difficulté de traitement au sein de l'industrie électronique. Les procédés de fabrication des semi-conducteurs sont complexes et comportent de nombreuses étapes, entraînant des différences significatives de qualité des eaux usées selon les différentes opérations. Celles-ci peuvent être principalement classées comme suit : Eaux usées contenant de l'azote ammoniacal : proviennent principalement des solutions de développement, des solutions de décapage et des solutions de nettoyage, avec des concentrations d'azote ammoniacal généralement comprises entre 100 et 1 000 mg/L. L'azote total dans certaines eaux usées contenant des polluants d'PP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures) peut atteindre plusieurs milliers de mg/L. Les eaux usées organiques proviennent de la résine photosensible, de la solution de décapage, du révélateur, des agents de nettoyage, etc., et contiennent divers polymères et solvants organiques récalcitrants. Les eaux usées acides et alcalines proviennent des procédés de nettoyage et de gravure et contiennent H₂SO₄, HCl, HNO₃, H₃PO₄, NaOH, etc. Les eaux usées de polissage mécano-chimique contiennent des particules abrasives nanométriques, des oxydants et des tensioactifs. Le traitement des eaux usées de semi-conducteurs comporte des exigences propres à l'industrie : la fabrication de puces exige une pureté d'eau extrêmement élevée ; tout résidu chimique peut nuire à la réutilisation et au rejet des eaux usées ; les eaux usées contiennent divers polluants caractéristiques qui inhibent ou intoxiquent les micro-organismes, rendant difficile le traitement direct par les systèmes biologiques conventionnels ; les normes de rejet sont extrêmement strictes ; et les entreprises sont généralement confrontées à la rareté de l'eau ainsi qu'à des objectifs rigoureux de réutilisation de l'eau.

Ce système fait appel à la technologie d'oxydation électrochimique, applicable avec souplesse à divers scénarios de traitement des eaux usées de semi-conducteurs : Pour les eaux usées contenant des polluants d'PP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures)/à forte teneur en azote ammoniacal—il oxyde et dégrade électrochimiquement et efficacement les polluants d'PP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures) ((CH₃)₄NOH) en intermédiaires à faible toxicité tels que des sous-produits d'amines à petitesExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)molécules, pour les convertir finalement en N₂, CO₂ et H₂O. Le taux d'élimination de l'azote total peut dépasser 90 %, et l'azote ammoniacal de l'effluent peut être réduit à 5-10 mg/L, résolvant complètement les problèmes de faible biodégradabilité et de biotoxicité des polluants d'PP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures)quaternaire

Pour les eaux usées organiques (résine photosensible/solution de décapage/solution de développement, etc.)—il oxyde et décompose directement les résines photosensibles, les polymères et les solvants organiques en ouvrant les cycles et en rompant les chaînes. Le taux d'élimination de la DCO est de 70 % à 90 %, et l'effluent peut être acheminé en toute sécurité vers des systèmes de traitement biologique ultérieurs ou être rejeté directement en conformité avec les normes.

Pour le traitement approfondi et la réutilisation des eaux usées globales—élimination en profondeur de la DCO résiduelle, de l'azote ammoniacal et du COT, avec une DCO de l'effluent ≤ 30~50 mg/L et un azote ammoniacal ≤ 5 mg/L, répondant aux exigences du prétraitement de l'eau ultra-pure ou à la réutilisation directe dans les procédés de nettoyage.

L'ensemble du procédé ne consomme que de l'électricité, sans ajout de réactifs chimiques (le traitement des polluants d'PP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures) ne nécessite aucun apport externe de source de carbone ni d'ajustement acide/base), et ne génère pas de grandes quantités de boues chimiques (les boues fluorées sont réduites de 50 % à 80 %). Les électrodes continuent de fonctionner efficacement dans des eaux usées à faible conductivité, à température et pression ambiantes, garantissant sécurité et stabilité. Il s'agit d'un choix technologique idéal pour faire évoluer le traitement des eaux usées de l'industrie des semi-conducteurs de la simple « conformité aux normes de rejet » vers la « réutilisation des ressources ».

II. Difficultés du traitement des eaux usées de semi-conducteurs et solutions apportées par cet équipement

Les eaux usées contiennent divers solvants organiques qui sont à la fois solubles et toxiques pour les micro-organismes, rendant les systèmes biologiques vulnérables aux chocs de charge.

La décomposition des solvants organiques par oxydation électrochimique directe élimine la biotoxicité, garantissant que l'effluent peut entrer en toute sécurité dans un système de traitement biologique ou être rejeté directement en conformité avec les normes.

III. Principe de fonctionnementPP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures)‑

PP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures)ammonium

PP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures)Le polluant d'

ammonium

‑

quaternairePP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures)Outre les polluants d'

ammonium

‑PP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures)Le chlore actif oxyde rapidement l'azote ammoniacal en azote gazeux, et l'azote organique (NH₄⁺ issu des intermédiaires de dégradation des polluants d'

ammonium

‑

Le courant peut être ajusté automatiquement sur la base de la détection en ligne des polluants d'

Taux d'élimination ≥ 90 %

Matériau de l'équipement

PP / PVDF / Acier inoxydable / TitaneExigences de l'eau brute d'entrée (prétraitement recommandé)MES ≤ 100 mg/L, pH 3~11 (large plage d'adaptabilité, tolère les eaux usées fortement acides contenant des fluorures)VI. Emplacement dans le procédé

Option 1 : Traitement spécialisé des eaux usées

Eaux usées contenant des polluants d'

ammonium

‑