Elektrokimyasal atık su arıtma ekipmanı, yarı iletken atık su arıtımında kullanılır.

I. Ürün Genel Görünümü

Yarım iletken atık sular, çip imalatı (wafer imalatı, ambalajlama ve test), sıvı kristal paneller (TFT-LCD, OLED), fotovoltaik hücreler,ve elektronik bileşen üretimiElektronik endüstrisi içinde en yüksek su kalitesi gereksinimlerine ve en büyük tedavi zorluğuna sahip atık su türlerinden biridir.Yarım iletken üretim süreçleri karmaşıktır ve birçok aşamayı içerir, farklı süreçler arasında atık su kalitesinde önemli farklılıklara yol açar.Temel olarak çözümler geliştirmekten kaynaklanmaktadır.Amonyak azot konsantrasyonları tipik olarak 100 ila 1000 mg/l arasında değişen, temizlik ve temizlik çözümleri.Dörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileriatık sular binlerce mg/L'ye ulaşabilir. Organik atık sular fotoresist, soyutlama çözeltisi, geliştiriciden, temizlik maddelerinden vb.ve çeşitli inatçı organik çözücüler ve polimerler içerirAsitli ve alkali atık sular temizlik ve kazma işlemlerinden kaynaklanır ve H2SO4, HCl, HNO3, H3PO4, NaOH vb. içerir.Kimyasal mekanik cilalama atık suyu nano boyutlu abrasif parçacıklar içerirYarım iletken atık suların arıtılmasında endüstri özel gereksinimleri vardır: çip imalatı son derece yüksek su saflığı gerektirir;Herhangi bir kimyasal kalıntı atık suyun yeniden kullanımını ve akıtılamasını etkileyebilir· Atık su, mikroorganizmaları engelleyen veya zehirleyen çeşitli karakteristik kirleticiler içerir, bu da geleneksel biyolojik sistemlerle doğrudan tedaviyi zorlaştırır;Serbest bırakma standartları son derece sıkı.· ve şirketler genellikle su kıtlığı ve atık suların yeniden kullanımına yönelik sıkı hedeflerle karşı karşıyadır.

Bu sistem, çeşitli yarı iletken atık su arıtma senaryolarına esnek bir şekilde uygulanabilen elektrokimyasal oksidasyon teknolojisini kullanır:Dörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileri/yüksek amonyak azotlu enerjik kimyasal olarak etkili bir şekilde oksitlenir ve bozulurDörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileri((CH3) 4NOH) düşük toksisiteli ara maddelere, örneğinküçük-Amine molekülü- Hayır.ürünler, sonunda onları N2, CO2 ve H2O'ya dönüştürür. Toplam azot çıkarma oranı% 90'ın üzerinde ulaşabilir ve akışkan amonyak azot 5-10 mg/L'ye düşebilir,sorunlarını tamamen çözmek içinDörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileriKötü biyolojik bozulma ve biyotoksisite.

Organik atık sular için (fotorezist/striping çözeltisi/developer çözeltisi, vb.) ∆ doğrudan fotorezist reçinleri, polimerleri ve organik çözücüleri oksitleyip parçalayor.Açma halkaları ve zincir kırmaCOD çıkarma oranı %70-90'dır ve atıklar daha sonraki biyolojik arıtma sistemlerine güvenli bir şekilde girebilir veya doğrudan boşaltma standartlarını karşılayabilir.

Kapsamlı atık su derinleme işlemleri ve yeniden kullanımı için, atık atık su COD ≤30 ~ 50 mg/L ve amonyak azot ≤ 5 mg/L ile kalıntı COD, amonyak azot ve TOC'yi derinlemesine ortadan kaldırır.ultra saf suyun önceden işlenmesi veya temizlik süreçlerinde doğrudan yeniden kullanımı için gereklilikleri karşılayan.

Tüm süreç, kimyasal ajan eklenmeden yalnızca elektrik tüketir (Dörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileriişlem dış karbon kaynağı veya asit/alkali ayarlama gerektirmez) ve büyük miktarlarda kimyasal çamur üretmez (fluorür içeren çamur %50~80% azaltılır).Elektrotlar hala düşük iletkenliğinde atık sularda verimli çalışabilir, normal sıcaklık ve basınçta çalışarak güvenlik ve istikrarı sağlar.Bu, yarı iletken endüstrisi atık su arıtmasını "boşaltma standartlarını karşılamaktan" "kaynak yeniden kullanımına" yükseltmek için ideal bir teknoloji seçimi.

II. Yarım iletken atık su arıtma zorlukları ve bu ekipmanla çözümler

III. Çalışma prensibi

Su kalitesi ve arıtma hedeflerine bağlı olarak, yarı iletken atık su, bir elektrokimyasal reaktörde aşağıdaki arıtma reaksiyonlarına maruz kalır:

(1) Yüksek verimli oksidatif bozulmaDörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileri(tetrametilamonyum hidroksit) (yarım iletkenler için benzersiz bir çekirdek fonksiyonu)

Dörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileri((CH3) 4NOH) yarı iletken endüstrisinde en temsil edici azot içeren organik kirleticidir, biyotoksisiteye sahiptir ve biyolojik olarak bozulması zordur.

Dörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileriAnod yüzeyinde elektron kaybı ile doğrudan oksitlenir. Tetrametil-amonyum iyonları (dördüncü-amonyum iyonları) kademeli olarak demetileştirilir.

Toplam nitrojen çıkarma oranı ≥90%, ve atıkta toplam nitrojen 10 ~ 20'ye düşebilir. (2) Organik atık suyun oksidatif bozulması (fotoresist / soyma çözeltisi / geliştiricisi vb.)) Yarım iletken organik atık sular fotoresist reçine içerir, soyma çözeltisi, geliştiricide yüzey aktifleri vb.: Makromoleküler polimerler anod yüzeyinde oksitlenir ve parçalanır,ve uzun karbon zincirleri ve aromatik halkalar yavaş yavaş küçük molekül organik asitlere ayrılırOrganik çözücüler (IPA, PGMEA, NMP, vb.) anodta doğrudan CO2 ve H2O'ya oksitlenir.DİK'nin iyice çıkarılmasını sağlamakDoğada bulunan klorür iyonları (yarım iletken temizleme sırasında dahil edilir) aktif klor üretir.Solüsyondaki organik maddenin oksidasyonunu tamamlayan, doğrudan anodla temas edemeyen.

(3) Amonyak azotunun ve toplam azotun çıkarılması

Ayrıca...Dörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileri, yarı iletken atık sular ayrıca diğer amonyak azot formlarını da içerir (geliştirici, temizlik çözeltisi vb.):

Klorür iyonları, aktif klor (Cl2, HOCl, OCl−) üretmek için anodda elektrolize edilir.

Aktif klor, amonyak azotunu azot gazına ve organik azotu (NH4 +) gazına hızla oksitler.Dörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileriBozulma ara maddeleri) de N2'ye dönüştürülür.

Akışkanlardaki toplam nitrojen 10 ~ 20 mg / L'nin altına düşebilir.

IV. Temel Avantajlar (Yarım iletken atık sularını hedeflemek)

V. Teknik parametreler (Kustomlaştırılabilir)

VI. İşlem yeri

Seçenek 1: Uzmanlıklı Atık Su Arıtımı

Dörtlü- Hayır.Amonyum kirleticileri/ Geliştirici Atık Sular → Toplama ve eşitleme tankı → Elektrokimyasal arıtma ekipmanları → Akışkan (B/C ≥ 0.30) → Entegre Atık Su Düzleştirme Tankına Girer → Geleneksel Biyolojik Sistem → Serbestleştirme Standartlarını/Yeniden Kullanımı karşılar

Seçenek 2: Gelişmiş Biyolojik Akışkan Düzeltmesi

Integrated Wastewater → Pretreatment → Biological System → Secondary Sedimentation Tank → Advanced Electrochemical Treatment Equipment (Removal of Residual COD/TOC/Ammonia Nitrogen/Total Nitrogen) → Effluent → Reuse/Discharge Meets Standards

Seçenek 3: Yüksek konsantrasyonlu atık suların azaltılması (tehlikeli atıkların taşınmasına alternatif)

Yüksek konsantrasyonlu organik atık sular (deterjan atık suyu, atık suları, inşaat atık suyu vb.)) → Toplama tankı → Elektrokimyasal arıtma ekipmanı → Arıtılmış atık sular (ÖZK önemli ölçüde azalmıştır) → Devamlı biyolojik arıtma